tp原理及制作流程講義(編輯修改稿)
2025-02-05 00:11 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 如上圖，因要保證電容變化主要由 ITO決定，故連接導(dǎo)線需要求電阻遠(yuǎn)小于 ITO。一般地，導(dǎo)線多采用 Al線。 ITO Panel 圖案簡(jiǎn)介 Equipment Etching Line Utility Photo Line Sputtering line LOAD CLEANER SPIN COATER UNLOAD EXPOSURE DEVELOP PREBAKE LOAD UNLOAD CLEANER EXPOSURE DEVELOP ROLLER COATER LOAD UNLOAD CLEANER ROLLER COATER PREBAKE LOAD UNLOAD ETCHING STRIP LOAD UNLOAD ETCHING STRIP 金屬鍍膜線 (4MF+6DC) 電梯 ILINE JLINE FLINE LLINE 蝕刻線區(qū)域 KLINE POST BAKE 隧道式烤爐 配膠房 4F設(shè)備平面布置圖 工藝流程 紫外線照射 Mask 玻璃基板 玻璃基板 玻璃基板 玻璃基板LAMP 玻璃基板 玻璃基板** ** ** ** 玻璃基板 玻璃基板 玻璃基板 玻璃基板 顯影（搖擺噴淋） 純水噴淋清洗 超聲波 +高壓泵 涂膠 NOZZLE 基板涂光刻膠 準(zhǔn)備投入的玻璃基板 曝光 UV254 LAMP（光照） POST UV (365um)光照 POST BAKE 高溫烘烤固化 LOAD UV 254 CLEANER COATER EXPOSURE DEVELOP POST UV POST BAKE 異物 F SIO2 PATTERN F ITO PATTERN 鋼化基板 R ITO PATTERN MOALMO PATTERN R SIO2 PATTE
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