機(jī)械與航太工程研究所(編輯修改稿)
2025-01-19 05:05 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 System Laboratory (2):探針結(jié)構(gòu) ?簡(jiǎn)化成四個(gè)部分 : ?1. 探針突出尖端 ， 由鎢、鎳及鋁材組成 。 ?2. 探針彈性層 ， 由聚亞醯氨 (Polyimide)組成 。 ?3. 矽基材導(dǎo)通層 ， 由鋁、鎳及金披覆 ， 再用錫 鉛合金 以 表面接著技術(shù) 接合組成 。 ?4. 印刷電路板層 ， 由銅、鎳、金及 FR4 組成 。 18 機(jī)械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測(cè)實(shí) 驗(yàn)室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (3):探針各部材料之物性 表 31 材料特性 19 機(jī)械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測(cè)實(shí) 驗(yàn)室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (4):模擬條件 (1)作用力 :4~10(g) (2)上層彈性層厚 :8~28(um) (3)下層彈性層厚 :8,16,24(um) (4)探針截面 :20(um) x 20(um) (5)以 ANSYS 模擬 變形 與 主應(yīng)力 之情況 (6)探針為左右對(duì)稱 ， 故模型只取半邊 。 20 機(jī)械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測(cè)實(shí) 驗(yàn)室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (5):針軸方向 變形量 與 應(yīng)力曲線 21 機(jī)械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測(cè)實(shí) 驗(yàn)室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (6): 不同負(fù)載 作用於 不同彈性層厚度 之結(jié)果 22 機(jī)械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測(cè)實(shí) 驗(yàn)室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (7): 鎳鎢針截面積尺寸改變 分析結(jié)果 ? 探針之針尖尺寸變化 ， 由 10(um)增加到30(um) ， 作用力為 10(g) 。 ? 而 上層彈性層厚度 與 下層彈性層厚度 維持為 28(um)及 16(um) 。 ? 針尖底部 鋁層厚度為 1(um) 。 ? 則 模擬變形量 與 主應(yīng)力 的變化， 最大針軸變形量 可達(dá) (um)。 23 機(jī)械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測(cè)實(shí) 驗(yàn)室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (8):鎳鎢針截面積尺寸改變 變形量 與 主應(yīng)力的變化 分析結(jié)果 24 機(jī)械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測(cè)實(shí) 驗(yàn)室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (9)： 彈性層材料 性質(zhì)改變 對(duì) 變形量 與 主應(yīng)力 的影響 ? 設(shè)計(jì)時(shí)是以聚亞醯氨 (Polyimide)當(dāng)作 彈性層之材料。 ? 現(xiàn)將 楊氏係數(shù) 列為最主要因素 ， 比較 變形量 與 主應(yīng)力 的表現(xiàn) 。 ? 探針的變形量 可 達(dá) (um)， 主壓縮應(yīng)力也不高 。 25 機(jī)械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測(cè)實(shí) 驗(yàn)室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory
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