機械與航太工程研究所(已修改)
2025-01-09 05:05 本頁面
【正文】 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 發(fā)明名稱 : 垂直式彈性探針及附壓力感測器之晶圓級垂直式針測卡 (專利發(fā)明第 I 231371號 ) 中華大學(xué) 機械系 林君明 教授 1 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory 大綱 ? (1)簡介 ? (2)技術(shù)回顧 ? (3)本發(fā)明之結(jié)構(gòu) ? (4)本發(fā)明之特點 ? (5)模擬分析 ? (6)結(jié)論 ? (7)權(quán)利金預(yù)估 2 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory 1. 簡介 ? IC 晶圓在製造完成後 ，無論是邏輯 IC 或記憶體 IC 的 DRAM / SRAM / FLASH 等， 都會立即 進行裸晶測試或預(yù)燒 (Burnin)的製程。 ? 將不良品 (Bad die)在封裝前即予以剔除 ，避免不良品進入封裝 ， 造成不必要的成本增加 。 因此 裸晶測試 ，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè) 扮演著重要角色 。 3 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (1) ? Epoxy ring 水帄式針測卡 ? 探針金屬 常採用具 高韌性之鈹銅合金 ， 探針被Epoxy 支撐著， 探針間最小距離 可達 125um， 多為 邊緣式排列 而 不易做成矩陣排列 。 4 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (2) 雙壓電加熱驅(qū)動 陣列式微懸臂探針 ?微懸臂以矽基材為座， 由金屬層、 SiO2 及加熱層組成 ， 加熱時 因金屬層熱膨脹係數(shù) 大於 SiO2，使得微懸臂向 SiO2 層彎曲 5 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory 傳統(tǒng)針測卡 實際操作時 有幾個缺點 : (1) 針尖隨懸臂彎曲 產(chǎn)生 縱向變形外 ， 也會發(fā)生 橫向位移 而造成 接觸不穩(wěn)定 。 (2) 有橫向位移 ， 無法測試 小尺寸鋁墊 或 金 /錫凸塊 。 (3) 針尖容易黏附雜物 ， 不易清潔 ， 容易造成功能喪失 。 (4) 測試過的鋁墊 ， 有刮痕 後續(xù)打線 或長凸塊 會有問題 。 (5) 懸臂長度 達 400~600um， 佔據(jù)空間大 ， 無法測試高密度 鋁墊 ， 也不適於 2 排 或 3 排鋁墊 之晶片。 6 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (1)： 側(cè)視圖 7 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (2)： 立體圖 ? 8 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1