半導(dǎo)體測(cè)試-薄層厚度測(cè)量(編輯修改稿)
2025-09-11 20:59 本頁面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 蜜蜂 LCD液晶屏 利用相位補(bǔ)償方法可以測(cè)出 （ ） （ ） 在光線通過鍍膜的通路中，光束平面的角度已經(jīng)發(fā)生了旋轉(zhuǎn)。而光束所在平面旋轉(zhuǎn)的角度大小取決于膜厚和晶圓表面的折射系數(shù) 。 圖 、圖 ? 1/4波片： 將線偏振光變換成橢圓偏振光 ? 起偏器的作用： 在一定的起偏角下，橢圓偏振光經(jīng)過樣品后能夠變成線偏振光。 ? 檢 偏器的作用： 將樣品出射的線偏振光進(jìn)行 消光 ，從反方向上對(duì)消線偏振光的能量，使得最終出射光為零。 橢偏儀的測(cè)量過程與方法 探測(cè)器 透鏡 檢偏器 樣品 188。波片 起偏器 激光器 角度編碼器探 角度編碼器探 旋轉(zhuǎn)底座 樣品臺(tái) 全波長(zhǎng)橢偏儀 波長(zhǎng)范圍： 350~850 nm 應(yīng)用 太陽能電池 : 減反膜工藝 TFTLCD: SiOx,SiNx,aSi:H, N+aSi, Al2O3 SiO2 Si3N4 二、外延層厚度、擴(kuò)散層和離子注入層深度的測(cè)量 （一）磨角染色法 ? 對(duì)于 Si外延層 /摻雜層的厚度測(cè)量，紅外線（ ～ 50μm ) 不僅能透過外延層，而且能在雜質(zhì)濃度突變的外延層 襯底界面上發(fā)生反射 。這一反射與空氣 外延層界面反射的紅外線之間存在著光程差和相位變化，因而形成
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