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正文內(nèi)容

高靈敏度陣列氣敏傳感器的制備與氣敏特性分析(編輯修改稿)

2024-09-07 13:03 本頁面
 

【文章內(nèi)容簡介】 目的研究意義以及研究目標 由于 單個氣敏器件對多種氣體都有響應 ,我們對單個敏感器件的這一特點 加以研究,制備出 高靈敏度陣列氣敏傳感器 。它 不僅能克服單個氣敏傳感器的缺點,更能夠對混合氣體加以辨別。存在多種應用和潛在應用 。 半導體氣敏傳感器陣列 ( 1)氧化 高溫氧化爐 高靈敏度陣列氣敏傳感器的制備工藝 ( 2)勻膠 光刻膠 氧化層 涂膠機 ( 3)光刻 光刻機 ( 4)刻蝕和除膠 ( 5)摻雜 硅晶片的蝕刻掩膜去除后 叉指電極 摻雜(硼) ( 6)劃片及印刷制備的薄膜 激光切割機 我們在制作好的硅片上涂抹特定的納米材料薄膜,然后封裝。制成我們所要的氣敏傳感
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