中科院半導(dǎo)體研究所自主研發(fā)實驗型mocvd用戶手冊(編輯修改稿)
2024-09-03 15:41 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 壓差計1：顯示PDR2000壓差計的測量值1。u 壓差計2：顯示PDR2000壓差計的測量值2。 告警 告警界面如下圖所示： u 故障告警：顯示20路開關(guān)量輸入中的告警信號。178。 無故障發(fā)生：顯示“無故障告警”字樣，故障告警下面的列表框為空。178。 發(fā)生故障：顯示故障告警圖標和故障告警記錄數(shù)量，并在告警記錄列表中顯示所有記錄。178。 清除選中的故障告警：單擊在故障告警列表中的項目，再點擊右鍵選擇“清除選中的故障告警”，系統(tǒng)清除故障選中的告警記錄。178。 清除所有故障告警：在故障告警列表點擊右鍵選擇“清除所有故障告警”。清除故障告警列表中告警記錄。u 超限告警：當模擬量的測量值與設(shè)定值之間的誤差達到設(shè)定的誤差范圍時，發(fā)生超限告警。178。 顯示超限告警：顯示超限告警圖標和超限告警記錄數(shù)量，并在告警記錄列表中顯示所有記錄。178。 清除選中的超限告警：單擊在超限告警列表中的項目，再點擊右鍵選擇“清除選中的超限告警”，系統(tǒng)清除超限選中的告警記錄。178。 清除所有超限告警：在超限告警列表點擊右鍵選擇“清除所有超限告警”。清除超限告警列表中告警記錄。 氣路圖控制 氣路圖控制氣路圖控制界面如下：氣路圖控制界面，控制圖形界面以圖形方式展示系統(tǒng)當前狀態(tài)。所有的監(jiān)控對象均出現(xiàn)在控制界面上。氣路圖控制界面直觀形象方便用戶操作。在該界面上可以實現(xiàn)以下操作：216。 反轉(zhuǎn)單個開關(guān)：反轉(zhuǎn)開關(guān)即改變開關(guān)量的雙擊開關(guān)量，反轉(zhuǎn)單個開關(guān)。如果反轉(zhuǎn)成功，開關(guān)的顏色會發(fā)生變化，如果是綠色則變?yōu)榛疑?，灰色變?yōu)榫G色。216。 反轉(zhuǎn)多個開關(guān)：按Ctrl鍵，選擇多個開關(guān)，選中的開關(guān)背景色變?yōu)辄S色。點擊菜單上的“反轉(zhuǎn)開關(guān)”以反轉(zhuǎn)氣路圖上選擇的開關(guān)。如果反轉(zhuǎn)成功，開關(guān)顯示反轉(zhuǎn)后的顏色，否則保持黃色。點擊菜單上的“取消選擇”以取消氣路圖上選中的開關(guān)，并恢復(fù)開關(guān)原來的顏色。216。 設(shè)置模擬量：單擊模擬量型部件圖標，彈出如下設(shè)置模擬量界面： 在設(shè)定值文本框中設(shè)置要設(shè)置的值，輸入的值不能超出模擬量的上下限。點擊“設(shè)置”按鈕或者按下回車鍵以發(fā)送設(shè)置命令，若成功則顯示“設(shè)置成功”字樣，否則顯示“設(shè)置失敗”。注：在設(shè)置模擬量界面上，在部件下拉框中選擇其它模擬量部件，也可以設(shè)置模擬量，具體操作同上。216。 設(shè)置壓差計控制模式：雙擊任意一個“PMODE”按鈕即可修改。紅色為壓差模式，由壓差計自動平衡兩路的壓力；黃色為流量控制模式，由程序調(diào)節(jié)流量計以平衡兩路的壓力。216。 顯示提示信息：對于開關(guān)量型的部件，可直接以不同的顏色代表開關(guān)不同的狀態(tài)。對于模擬量型的部件，移動鼠標到部件圖標（處于Enabled狀態(tài)，即非灰色顯示的部件圖標）上時，系統(tǒng)顯示淺黃色提示面板，給出部件的詳細信息。如下圖所示，同時該信息顯示在狀態(tài)欄上。 216。 開關(guān)量圖片背景色有兩種顏色綠色和灰色。178。 HC、NC、MOnb/c、 Dn(n=1,2,......)類的閥：Close,顯示灰色；Open，顯示綠色。178。 NO、Mona系列閥：Close，顯示綠色；Open，顯示灰色。178。 MN 系列閥：Close，顯示綠色；Open，顯示灰色。178。 TW1，TW2，TW3類閥：H2，顯示灰色；SiHAsHPH3，顯示綠色。216。 模擬量圖片背景色178。 MFCn系列：背景色為深藍色。178。 EPCn系列：背景色為天藍色。 表格監(jiān)控表格監(jiān)控界面如下圖所示： 表格控制詳細地實時記錄每個部件的狀態(tài)變化信息（設(shè)定值、測量值、告警、誤差值、誤差上限、說明、數(shù)據(jù)單位、量程下限、量程上限），實時刷新模擬量測量值、超限告警。216。 部件分組：為了方便地查看某一類部件的狀態(tài)信息，特對部件進行分組，分為以下十組：178。 質(zhì)量流量控制器：該組包含MFn（n＝1，2，......）部件。178。 壓力流量控制器：該組包含EPCn（n＝1，2，......）。178。 低壓氣動常閉閥：該組包含D2，MOnc,NCn(n=1,2,......)部件。178。 低壓氣動常開閥：該組包含M01a,M02a,M03a,M04a,M05a,N01,N02,N03部件。178。 MainFold（MN閥）：該組包含MNn(n=1,2,......)部件。178。 其它低壓氣動閥：該組包含TWn(n=1,2,......)部件。178。 高壓氣動閥：該組包含HCn(n=1,2,......)部件。178。 電磁閥：該組僅包含D1部件。 單擊分組名稱，顯示/隱藏分組中部件。，顯示分組中的部件；，隱藏分組中的部件。216。 部件屬性178。 設(shè) 定值：部件的設(shè)定值。178。 測 量值：運行中實際測到的值。178。 告 警：顯示部件的故障告警信息。178。 誤 差值：此處是指相對誤差值。178。 誤差上限：誤差值的最大值，可以根據(jù)需要人為設(shè)定。誤差值應(yīng)小于等于誤差上限。如
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