橢偏測厚儀主要參數(shù)及工作原理(編輯修改稿)
2024-08-31 02:11 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 0176。~180176。0176。~180176。偏振器步進(jìn)角176。（起偏角P和檢偏角A的測量分辨率）176。/步176。/步儀器測量精度177。 nm（薄膜厚度在10nm以下時(shí)）177。 nm（薄膜厚度在10~100nm時(shí)）在10 nm處為177。 nm177。 nm（薄膜厚度在10nm以下時(shí)）177。 nm（薄膜厚度在10~100nm時(shí)）光學(xué)中心高75 mm80 mm允許樣品尺寸直徑φ10~φ120 mm厚度 10 mmφ10~φ140 mm厚度 13 mm外形尺寸730230290560390290主機(jī)重量30 kg25 kg三、 消光法測量薄膜和折射率的計(jì)算公式：1． 在橢偏法測量中，為了簡便，通常引入兩個物理量——Ψ，Δ來描述反射光偏振態(tài)的變化，它們與總反射系數(shù)（p分量，在入射面內(nèi)），（s分量，在垂直于入射面內(nèi)）之間的關(guān)系，定義如下：tanΨ=/ ————————— 偏振方程
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