【文章內(nèi)容簡介】 玻管有支持物的環(huán)形封接法。在吹制閉合管路時，需要把兩個或兩個以上的封接在一次操作中完成。軟玻璃的膨脹系數(shù)大，這樣做極易爆裂，硬玻璃則不必擔心這個問題。真空系統(tǒng)以及其他裝在支座上的大型或復雜設備，常需分成若干段或幾個部分制造，然后再將它們逐個封接到整個系統(tǒng)上去。（1）拉尾管（2）對接A 直徑相同的玻管對接B 毛細管封接（3）側(cè)接（4）圓底封閉（5）吹泡6. 氦氖激光管的制作：（1）用實心小玻璃棒燒粘成三角文撐架．并要求具有錐度。套入簡形電極內(nèi)，將燒好的玻璃底料的鎢棒插入小支管，三角支架一端與外口相粘，見圖8—27(1)。這樣固定筒形電極，便于鎢棒焊接。（2）將毛細管穩(wěn)固于外套內(nèi)，進行封按貼膜管，并接上徘氣管，見圖8—27(2)。 （3）按縮結(jié)插入封接的方法制備，如圖8—27(3)所示的零件，爆除余料。然后按上法接入筒形電極，見圖8—27(4)。 （4）調(diào)頭封接，將管身余料拉除并燒成平底，熔接毛細管開孔燒光，再與零件(4)用火苗逐段封接，見圖8—27(5—6)。完成后注意退火。成品規(guī)格見圖8—28。7. 磨管與鏡面拋光：（1） 同心度測定：磨管的工藝分為粗磨和細磨兩部分，而在磨管前必須對激光玻璃管進行同心度檢定。（2） 粗磨：用火割法切割的貼片管口，對于貼片來說是非常不平的，因此必須先放在粗磨機上磨削。粗磨是由粗磨機來完成的，分為兩個階段。第一階段，磨管時，在磨盤上放上少許水和金剛砂，用手握住玻璃殼的中央部位，使玻璃殼的軸線盡量垂直磨盤，降它放在磨盤上磨削，并不斷的將混有水的金剛砂加到磨盤上，把端面不平部分磨去（所用玻璃管已經(jīng)經(jīng)過第一階段的處理）；第二階段，把玻璃殼放在一調(diào)節(jié)架上，用一氦氖氣體激光器射出一束激光，通過開有小孔的光闌反射到玻璃殼上，仔細調(diào)整調(diào)節(jié)架，使激光束對稱地通過玻璃殼中的毛細管，從而在白紙上得到幾個同心的光環(huán)，調(diào)整以后，用一平行平面反射鏡貼在一個貼片管端面上，使反射膜對著激光束觀察從反射鏡上反射回到光闌板上的激光束光斑的位置，若貼片管端面與毛細管軸線相垂直，則激光將按原路反射到光闌板的小孔上，從而可以通過光斑偏離小孔的情況來判斷貼片管端面上哪一部分比較凸出，于是就可將這一部分磨去。方法是，在一平玻璃板上，加上水和金剛砂作磨料，用手握住玻璃殼，將貼片管端面放在上面作不重疊的圓周運動，在確定要多磨去的部分壓力可稍大些，以加速對它的磨削。直至磨削到反射回來的光斑與小孔垂直為止。（3） 細磨：細磨的方法與粗磨第二階段完全相似。只是要求更精密一些，細磨要在一個經(jīng)過精細研磨過的金屬平板上進行磨削，所用的磨料是水和1000＃金剛砂，檢查的工具是用兩臺平行光管。具體方法是，首先先調(diào)整兩只平行光管共軸，然后將研磨的激光器玻璃殼放在兩平行光管之間，通過毛細管觀察十字線之象，仔細地調(diào)節(jié)激光器玻璃殼的位置，使毛細管與平行管共軸。然后用兩塊平行平面反射鏡，貼在兩貼片管之端面上，從平行光管的目鏡中觀察反射鏡上反射回來的十字線象，若反射回來的十字線象在原十字線的上方，則說明端面下放凸出需要磨去，經(jīng)過反復研磨以后，最終觀察到兩十字線基本重合，則此端面已經(jīng)磨好，再磨另一個端面。8. 氦氖激光器的充氣與排氣： He－Ne氣體激光器抽氣、充氣的真空系統(tǒng)如圖所示：配氣操作說明：1． 把激光管接上排氣臺前，開啟冷卻水龍頭。關閉1閥，開機械泵，稍等一會之后開始加熱分子篩，然后依次開啟2閥、3閥10閥和13閥，進行低真空預抽，用放電電源對管子進行撿漏，發(fā)現(xiàn)漏氣管子應即補或除去。2． 在低真空條件下打開擴散泵加熱電爐進行高真空抽氣，等20分鐘油沸騰后開3閥，5分鐘后開10閥，再開13閥及8閥。等待一段時候后管內(nèi)氣壓基本能達到 乇以下。3． 在激光管外套上烘烤加熱罩，接上加熱罩電源，加熱罩內(nèi)的溫度在60分鐘內(nèi)升溫到300186。C，保溫4小時，整個過程真空度要達到 乇以上。自然降溫（降溫前一個小時停止進行分子篩加熱）。4． 放電清洗：激光管降溫后在激光管兩極接上高壓直流放電電源（注意正負極要接對），充入2 3乇He氣，開啟放電電源開關，放電電流調(diào) 至60到80mA。用放電顏色檢查管子清洗情況，當放電顏色呈一致時，即為干凈（尤其注意陽極鎢桿處）。放電時間一般為3至5分鐘。5． 高頻除氣：陰極高頻除氣，使用高頻爐加熱陰極至暗紅色，注意鋁熔點為658 C，在高頻除氣過程中系統(tǒng)真空度會降低1至2個數(shù)量級。當真空度達到 乇以下時可以進行充氣。高頻爐使用步驟為：開水 外電源 通燈絲 燈絲電壓12V預熱一分鐘 高壓調(diào)壓轉(zhuǎn)到0 查負載防止短路 右下方開關通 按轉(zhuǎn)動按鈕 高壓調(diào)節(jié)適合保持柵流150mA。6． 配氣：抽成高真空后，關閉擴散泵真空活塞。He氣與Ne氣的比例為7：1，總氣壓就要看放電細管的直徑而進行選擇。7． 充氣： 充氣時開關4和5不能同時開，要開5關開4關4，開關6和7也不能同時開，要開7關開6關6，反復做直到氣壓達到預定的激光管氣壓為止。8． 老練：按最佳工作電流點2到3個小時。9． 封管：把激光管從充排氣臺封接下來。9. 光學真空鍍膜機原理：冷卻系統(tǒng)由加壓泵、風冷水循環(huán)系統(tǒng)等組成。它主要是對擴散泵及蒸發(fā)系統(tǒng)和真空室進行冷卻。當機器需要進行高真空工作時必須先開啟冷卻系統(tǒng)，以保證擴散泵的油蒸汽得到足夠的冷卻從而獲得高真空。Ⅰ.真空系統(tǒng)：真空系統(tǒng)是由機械泵、擴散泵、儲氣桶以及真空室（鐘罩）等組成。它是用來獲得必要的真空度，使膜料的分子或原子蒸鍍到被鍍零件表面的距離小于其平均自由程，保證膜料的分子或原子在蒸鍍到被鍍零件的表面之前免受殘余氣體或散亂蒸發(fā)分子的碰撞而改變運動方向，保持較大的動能，并有效的抑制蒸發(fā)材料與殘余氣體的反應，從而得到牢固、純潔的薄膜。真空度和平均自由程的關系可由（１）、（２）式給出： N1/N0=1ed/L （1） L≈2/(3p) （2）其中：N0是初始被蒸發(fā)物質(zhì)分子總數(shù)，N1是在到達基片的途中與殘余氣體分子發(fā)生碰撞的分子數(shù)，L是平均自由程，d是蒸發(fā)源到基片的距離，P是殘余氣壓。要達到較高的真空度通常是采用多級泵串連的方式來實現(xiàn)的。初級泵由機械泵來組成，用于抽低真空。二級泵由擴散泵組成，用于抽中高真空。（其它還有分子泵或冷凝泵等組成，用于抽高真空。）DMDE－450光學多層鍍膜機的真空系統(tǒng)原理圖如圖一所示：圖一 DMDE－450光學多層鍍膜機的真空系統(tǒng)原理圖電離規(guī)管 高真空蝶閥GI－200C型 擋油器DY－200B 凸腔式油擴散泵KT－200 機械泵2XZ－8型 低真空磁力閥DC－30型 儲氣桶 低真空三通閥DS－30型 磁力充氣閥CQF－8型 熱偶規(guī)管 1鐘罩 1針型閥8F－8S型由圖一可知，DMDE－450光學多層鍍膜機的真空系統(tǒng)主要是由初級機械泵和二級擴散泵組成。電離規(guī)管及熱偶規(guī)管用于測量真空室的高低真空度及擴散泵的前級真空度。并通過真空計來讀取真空度。磁力充氣閥用于對真空室充氣，其與高真空蝶閥互鎖。當三通閥抽出時，機械泵對鐘罩抽氣，高閥關閉（處于圖中的水平位置），擴散泵處于預熱狀態(tài)（一般預熱45分鐘），氣體經(jīng)由圖一10處的管道到機械泵被排出。當三通閥推進時，機械泵對系統(tǒng)抽氣。高閥打開（處于圖中的豎直位置），氣體從擴散泵抽到儲氣桶，經(jīng)過三通閥到機械泵，再排出室外。Ⅱ.蒸發(fā)系統(tǒng)： 蒸發(fā)系統(tǒng)是將膜料蒸發(fā)，以原子或分子的形式淀積在被鍍器件的表面，形成薄膜。按照工作原理可以將蒸發(fā)系統(tǒng)分為三種：熱蒸發(fā)、濺射和離子鍍。為了能夠得到更好的高質(zhì)量的薄膜器件，在蒸發(fā)時常用到離子源來輔助膜料的淀積使膜層結(jié)構(gòu)更致密。結(jié)合我們實驗室的儀器條件，主要介紹熱蒸發(fā)和離子源。熱蒸發(fā)是一種發(fā)展較早、應用最廣的蒸發(fā)方法，當材料被加熱的時候，其原子就會從表面逸出，這種現(xiàn)象叫熱蒸發(fā)。熱蒸發(fā)的方式主要有電阻加熱，電子束加熱，高頻感應加熱和激光加熱，我們常用的是電阻加熱和電子束加熱。 電阻加熱是一種最簡單、最常用的方法，它是利用高熔點的材料（如鉬，鎢等）做加熱器。它相當于一個電阻，通電后產(chǎn)生焦耳熱，達到蒸發(fā)膜料的溫度1000～2