【正文】 N1/N0=1ed/L （1） L≈2/(3p) （2）其中：N0是初始被蒸發(fā)物質(zhì)分子總數(shù)，N1是在到達(dá)基片的途中與殘余氣體分子發(fā)生碰撞的分子數(shù)，L是平均自由程，d是蒸發(fā)源到基片的距離，P是殘余氣壓。它主要是對(duì)擴(kuò)散泵及蒸發(fā)系統(tǒng)和真空室進(jìn)行冷卻。7． 充氣： 充氣時(shí)開(kāi)關(guān)4和5不能同時(shí)開(kāi)，要開(kāi)5關(guān)開(kāi)4關(guān)4，開(kāi)關(guān)6和7也不能同時(shí)開(kāi)，要開(kāi)7關(guān)開(kāi)6關(guān)6，反復(fù)做直到氣壓達(dá)到預(yù)定的激光管氣壓為止。當(dāng)真空度達(dá)到 乇以下時(shí)可以進(jìn)行充氣。4． 放電清洗：激光管降溫后在激光管兩極接上高壓直流放電電源（注意正負(fù)極要接對(duì)），充入2 3乇He氣，開(kāi)啟放電電源開(kāi)關(guān)，放電電流調(diào) 至60到80mA。等待一段時(shí)候后管內(nèi)氣壓基本能達(dá)到 乇以下。然后用兩塊平行平面反射鏡，貼在兩貼片管之端面上，從平行光管的目鏡中觀察反射鏡上反射回來(lái)的十字線(xiàn)象，若反射回來(lái)的十字線(xiàn)象在原十字線(xiàn)的上方，則說(shuō)明端面下放凸出需要磨去，經(jīng)過(guò)反復(fù)研磨以后，最終觀察到兩十字線(xiàn)基本重合，則此端面已經(jīng)磨好，再磨另一個(gè)端面。直至磨削到反射回來(lái)的光斑與小孔垂直為止。（2） 粗磨：用火割法切割的貼片管口，對(duì)于貼片來(lái)說(shuō)是非常不平的，因此必須先放在粗磨機(jī)上磨削。 （4）調(diào)頭封接，將管身余料拉除并燒成平底，熔接毛細(xì)管開(kāi)孔燒光，再與零件(4)用火苗逐段封接，見(jiàn)圖8—27(5—6)。這樣固定筒形電極，便于鎢棒焊接。軟玻璃的膨脹系數(shù)大，這樣做極易爆裂，硬玻璃則不必?fù)?dān)心這個(gè)問(wèn)題。在制造冷凝器、蒸汽捕集器、等儀器時(shí)，都需要用到“環(huán)形封接”的技術(shù)。最后，進(jìn)行退火。將玻管放在溫度不甚高的粗燈焰中旋轉(zhuǎn)加熱，直至約二倍于管徑的一段長(zhǎng)度都開(kāi)始熔化，并因玻璃流動(dòng)而略賂收縮為止。（2） 將較細(xì)的那只玻管一端封閉制成圓底，另一端管口制成直徑與大管相等的喇叭口。制造玻璃儀器時(shí)，修光玻管末端的開(kāi)口及其形狀，不僅可使儀器美觀、且能增加其強(qiáng)度，并使搬動(dòng)及使用方便。右手執(zhí)尾管，將玻璃末端放在火焰中旋轉(zhuǎn)加熱；手執(zhí)玻管的角度應(yīng)當(dāng)略略與水平傾料，使熔化的玻璃能流向尾管方向(如欲得—厚壁玻泡，則應(yīng)將熔融段朝下，使玻璃集聚在玻泡上)。（4） 吹小泡。在吹制玻璃器具時(shí)，也常常需要同時(shí)進(jìn)行圓底封閉和吹泡工作。 較常見(jiàn)的側(cè)接是將一根玻管的開(kāi)端垂直對(duì)接于另一玻管側(cè)面的孔穴上，即“T”形封接。對(duì)接的要求是：封接牢固，壁厚均勻及接合處幾乎不能察覺(jué)。玻璃經(jīng)過(guò)受熱加工后，如果退火不好，就可能立刻自行炸裂，或在以后運(yùn)用時(shí)發(fā)生炸匙．要消除玻璃在熔化和封接時(shí)所產(chǎn)生內(nèi)應(yīng)力，必須把玻璃重新加熱到退火溫度，然后才使它緩緩冷卻。D．火焰割切法 用銼刀、割輪等割截的玻管，如用來(lái)封接，常會(huì)在封接處出現(xiàn)一小段不很透明的部分，若用火焰法割出則可避免此缺點(diǎn)。(2) 外徑在13—25毫米的玻管——在刻好割痕并沾濕后，需用另一種握法將它斷開(kāi)，雙手握住玻管，手臂抵住玻管，然后以彎折與拉力的合力將它折斷．B．砂輪割切法砂輪割管的速度很快，直徑較大的如一次割一個(gè)，則每小時(shí)約可割3000個(gè)；較小的玻管(如電子管的排氣管等)一次可割6——8個(gè)，每個(gè)時(shí)可割6000——7000個(gè)，因而多被廣泛采用于大量成批的生產(chǎn)加工。割斷玻管最常用的有銼刀法、砂輪法、熱絲法與火焰法等四種方法： ’A．銼刀割切法對(duì)于不同性質(zhì)的玻璃，割管的方法有時(shí)亦稍有不同；軟波璃極易斷開(kāi)，硬玻璃則不然．一般說(shuō)來(lái)，銼刀法對(duì)外徑小于25毫米的玻管最為有效。 b．粉料石——玻璃的配料或熔制的處理過(guò)程不佳時(shí)，粉料中某些部分仍保持原來(lái)狀態(tài)，于是便形成所謂粉料石。這種內(nèi)結(jié)不僅會(huì)影響玻璃的外觀（如均勻的透明度與光澤等)，而且會(huì)降低玻璃的強(qiáng)度。一般地說(shuō)，液態(tài)內(nèi)結(jié)會(huì)使玻璃的強(qiáng)度減低。在進(jìn)行玻璃吹制時(shí)，氣泡中的氣體受熱膨脹，常沖破軟化的玻璃，形成一個(gè)凹洞甚至使玻璃穿透。這些缺陷大致可分成三類(lèi)：(1)氣態(tài)內(nèi)結(jié)(如氣泡、小米粒等) 這是最常見(jiàn)的玻璃缺陷，對(duì)玻璃吹制工作也是最為不利。破管的缺陷無(wú)法完全避免，尺寸也不可能完全準(zhǔn)確，但是在選擇時(shí)，仍應(yīng)該盡量采用其缺陷與尺寸誤差不致影響成品性能的玻管來(lái)進(jìn)行加工。 (10)彎管； (11)螺旋； (12)橡皮管接嘴； (13)環(huán)形封閉； (14)閉合管路； (15)用手噴燈封接系統(tǒng)。 接著談一下玻璃吹制的基本技術(shù)，任何復(fù)雜的玻璃儀器都是以基本的吹制技術(shù)為某礎(chǔ)的。若上述的調(diào)節(jié)精度夠的話(huà)，則有激光輸出，再微調(diào)一下兩端調(diào)節(jié)架上的測(cè)微螺旋鈕，使激光輸出最大。（2） 用以燈泡發(fā)出的光作為基準(zhǔn)，首先在待調(diào)試激光器的一端放一點(diǎn)亮的燈泡，在另一端通過(guò)放電毛細(xì)管看點(diǎn)亮的燈泡的燈絲，若看不到，則移動(dòng)燈泡直至看到為止。一般有如下兩種調(diào)試方法：（1） 用一激光束作為基準(zhǔn)線(xiàn)，首先使這激光束正中穿過(guò)一個(gè)靶的小孔和待調(diào)試的激光器的放電毛細(xì)管中心，然后放上諧振腔的其中一片（一般為平面輸出鏡）反射鏡對(duì)準(zhǔn)激光束，調(diào)節(jié)放有反射鏡的三維調(diào)節(jié)架上的測(cè)微螺旋鈕，使基準(zhǔn)激光束穿過(guò)放電毛細(xì)管和靶點(diǎn)小孔原路返回（這時(shí)表示反射鏡面已與激光器的放電毛細(xì)管垂直）。然而，輸出功率較大的氣體激光器（如大于30mw的HeNe激光器，大于500mw的Ar+激光器和白激光器等），就不能做成全內(nèi)腔式的激光器。在真空技術(shù)問(wèn)題未能順利解決時(shí)，往往影響氣體激光器件的正常生產(chǎn)。這時(shí)要在不斷抽氣下進(jìn)行玻殼烘烤除氣，電極高頻加熱除氣或電子轟擊除氣。嚴(yán)重影響器件的壽命，激光器件中真空情況的改變，是多種多樣的原因造成的。反射鏡一般是用光學(xué)玻璃（一般用K9光學(xué)玻璃）磨出光學(xué)平面，然后再其表面用真空鍍膜技術(shù)鍍上高反射率的多層介質(zhì)膜，其中一個(gè)稱(chēng)為全反射鏡，%以上（當(dāng)然最好是100%但工藝上做不到），另一個(gè)稱(chēng)為輸出鏡（激光束從此鏡輸出），其反射率視激光管長(zhǎng)短，增益損耗情況而定，一般也在97%～99%之間。陰極的結(jié)構(gòu)一般做成與毛細(xì)管同軸的形式，也有單獨(dú)做一個(gè)陰極泡接在放電管側(cè)面，這樣可以減輕陰極濺射物對(duì)窗片或反射鏡的污染，有利于提高輸出功率及延長(zhǎng)壽命。激光管的管殼及放電毛細(xì)管通常是采用膨脹系數(shù)較小的硬質(zhì)硅酸鹽玻璃制成。二. 實(shí)習(xí)內(nèi)容:1．HeNe激光管制作實(shí)習(xí)內(nèi)容流程圖：2．HeNe激光器的基本結(jié)構(gòu)：HeNe氣體激光器主要由He，Ne氣體放電毛細(xì)管和光學(xué)諧振腔兩部分組成，根據(jù)不同的使用要求,激光器的結(jié)構(gòu)可分為下列幾種形式：a． 內(nèi)腔式：放電毛細(xì)管與諧振腔反射鏡聯(lián)通在一起；b． 半內(nèi)腔式：放電毛細(xì)管與諧振腔的反射鏡，一頭是分開(kāi)的（中間有窗片隔開(kāi)），另一頭則連通在一起；c． 外腔式：放電毛細(xì)管與諧振腔反射鏡完全分開(kāi)，中間有布儒斯特窗片隔開(kāi)。放電管的陽(yáng)極一般用鎢桿，陰極則用鎢桿再接一個(gè)較大尺寸的金屬圓筒，一般是用陰極濺射較小的金屬材料，如鉬，鉭，鋁及鋁合金等金屬箔片制成。激光管兩端的反射鏡通常采用一個(gè)平面反射鏡，一個(gè)是凹面反射鏡組成光學(xué)諧振腔。如果氣體的各成分的比例改變了，或滲漏和放出有非工作氣體，那激光器件會(huì)造成光譜分散能量不集中，而造成其性能下降甚至不產(chǎn)生激光。氣體激光器件的排與充氣式最重要的一道真空加工工序。從以上討論，充分說(shuō)明氣體激光器的制造滲透著真空技術(shù)問(wèn)題。4. 全外腔，半內(nèi)腔氣體激光器的調(diào)試：一般來(lái)說(shuō)，輸出功率較小的氣體激光器都做成全內(nèi)腔式的激光器，這樣使用起來(lái)很方便。全外腔和半內(nèi)腔氣體激光器的調(diào)試原理很簡(jiǎn)單，就是要使激光器的放電毛細(xì)管與諧振腔鏡面的垂直度要＜1′以下，諧振腔兩鏡面的平行度＜10″以下。若沒(méi)有激光輸出，可以小心的微調(diào)一下其中一端調(diào)節(jié)架上的測(cè)微螺旋鈕，若還沒(méi)有激光輸出，則需按上述方法重新調(diào)試。再后把點(diǎn)亮的燈泡放在待調(diào)試激光器另一端，重復(fù)以上的操作，最后接通待調(diào)試激光器的電源，點(diǎn)亮激光器。玻璃吹制工作臺(tái)是工作室中的主要設(shè)備，它的布置應(yīng)當(dāng)注意考慮，使操作時(shí)便利，要使工作者手執(zhí)長(zhǎng)玻管的時(shí)候，至少在兩個(gè)方向上有自由活動(dòng)的余地。玻璃吹制的基本技術(shù)大致包括下列各內(nèi)容 (1)玻管的測(cè)量與選擇； (2)玻管的割切； (3)玻璃的加熱與退火； (4)拉尾管； (5)對(duì)接； (6)側(cè)接； (7)圓底封閉及吹泡； (8)末端開(kāi)口及張喇叭； (9)喇叭口的封接；。因而，在選用玻管預(yù)備加工時(shí)，還