半導(dǎo)體工廠大宗氣體系統(tǒng)設(shè)計(jì)(編輯修改稿)
2025-08-02 17:22 本頁面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 除去其中的雜質(zhì)，再經(jīng)過濾器除去其中的顆粒（Particle）。出于安全考慮，一般將氫氣純化室設(shè)計(jì)為單獨(dú)一室，并有防爆、泄爆要求。 純化器 目前國(guó)內(nèi)采用的氣體純化器都是進(jìn)口的，主要的生產(chǎn)廠家有SAES、Taiyo、Toyo、JPC、ATTO等。純化器根據(jù)其作用原理的不同可以對(duì)不同的氣體進(jìn)行純化。我將目前市場(chǎng)上純化器的情況作了整理，見表2。 一般說來，NO2純化器較多采用觸媒吸附式，Ar、H2純化器則以Getter效果最佳，H2純化器也多采用觸媒吸附結(jié)合Getter式。 在設(shè)計(jì)中要注意的是，不同氣體純化器需要不同的公用工程與之相配套。例如，觸媒吸附式N2純化器需要高純氫氣供再生之用；觸媒吸附式純化器需要冷卻水。因此，相關(guān)的公用工程管線必須在氣體純化間內(nèi)留有接口。 過濾器 半導(dǎo)體生產(chǎn)工藝過程不僅對(duì)氣體純度要求十分嚴(yán)格，而且對(duì)氣體中的顆粒含量也有極高的要求，目前在集成電路芯片生產(chǎn)中，對(duì)大宗氣體顆粒度的要求通常為：。而去除顆粒則需采用氣體過濾器。 一般的，經(jīng)純化的氣體需經(jīng)過兩個(gè)串聯(lián)的過濾器即可達(dá)到工藝要求，為方便濾芯更換，往往并聯(lián)設(shè)置兩組過濾器組，參見圖1。 氣體的品質(zhì)監(jiān)測(cè) 大宗氣體在經(jīng)純化及過濾后應(yīng)對(duì)其進(jìn)行品質(zhì)監(jiān)測(cè)，觀察其純度與顆粒度的指標(biāo)是否已高于實(shí)際的工藝要求。目前著重對(duì)氣體中的氧含量、水含量和顆粒度進(jìn)行在線連續(xù)監(jiān)測(cè)，而對(duì)CO、CO2及THC雜質(zhì)采用間歇監(jiān)測(cè)，測(cè)試結(jié)果連同其他測(cè)試參數(shù)（諸如壓力、流量等）都會(huì)被送往控制室中的SCADA（Supervisory Control and Date Acquisition）系統(tǒng)。 供氣系統(tǒng)的可靠性問題 由于微電子行業(yè)的投入與產(chǎn)出都是非常的大，任何供氣中斷都會(huì)帶來巨大的經(jīng)濟(jì)損失，尤其對(duì)大型集成電路芯片生產(chǎn)廠而言。因此在設(shè)計(jì)中必須充分考慮氣體供應(yīng)系統(tǒng)運(yùn)行的安全可靠性。若采用現(xiàn)場(chǎng)制氣方式，往往還需要設(shè)置該種氣體的儲(chǔ)蓄供氣系統(tǒng)作備用。 1）每一種氣體的純化器都需要有一臺(tái)作備用。 2）氧氣若采用現(xiàn)場(chǎng)制氣方式，雖然可以不經(jīng)純化而直接供工藝設(shè)備使用，但仍應(yīng)該設(shè)置一臺(tái)純化器作備用。 當(dāng)然，以上這些措施必須會(huì)導(dǎo)致氣體成本的急劇上升，雖然與供氣中斷造成的損失相比要小的多， 但這必須要與業(yè)主討論確定。而且，每個(gè)項(xiàng)目都有其特殊性，不必強(qiáng)求一步到位，可以考慮在不同的建設(shè)階段逐步實(shí)施。 另外,若有條件采用集中管道供氣方式,還需要考察氣體供應(yīng)商的系統(tǒng)設(shè)計(jì)情況，是否有對(duì)供氣中斷、管路污染等突發(fā)事故的預(yù)防措施、應(yīng)急措施和恢復(fù)手段。有必要提請(qǐng)業(yè)主注意在該種經(jīng)濟(jì)便利的供氣方式背后潛在的風(fēng)險(xiǎn)。 3 大宗氣體輸送管道系統(tǒng)的設(shè)計(jì) 經(jīng)純化后的大宗氣體由氣體純化間送至輔助生產(chǎn)層（SubFAB）或生產(chǎn)車間（FAB）的架空地板下，在這里形成配管網(wǎng)絡(luò)，再由二次配管系統(tǒng)（Hookup）送至各用戶點(diǎn)。以我的設(shè)計(jì)經(jīng)驗(yàn)
法律信息相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1