【文章內(nèi)容簡介】 峰平均間距 S 的值。其測量原理參看圖 52 ，光切顯微鏡有兩個軸線相互垂直的光管，左光管為觀察管，右 光 管為照明管。在照明管中，由光源 3 發(fā)出的光經(jīng)過聚光鏡 2，穿過狹縫 1形成平行光束，該光束再經(jīng)物鏡 4 以 45176。入射角投射到被測表面上，形成 窄長的光 圖 52 光切原理 帶，通過觀察管進行觀察 。 1狹縫； 2聚光鏡； 3光源； 觀察管內(nèi)裝有物鏡 目鏡 5物鏡； 6目鏡； 7分劃板 6 和分劃板 7。若被測表面粗糙不平 ，光帶就彎曲。設被測表面的微觀不平度高度為 h，則光帶彎曲高度 S1S2=h/cos45176。，而在目鏡中看 到的是放大的光帶影像的高度 S1′ S2′ =h′ ,則 h′ =K h/cos45176。 (51) 式中 K—— 觀察管的放大倍數(shù)。 光帶影像的彎曲高度用測微目鏡頭測量。其結構簡圖見圖 53a，下層的固定分劃板 3 上的刻線尺刻有九條等距刻線，分別標著 0、 26 8 等九個數(shù)字；上層的活動分劃 板 2 上刻有一對雙紋刻線和相互垂直的十字線，前者的中心線 通過后者的交點，且 該中心線 與后者的任一條直線間成 45176。角。當轉動測微鼓輪 1 利用螺桿移動分劃板 2 時，位移的大小從鼓輪 1 上讀出。當鼓輪 1 旋轉一轉（ 100 格）時，雙紋刻線和十字線交點便相對于固定分劃板 3 上的刻線尺移動一個刻度間距。為了測量和計算的方便，活動分劃板 2 上的十字線與其移動方向成 45176。角，如圖 53b 所示。鼓輪 1 轉動的格數(shù)H 與光帶影像的彎曲高度 h′ 之間的關系為： h′ =Hcos45176。 (52) 由式（ 51）和式（ 52）得到被測表面微觀不平度的高度 h 與鼓輪 1 讀數(shù)格數(shù) H 之間的關系如下： h=Hcos245176。 /K=H/2K=i H (53) 式中 i=1/2K,是使用不同放大倍數(shù)的物鏡時鼓輪 1 的分度值。它由量儀說明書給定或從表 51 查出，實際應用時通常用量儀附帶的標準 刻線尺來校定。 圖 53 測微目鏡 頭 1— 測微鼓輪； 2— 活動分劃板； 3— 固定分劃板 27 表 51 物鏡放大倍數(shù) K與可測 RZ值的關系 物鏡放 大倍數(shù) 量儀的總 放大倍數(shù) 分度值 i(μ m/格 ) 目鏡視場直徑（ mm） 可 測 范 圍 RZ（ μ m） 7 60 20～ 80 14 120 ～ 20 30 260 ～ 60 510 ～ 表 52 Ra、 RZ、 RY的取樣長度 l 和評定長度 l n的選用值 輪廓算術平均偏差 Ra（μ m） 微觀不平度十點高度 RZ、輪廓最大高度 RY（ μ m） 取樣長度 l (mm) 評定長度 l n=5 l (mm) ＞ 40 ～ 80 ＞ 160～ 320 8 40 ＞ 20 ～ 40 ＞ 80～ 160 ＞ 10～ 20 ＞ 40～ 80 ＞ 5 ～ 10 ＞ 20～ 40 ＞ ～ 5 ＞ 10～ 20 ＞ ～ ＞ ～ 10 ＞ ～ ＞ ～ ＞ ～ ＞ ～ ＞ ～ ＞ ～ ＞ ～ ＞ ～ ＞ ～ ＞ ～ ＞ ～ ＞ ～ ＞ ～ ＞ ～ ＞ ～ ＞ ～ 四、 微觀不平度十點高度 RZ的測量 （參考圖 54） （ 1）按表面粗糙度標準樣塊評估的被測表面粗糙度參數(shù)值來確定取樣長度 l 和評定長度 l n(見表 52)。按表 51 選擇適當放大倍數(shù)的一對物鏡并將它們安裝在量儀上。 （ 2）通過變壓器 接通電源，使光源 1 照亮。把被測工件放置在工 28 作臺 11 上。松開螺釘 3，旋轉螺母 6，使橫臂 5 沿立柱 2 下降（注 意物鏡頭和被測表面之間必須 留 有微量的間隙 ），進 行粗調(diào)焦，直至目鏡視場中出現(xiàn)綠色光帶為止。轉動工作臺 11，使光帶與被測表面的加工痕跡垂直，然后鎖緊螺釘 3 和螺釘 9。 （ 3）從目鏡 16 觀察光帶。旋轉手輪4 進行微調(diào)焦，使目鏡視場中央出現(xiàn)最窄且有一邊緣較清晰的光帶。 圖 54 光切顯微鏡 （ 4）松開螺釘 17，轉動目鏡頭 16， 1— 光源； 2— 立柱； 3— 鎖緊螺釘 使視場中十字線中的水平線與光帶總的 4— 微調(diào)手輪； 5— 橫臂； 6— 升降 方向平行，然后緊固螺釘 17，使目鏡頭 螺母； 7— 底座； 8— 工作臺縱向 16 位置固定。 移動千分尺； 9— 工作臺固定螺釘 ； （ 5） 轉動目鏡測微鼓輪 15，在取 10— 工作臺橫向移動千分尺； 樣 長度 l 范圍 內(nèi)使十字線中的水平線分別 11— 工作臺； 12— 物鏡組； 13 — 手 柄 與 5 個最大的輪廓 峰 高和 5 個最大的輪 14— 殼體； 15— 測微鼓輪； 16— 測微 廓谷深相切（見圖 55）。從目鏡測微 目鏡 頭 ； 17— 緊固螺釘； 18— 照相機 插座鼓 輪 15 上分別讀出這 5 個最高點至基準線 A 的距離 h h h hh5和 這 5 個最低 點至基準 線 A 的 距離 h h h h h10。應當注意，切勿在取樣長度 l 范圍內(nèi)任意或按順序找 5 個峰、 5 個谷，而必須找出 5 個最高峰和 5 個最 低 谷。微觀不平度十點高度 RZ 按下列公式計算： 29 RZ=i5 )()( 10987654321 hhhhhhhhhh ?????????(μ m) (54) 式中， hi的單位為格；分度值 i 的數(shù)值由表 51 查出，其單位為μ m/格。 圖 55 五個最高點和 5個最低 點至基準線的距離 （ 6） 由于被測表面各部 分的表面粗糙度不一定均勻一致，為了充分反映 整個表面的表面粗糙度特性，取評定長度范圍內(nèi)的幾個 RZ值的平均值作為測量結果。 （ 7）按圖樣的規(guī)定，確定實際被測表面的表面粗糙度是否符合要求。 用光切顯微鏡測量一個表面的微觀不平度十點高度 RZ 值，該量儀測微鼓輪分度值 i 為 m/格，物鏡放大倍數(shù)為 30 倍，在 5 段取樣長度 l 為 上測量，各段的測量數(shù)據(jù)及相應的數(shù)據(jù)處理和測量結果列于表 53 中。 30 表 53 用光切顯微鏡測量微觀不平 度十點高度 RZ值 側 量 記 錄 及 計 算 取樣長度 il l 1 l 2 l 3 l 4 l 5 峰、谷值 （格） 序號 hp1 hv1 hp2 hv2 hp3 hv3 hp4 hv4 hp5 hv5 1 88 47 87 52 89 56 87 54 90 55 2 76 48 81 60 88 60 84 58 76 56 3 73 51 78 64 84 65 78 61 73 57 4 69 53 77 68 79 67 75 66 69 59 5 59 54 75 69 72 69 73 70 68 60 ?51 365 253 398 313 412 317 397 309 376 287 51511 ??????? ? ?? ?j j vjpjzhhiR μ m ?ZR μ m ?zR μ m ?ZR μ m ?ZR μ m 測量 結果 實測 )54321 ?????? ZZZZZZ RRRRRR （平均 μ m 五、 輪廓最大高度 Ry的測量 按上述測量 RZ值的實驗步驟（ 1）、（ 2）、（ 3）、（ 4）調(diào)整量儀， 然后轉動目鏡測微鼓輪 15（圖 54），在取樣長度 l 范圍 內(nèi)，使十字線 中的水平線分別與所有 輪廓峰中的最高峰和所有輪廓谷中的最深谷相 切，分別測取最大值 hp 和最小值 hv(如圖 56 所示 )，然后按下式計算 Ry值： Ry=i (hphv) (μ m) 取評定長度范圍內(nèi)測得的幾個 Ry值的平均值作為測量結果。 31 56 輪廓的最高蜂和最深谷 A— 輪廓蜂