掃描電鏡及能譜分析—南理工(編輯修改稿)
2025-07-24 10:14 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 的亮度。掃描控制單元產(chǎn)生信號(hào)，通過(guò)上下偏轉(zhuǎn)線圈，使電子束產(chǎn)生偏轉(zhuǎn)并以光柵模式樣品表面選擇區(qū)域內(nèi)掃描。掃描過(guò)程中，隨著收集到信號(hào)的強(qiáng)度變化，探測(cè)器不斷向顯示器發(fā)生電壓值，而監(jiān)視器則把收集到的信號(hào)調(diào)制成與樣品掃描區(qū)域相對(duì)應(yīng)的圖像。 因此，掃描電子顯微鏡的放大倍率，實(shí)際上為監(jiān)視器圖像掃描幅度??c與樣品上同步掃 描幅度??s的比值，即?? = ??c/??s。通過(guò)改變電子束在樣品表面的掃描幅度，可以連續(xù) 改變掃描電子顯微鏡的放大倍率。圖 1 掃描電子顯微鏡結(jié)構(gòu)示意圖三、分析測(cè)試步驟開(kāi)機(jī) 接通循環(huán)水（） 打開(kāi)主電源開(kāi)關(guān)。 在主機(jī)上插入鑰匙，旋至start位置。松開(kāi)后鑰匙自動(dòng)回到on位置，真空系統(tǒng)開(kāi)始工作。 等待10秒鐘后，打開(kāi)計(jì)算機(jī)運(yùn)行。 點(diǎn)擊桌面的開(kāi)始程序。 點(diǎn)擊[]及[JSM5000主菜單]。 約20分鐘儀器自動(dòng)抽高真空，真空度達(dá)到后，電子槍自動(dòng)加高壓，進(jìn)入工作狀態(tài)。 通過(guò)計(jì)算機(jī)可以進(jìn)行樣品臺(tái)的移動(dòng)，改變放大倍數(shù)、聚焦、象散的調(diào)整，直到獲得滿(mǎn)意的圖像。 對(duì)于滿(mǎn)意的圖像可以進(jìn)行
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