光電子能譜原理及應用(編輯修改稿)
2025-06-03 22:53 本頁面
【文章內容簡介】 學分析測試中心 電話： 01064434725 X射線光電子能譜（ XPS） XPS分析 衛(wèi)星峰（ satellite peaks） 北京化工大學大型精密儀器講座 北京化工大學分析測試中心 電話： 01064434725 X射線光電子能譜（ XPS） 鬼峰（ ghost peaks） 由于 X射源的陽極可能不純或被污染，則產生的 X射線不純。因非陽極材料 X射線所激發(fā)出的光電子譜線被稱為 “ 鬼峰 ” 。 XPS分析 北京化工大學大型精密儀器講座 北京化工大學分析測試中心 電話： 01064434725 X射線光電子能譜（ XPS） 能量損失峰 對于某些材料，光電子在離開樣品表面的過程中，可能與表面的其它電子相互作用而損失一定的能量，而在 XPS低動能側出現(xiàn)一些伴峰，即能量損失峰 。 XPS分析 北京化工大學大型精密儀器講座 北京化工大學分析測試中心 電話： 01064434725 X射線光電子能譜（ XPS） XPS分析 能量損失峰 北京化工大學大型精密儀器講座 北京化工大學分析測試中心 電話： 01064434725 X射線光電子能譜（ XPS） 定量分析 I＝ nfσψγAλ 式中： I— 峰強度 n — 每 cm2的原子數(shù) f — X射線通量（光子 ∕ cm2s） σ — 光電截面積（ cm2） ψ — 與 X射線和出射光電子的夾角有關因子 γ — 光電產額（光電子 ∕ 光子） A — 采樣面積（ cm2） T — 檢測系數(shù) λ — 光電子的平均自由程（ cm） XPS分析 北京化工大學大型精密儀器講座 北京化工大學分析測試中心 電話： 01064434725 X射線光電子能譜（ XPS） 1 1 12 2 2n I Sn I S?令 S =σψγAλ 為靈敏度因子 x x xxi i iiin I SCn I S????已知 Si, 測得 I XPS分析 定量分析 北京化工大學大型精密儀器講座 北京化工大學分析測試中心 電話： 01064434725 X射線光電子能譜（ XPS） XPS儀器新進展 單色化 XPS X射線不純所造成的不利影響： 衛(wèi)星峰 分辨率不高 譜圖背底高 北京化工大學大型精密儀器講座 北京化工大學分析測試中心 電話： 01064434725 X射線光電子能譜（ XPS） 單色化原理 XPS儀器新進展 單色化 XPS 北京化工大學大型精密儀器講座 北京化工大學分析測試中心 電話： 01064434725 X射線光電子能譜（ XPS） ? ? ? 反射面法線 2 s i nnd??＝布拉格方程 （ Bragg equation） XPS儀器新進展 單色化 XPS 北京化工大學大型精密儀器講座 北京化工大學分析測試中心 電話： 01064434725 X射線光電子能譜（ XPS） 原子面對 X射線的反射并不是任意的，只有當 ?、 ?、 d三者之間滿足布拉格方程時才能發(fā)生反射 。 XPS儀器新進展 單色化 XPS 北京化工大學大型精密儀器講座 北京化工大學分析測試中心 電話： 01064434725 X射線光電子能譜（ XPS） 單色化 XPS優(yōu)點 ? X射線的寬度從 ,單色化后的 XPS的分辨率高出很多，達到 。能得到更多化合態(tài)信息 ? 衛(wèi)星峰、鬼峰消失 ? 樣品受到 X射線傷害較少。 XPS儀器新進展 單色化 XPS 北京化工大學大型精密儀器講座 北京化工大學分析測試中心 電話： 01064434725 X射線光電子能譜（ XPS） 小束斑 XPS Torroidal Crystal Anode Electron Gun 原理 XPS儀器新進展 北京化工大學大型精密儀器講座 北京化工大學分析測試中心 電話： 01064434725 X射線光電子能譜（ XPS） X射線在樣品上的光斑大小與電子打在金屬（陽極）上的光斑大小近似。調節(jié)電子斑大小即可調節(jié) X射線光斑大小。 聚焦電子束，調節(jié)電子斑尺寸。 XPS儀器新進展 小束斑 XPS 北京化工大學大型精密儀器講座 北京化工大學分析測試中心 電話： 01064434725 X射線光電子能譜（ XPS） 特點 ? X射線光斑尺寸 20μm~500 μm可調 ? 單色化 X射線， XPS分辨率達到 ? 樣品受到 X射線傷害較少。 XPS儀器新進展 小束斑 XPS 北京化工大學大型精密儀器講座 北京化工大學分析測試中心 電話： 01064434725 X射線光電子能譜（ XPS） 應用 ? 特定區(qū)域分析 ? 線分布或面分布 XPS儀器新進展 小束斑 XPS 北京化工大學大型精密儀器講座 北京化工大學分析測試中心 電話： 01064434725 X射線光電子能譜（ XPS）
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