mos二極管ppt課件(2)(編輯修改稿)
2025-06-01 18:16 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 平帶電壓 閾值電壓 第一項是 ， 為消除半導(dǎo)體和金屬的功函數(shù)差的影響 ， 金屬電極相對于半導(dǎo)體所需要加的外加電壓； 第二項是為了把絕緣層中正電荷發(fā)出的電力線全部吸引到金屬電極一側(cè)所需要加的外加電壓； 第三項是支撐出現(xiàn)強反型時的體電荷 所需要的外加電壓； 第四項是開始出現(xiàn)強反型層時 ， 半導(dǎo)體表面所需的表面勢 。 0021 CQVVVmsGGFB ???? ?SiBms CQCQSiCBQFBVTHV ??? ???????0000BQ2022/6/2 13 實際 MOS的 CV曲線（一） 2022/6/2 14 界面態(tài)對 CV特性的影響 2022/6/2 15 界面態(tài)的性質(zhì) 界面態(tài) 受主態(tài) 施主態(tài) 2022/6/2 16 界面態(tài)的性質(zhì) 中性受主 正施主 中性施主 中性受主 中性施主 中性受主 中性施主 負(fù)受主 2022/6/2 17 界面態(tài)對 CV曲線的影響 2022/6/2 18 BT實驗：測量離子沾污程度 A B C A：原始 CV曲線 。 B：加 10V正偏壓 ， 在 127?C， 30min后測試結(jié)果 C：加 10V正負(fù)偏壓 ， 在 127?C， 30min后測試結(jié)果 2022/6/2 19 例題 ? P型硅襯底 MOS結(jié)構(gòu)，襯底摻雜濃度為Na=1014， 氧化層厚度為 tox=500197。，柵是 n+多晶硅，設(shè) QSS=1010cm2,確定平帶電壓及值閾電壓？ 解： VCQVcmCQcmFtCEeVoxSSmsFBSSoxoxoxfpgmsfp0 . 8 1 1707 8 82 2 80 . 2 2 8
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