長度測量技術(shù)ppt課件(編輯修改稿)
2025-06-01 06:55 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 零件的密封性。 ?影響零件的外觀、測量精度、表面光學(xué)性能 ?影響導(dǎo)電導(dǎo)熱性能和膠合強度等 粗糙度的定義： 26 LF 1 F 2y=f (x) F nG 1 G 2G mx0國家標(biāo)準(zhǔn)規(guī)定：評定基準(zhǔn)為 輪廓中線 。 包括：最小二乘中線和算術(shù)平均中線 基準(zhǔn)線LnL LL L最小二乘中線：使輪廓上各點至該線的 距離平方和為最小。 評定基準(zhǔn)： 評定表面粗糙度的一段參考線。 算術(shù)平均中線：將實際輪廓劃分上下兩部分， 且使上下面積相等的直線。 粗糙度評定基準(zhǔn)： 27 5/)( 5151 ?? ????i vii pizyyR(1) 輪廓算術(shù)平均偏差 Ra： (2) 微觀不平度十點高度 Rz： (3) 輪廓最大高度 Ry： ??? ni ia ynR 11在取樣長度內(nèi)，被測實際輪廓上各點 至中線距離絕對值的平均值 . m a xm a x VPY YYR ??在取樣長度內(nèi)，被測實際輪廓上 5點最大峰高平均值與 5點最大谷深平均值的絕對值和 . 在取樣長度內(nèi)，被測實際輪廓上峰頂 與谷底之間距離 . 粗糙度的評定參數(shù)： 評定參數(shù) ：通常采用下列參數(shù)之一來定量評定表面粗糙度。 28 粗糙度的接觸式測量： 工作原理：觸針接觸被測表面， 移動一段長度（切斷長度）， 傳感器輸出位移信號 位移傳感器：電感傳感器、壓電傳感器 測量頭：導(dǎo)頭－保持移動方向，近似測量基準(zhǔn) 觸針－獲取輪廓信號 觸針式輪廓儀： 電感式輪廓儀、 激光干涉式輪廓儀、壓電式輪廓儀 二、粗糙度的測量方法 29 電感式輪廓儀 ：采用 電感傳感器 把觸針的微小位移信號轉(zhuǎn)換成電量輸出。 激光干涉式輪廓儀 :干涉系統(tǒng)測量鏡與觸針分別位于 杠桿 的兩端，其位移量為確定的比例關(guān)系，由此可有測得的測量鏡的位移量計算得到觸針的位移量。 壓電式輪廓儀 ：采用具有 壓電特性的晶體 作為傳感器的換能元件，把觸針的位移量轉(zhuǎn)化為壓電晶體的形變量，最終轉(zhuǎn)變?yōu)檩敵鲭妷骸? 激光干涉式輪廓儀測量原理圖 壓電式輪廓儀測量原理圖 30 工作原理：激光束聚焦于被測表面， 反射光束至光電探測器， 表面微觀輪廓引起離焦， 控制物鏡系統(tǒng)重新聚焦， 輸出控制信號大小（電流）。 光學(xué)輪廓儀 粗糙度的非接觸式測量： 31 第五章 長度測量技術(shù) 第一節(jié) 長度檢測概述 第二節(jié) 尺寸測量 第三節(jié) 形位誤差測量 第四節(jié) 表面粗糙度測量 第五節(jié) 線位移與距離測量 第六節(jié) 物位檢測技術(shù) 第七節(jié) 納米測量技術(shù) 32 一、線位移測量 接觸式線位移測量： (1) 電感位移傳感器： 自感式傳感器： 原理：位移 → 線圈電感變化 特點：可靠，非線性嚴(yán)重 范圍：測量微位移（ 1mm） 互感式傳感器（差動變壓器）： 原理：位移 → 兩線圈互感變化 特點：非線性小 范圍：測量大范圍位移（ 100mm） 0 1 2()U j M M I?? ? ?33 (2) 光柵式位移傳感器 工作原理：疊合在一起形成一個小角度， 移動時，形成明暗相間的條紋－－莫爾條紋 定義：光柵是在玻璃基體上刻有均勻分布條紋的光學(xué)元件。 構(gòu)成：主光柵（標(biāo)尺光柵）、指示光柵、光路系統(tǒng)、光電元件。 特點： 莫爾條紋寬度： ????WWB)2/si n (2W=a+b： W柵距， a線寬， b縫寬 精度高：光柵刻線誤差的平均效應(yīng) 范圍大：取決于主尺長度 響應(yīng)快：光電式，適于動態(tài) 0 s in ( 2 / )mu u U x W???34 (2) 光柵式位移傳感器 3241 尺光柵 2. 指示光柵 電元件
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