單晶爐熱場(chǎng)結(jié)構(gòu)ppt課件(編輯修改稿)
2025-03-20 12:19 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 安裝與煅燒 ③保溫罩和加熱器對(duì)中：調(diào)整保溫罩位置，做到保溫罩內(nèi)壁與加熱器外壁之間四周間隙一致。注意可徑向移動(dòng)，不得轉(zhuǎn)動(dòng)，否則測(cè)溫孔就對(duì)不準(zhǔn)了。 ④保溫蓋和加熱器對(duì)中：升起托桿，讓三瓣鍋其與保溫蓋水平，調(diào)整保溫蓋的位置，使得四周間隙一致。 此外 : ⑤ 下保溫罩和電極之間的間隙前后一致，切不可大意造成短路打火。 ⑥測(cè)溫孔對(duì)一致。 二、熱場(chǎng)的安裝與煅燒 (4)煅燒 新的熱場(chǎng)需要在真空下煅燒，煅燒時(shí)間約 10小時(shí)左右，煅燒 3～ 5次，方能投入使用。使用后，每拉晶 4～ 8爐后也要煅燒一次。 煅燒功率，不同的熱場(chǎng)不一樣，一般要比引晶溫度高， CZ1爐子煅燒最高功率一般在 110KW。 二、熱場(chǎng)的安裝與煅燒 (1)熱場(chǎng)的概念 熱場(chǎng)也稱溫度場(chǎng)。熱系統(tǒng)內(nèi)的溫度分布狀態(tài)叫 熱場(chǎng) 。煅燒時(shí)，熱系統(tǒng)內(nèi)的溫度分布相對(duì)穩(wěn)定，稱為 靜態(tài)熱場(chǎng) 。在單晶生長(zhǎng)過程中，熱場(chǎng)是會(huì)發(fā)生變化，稱為 動(dòng)態(tài)熱場(chǎng) 。 單晶生長(zhǎng)時(shí)，由于不斷發(fā)生物相的轉(zhuǎn)化 (液相轉(zhuǎn)化為固相 )，不斷放出固相潛熱，同時(shí)，晶體越拉越長(zhǎng)，熔體液面不斷下降，熱量的傳導(dǎo)、輻射等情況都在發(fā)生變化，所以熱場(chǎng)是變化的，稱為動(dòng)態(tài)熱場(chǎng)。 三、熱場(chǎng)的溫度梯度 (2)溫度 梯度的概念 為了描述熱場(chǎng)中不同點(diǎn)的溫度分布及分布狀態(tài)，下面給大家介紹一個(gè)“溫度梯度”這個(gè)概念。 溫度梯度是指熱場(chǎng)中某點(diǎn) A的溫度指向周圍鄰近某點(diǎn) B的溫度的變化率。也即 單位距離內(nèi)溫度的變化率。 三、熱場(chǎng)的溫度梯度 如下圖所示， A點(diǎn)到 B點(diǎn)的溫度變化為 T1T2 ，距離變化為r1r2 。那么 A點(diǎn)到 B點(diǎn)的溫度梯度是： 通常用 表示在 r 方向上的變化率。 dTdr1212TTTr r r?? ???三、熱場(chǎng)的溫度梯度 顯然兩點(diǎn)間的溫度差越大，則 越大 ，則溫度梯度越大，反之，兩點(diǎn)間溫度差越小，則 越 小，則溫度梯度越小，如果 說明由 A點(diǎn)到 B點(diǎn)溫度是升高的，如果 說明由 A點(diǎn)到 B點(diǎn)的溫度是下降的。 dTdr三、熱場(chǎng)的溫度梯度 dTdr0dTdr ?0dTdr ?(3)靜態(tài)熱場(chǎng)的溫度分布 下圖為靜態(tài)熱場(chǎng)的溫度分布狀況：沿著加熱器中心軸線測(cè)量溫度的變化發(fā)現(xiàn)加熱器的 中心溫度最高 ， 向上向下都是逐漸降低的 ，它的變化率稱為 縱向溫度梯度 ，用 表示。 三、熱場(chǎng)的溫度梯度 dTdy 然后沿著軸線上某點(diǎn)沿著徑向測(cè)量，發(fā)現(xiàn)溫度是逐漸上升的， 加熱器中心溫度最低 ，加熱器溫度最高 ，成拋物線變化，它的變化率稱為 徑向溫度梯度 ，用 表示
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