改良熱場與石墨件并加裝石英導流器科技支撐項目驗收技術(shù)報告(編輯修改稿)
2025-02-14 23:43 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 設計，氬氣在流動中會有部分流失，不能充分的進入導流筒至液面，因此石英導流器就解決了這個難題，它上沿懸掛在爐蓋的直筒位置，下沿伸入石墨導流筒的上沿，這樣就使氬氣充分的進入導流筒，使晶體生長的界面溫度更加穩(wěn)定，同時還提高了生長拉速，縮短了等徑周期，另外石英的材質(zhì)更加潔凈，不會將石墨雜質(zhì)帶入液面，也提高了成晶率。⑶調(diào)整生產(chǎn)工藝生產(chǎn)工藝對晶體的生長至關(guān)重要，它不僅決定了晶體生長的穩(wěn)定性，還有效的減少拉晶操作工的干預，因此根據(jù)目前的生產(chǎn)情況，調(diào)整了引晶、放肩、等徑、收尾的工藝，使其與單晶的直徑，拉速更加匹配，提高了拉晶操作工的各項效率和成晶率。⑷改造導流筒原有導流筒保溫較差，影響拉制結(jié)果和效率，現(xiàn)在將導流筒內(nèi)芯改為碳碳復合材料，這樣就增強了保溫效果，又將保溫蓋上也改為碳碳復合材料，使熔體以上的區(qū)域溫度更加穩(wěn)定，在提高拉速的前提下晶體不會出現(xiàn)變形或扭曲的情況，有效的縮短了周期。四、影響實驗結(jié)果的因素構(gòu)成及影響分析：引晶過程中液面抖動，降低了引晶效率和一次成晶率，經(jīng)過排查堝轉(zhuǎn)電機與減速機以及下軸都會出現(xiàn)一些問題，還有主泵在運轉(zhuǎn)過程中會產(chǎn)生振動并傳到爐內(nèi)，通過更換地腳彈簧、修復堝轉(zhuǎn)電機與減速機及下軸部件，問題基本解決。等徑過程中晶體擺動，影響了晶體生長的穩(wěn)定性，原因分析是單晶爐本身的精度不夠，通過定期調(diào)整單晶爐的上下水平，在操作中注意堝位的變化，對拉制影響不嚴重。等徑過程中晶體扭曲，造成直徑波動較大，晶體生長易斷棱，主要原因是晶體的徑向溫度梯度過大，造成晶體的軸向溫度梯度也過大，增強上保溫的碳氈層數(shù)，同時調(diào)整了下軸垂直度，晶體扭曲問題也基本解決。五、詳述解決方法與創(chuàng)新點：⑴將底盤、中下保溫筒改成碳碳復合材料并且加大厚度，
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