改良熱場(chǎng)與石墨件并加裝石英導(dǎo)流器科技支撐項(xiàng)目驗(yàn)收技術(shù)報(bào)告-預(yù)覽頁
【正文】 差，影響拉制結(jié)果和效率，現(xiàn)在將導(dǎo)流筒內(nèi)芯改為碳碳復(fù)合材料，這樣就增強(qiáng)了保溫效果，又將保溫蓋上也改為碳碳復(fù)合材料，使熔體以上的區(qū)域溫度更加穩(wěn)定，在提高拉速的前提下晶體不會(huì)出現(xiàn)變形或扭曲的情況，有效的縮短了周期。五、詳述解決方法與創(chuàng)新點(diǎn)：⑴將底盤、中下保溫筒改成碳碳復(fù)合材料并且加大厚度，使保溫效果更強(qiáng)，同時(shí)減小上保溫筒內(nèi)徑，在加熱器上方制作石墨支撐板，將小口上保溫筒放置上面，縮小了上保溫筒的保溫區(qū)域，由于下排氣的單晶爐在拉制后期溫度流失很快，在爐底壓片上方加裝4個(gè)石墨支撐柱，上面放置密封的反射板，改變下排氣的氣流通道，這樣做不僅加強(qiáng)了中下保溫性能，調(diào)整了熱場(chǎng)的溫度梯度，整體的加熱功率下降明顯，還有效的降低了生產(chǎn)過程中的能耗，提高了各項(xiàng)生產(chǎn)指標(biāo)。六、實(shí)驗(yàn)所需材料、檢驗(yàn)設(shè)備：碳碳復(fù)合材料：碳纖維及其織物增強(qiáng)的碳基體復(fù)合材料。除氫氟酸、熱磷酸外，對(duì)一般酸有較好的耐酸性。由于每個(gè)碳原子均會(huì)放出一個(gè)電子，那些電子能夠自由移動(dòng)，因此石墨屬于導(dǎo)電體。七、實(shí)驗(yàn)結(jié)果分析：實(shí)驗(yàn)數(shù)據(jù)⑴等徑平均功率50kw，同比原熱場(chǎng)降低了7kw⑵，同比原熱場(chǎng)提高了7%⑶%，%⑷，%⑸產(chǎn)量每kg消耗電能52kw，；項(xiàng)目驗(yàn)收總結(jié)材料一、項(xiàng)目考核實(shí)際指標(biāo)：拉速：， mm/min， mm/min；等徑功率：，；%，；每公斤單晶硅棒消耗電能52kw；實(shí)用新型專利二、項(xiàng)目實(shí)施結(jié)論：通過多項(xiàng)實(shí)驗(yàn)的進(jìn)行，在項(xiàng)目實(shí)施期間已達(dá)到合同書要求考核指標(biāo)，在項(xiàng)目實(shí)施過程中，針對(duì)生產(chǎn)技術(shù)方面提高較為明顯，在熱場(chǎng)的改造中摸索出熱場(chǎng)保溫性能與能耗、成晶率的關(guān)系，研制石英導(dǎo)流器對(duì)于研發(fā)部門增加了實(shí)際操作的經(jīng)驗(yàn)。四、項(xiàng)目申請(qǐng)專利7
研究報(bào)告相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號(hào)-1