改良熱場與石墨件并加裝石英導流器科技支撐項目驗收技術報告-文庫吧
2025-01-03 23:43 本頁面
【正文】 期，從而也實現(xiàn)了降低功率的效果。熱場的保溫效果加強，導流罩的改造使晶體生長的界面更加穩(wěn)定，提高了晶體生長并完整收尾的記錄，同時也提高了生產效率和產量。三、實驗概況：目前生產情況：⑴由于現(xiàn)有熱場的溫度梯度與現(xiàn)有拉制尺寸不匹配，造成晶體生長過程中拉速略低，生長界面溫度不穩(wěn)定，拉速波動較大。生產過程中就會出現(xiàn)拉制不穩(wěn)定的情況，晶體斷棱和晶體完整收尾交替出現(xiàn)，人為干預頻繁晶體會拉制完整，補溫不及時或等徑曲線波動較大晶體就會斷棱。⑵晶體生長中拉速低會造成周期長，保溫差引晶時的液面位置離加熱器高溫區(qū)遠，引晶界面溫度波動就會大造成引晶困難，拉制中的各個工藝流程都有所延誤，每小時耗電自然增漲。⑷晶體在等徑中，由于熱場不穩(wěn)定會造成拉速變化大，晶體生長不均勻，影響了晶體的直徑，細徑則直接造成損失，粗徑則與工藝不匹配，堝位會增大，改變了最佳的生長界面，等徑曲線反復波動，容易斷棱，即便拉制完整也影響了晶體的拉制長度。⑸導流筒和保溫蓋的保溫較差，造成晶體的軸向溫度梯度過大，等徑前期不好控制，在300mm500mm易出現(xiàn)斷棱現(xiàn)象，再回熔提肩，高溫下產生大量揮發(fā)物，同事對坩堝涂層會有一定影響，最終造成拉制困難甚至整爐吊料。解決方案：⑴改造熱場在生產過程中，拉制較差的單晶爐熱場的保溫效果都較差，通過對原熱場的分析，普通碳氈保溫差而且老化快，密封不嚴，拉制中溫度流失快，造成晶體溫度梯度的改變，碳碳復合碳氈是將普通碳氈壓縮后表面加涂層，這樣就增強了熱場保溫，減緩了熱場的老化，保溫筒之間的凹槽保證了熱場的密封性，而且使用壽命也同比普通碳氈要長。⑵加裝石英導流器晶體生長的過程中，氬氣起著很大作用，除雜、冷卻、提高拉速等，但是現(xiàn)有熱場的
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