微執(zhí)行器ppt課件(編輯修改稿)
2025-02-10 16:56 本頁面
【文章內容簡介】 /絕緣材料）加工與 IC工藝兼容 ?問題：定子 /轉子間隙很小，才能產(chǎn)生足夠大的轉矩，易擊穿 ?措施：用氮化硅作絕緣層 性能 ? 10100V電壓 —— 考慮微小尺寸的擊穿 ? 開環(huán)的步進工作速度已高達 15000r/min，只受電源限制 ? 動態(tài)摩擦轉矩低于微馬達運轉矩的 10%，運轉中磨損不是主要的限制因素 ? 凸極式微馬達的典型輸出轉矩約為 10pNm ? 壽命幾天，幾百萬次起停試驗 ?要求：轉子的穩(wěn)定性、增大輸出轉矩、制備工藝簡單 —— 往往以犧牲后一個為代價 措施例子（圖 ），原理 靜電力驅動變電容式步進微馬達 原理 轉子和定子厚度 m多晶硅片 轉子直徑 60120μ m 轉子和定子空隙 12μ m 轉矩分析 （理解） 指標要求 ?較大的驅動轉矩 ?合理的電壓 ?盡可能減小摩擦 ?精細的角度分辨率 步輻分析 ?原理：在前一對電極產(chǎn)生步進后，相鄰的下一對電極的相對位置必須在轉矩最大位置 ?極數(shù)關系： 轉子極數(shù)一般為 2n；定子的靜電極數(shù)為 3 2n 112 ( r a d )srnn?? ?????????計算公式 減摩技巧 ?選材： Si3N4和多晶硅接觸 ?球面接觸 ?懸浮 工藝步驟 靜電力驅動變電容式同步微馬達 另一種結構思路：以多晶硅為結構主體，用為 Si3N4襯墊，這樣可以獲得硅的較好的結構性能 定子電極常選 12個，轉子電極為 4個 工藝步驟 靜電力驅動諧波式微馬達 工作原理 結論：轉子角頻率的值取決于定子半徑和轉子半徑 Rr之差，差值越小，比越小。 srrHrRRR?? ???? ????為轉子自轉的角頻率 為偏心距 H的角頻率， 即轉子軸心的角頻率 r?H?特點 ?獲得大減速比，直接實現(xiàn)小轉速、大力矩 ?避免了平板式結構因空隙過小吸附效應的負作用 ?結構可靠 ?滾動摩擦，有利于降低磨損、功耗 ?制造比較復雜 電懸浮減摩措施 理解分析過程 三、微行星齒輪減速器 了解紫外線掩模板的 CAD ?分割矩形逼近原理 ?只許重疊、不許遺漏原則 ?矩形窗口在 ?轉化成加工數(shù)據(jù)文件輸出 ? 在鍍鉻玻璃板上用以上的圖形進行紫外曝光，形成制作微齒輪 X光掩模板的過渡掩模板 X射線掩模板的加工 X射線深層光刻和微電鑄 微復制 微裝配 模壓溫度、模壓壓力、時間、脫模溫度、脫模速率、距離 非結晶塑料的玻璃化溫度（ Tg），結晶性塑料的融熔溫度（ Tm） 采用材料： PC、 PMMA、 PMMA（黑）、 PVC、 PS 應用 LIGA技術 第三部分 典型微執(zhí)行器 —— 微泵 /微閥 主要應用形式 —— 微流量控制系統(tǒng) 應用：微量化
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