ftlcd基礎知識培訓(編輯修改稿)
2025-02-06 14:08 本頁面
【文章內容簡介】 ?右圖：兩偏光片平行 TFT位于掃描電極和信號電極的交叉點處，它的漏極和源極分別與信號電極和像素電極相連，柵極與掃描電極相連。 TFTLCD單像素結構 TFT電路 TFT（薄膜晶體管）基本概念 LWSour ceDr ainGat eSemiconduct orglassGat e ins ulato rCh ann el+ ve + ve + ve gnd source drain Conductive channel Current flow TFT在 LCD中起著傳輸和控制電信號的作用，即通過它確定施加在液晶層上的電壓的大小 彩色濾色膜由紅、綠、藍三種顏色的光阻、黑矩陣，保護膜和 ITO公共電極幾部分組成 彩色濾光片（ Color Filter=CF） LCD工作原理 液晶顯示器件分類 液晶顯示器 直視型 投影型 透射型 （ 有背光源 ） 反射型（無背光源） 前投影型 背投影型 Array 制程與半導體制程相似，但不同的是將薄膜晶體管制作在玻璃基底上而非晶圓上； Cell 制程是將前段 Array基板與彩色濾光片的玻璃基板貼合，并在兩片玻璃基板間滴入液晶 (LC) ； 模組組裝制程是將 Cell制程后的面板與其它如背光單元、電路、外框等多種零組件組裝的過程。 TFTLCD制程 ? Color Filter Fabrication Process ? TFT Array Process ? Liquid Crystal Cell Process ? Module Assembly Process aSi TFT array process – step 1 ? Deposit and pattern gate metal ? Functions: ? Gate of TFT ? Select lines ? Bottom electrode of storage capacitor ? Metal options: ? Ti/Al/Ti ? Al/Mo ? Cr ? Mo ? Ta C C39。 Crosssection CC’ aSi TFT array process – step 2 ? Deposition of SiN/aSi/n+ by PECVD, patterning of aSi ? SiN is gate dielectric and storage capacitor dielectric ? Selective etch of aSi ? SiN is not etched C C39。 SiN aSi/n+ aSi TFT array process – step 3 ? Deposition and patterning of source/drain metal ? Functions: ? Source and drain metal ? Data l
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