薄膜材料物理--第一章薄膜的形成(1)(編輯修改稿)
2025-02-03 07:51 本頁面
【文章內容簡介】 11e x p ( ) e x p ( )2e x p ( ) ????2（ cm ）總 捕 獲 面 積 ： 其 中Sk T k TkT一 定n0為單位面積上的吸咐點數(shù) 第一講 第一章 薄膜的形成 PPPPR E R ERREE 1 1 1 ????? ? ? ???? ? ?? ? ????????臨 界 值臨 界 值臨 界 值臨 界 值若 ， 則 不 能 形 成 原 子 對 不 能 凝 結 成 膜 。只 有 當 S 時 才 能 成 膜 。 要 使 S ， 則 需 ， ， T 。 、 、 T 為 人 為 可 調 量若 臨 界 值 ， 其 他 參 量 一 定 ， 則 T 存 在 T ， 即TT 不 能 成 膜 對 沉 積 溫 度 要 求不 能 成 膜 對 沉 積 速 率 要 求 S 不 能 成 膜 對S基 片 清 潔 要 求XXPPPPPEEEn s RnEERnn???100000011e x p ( ) e x p ( )2 e x p ( ) ????Sk T k T其 中 一 定kT第一講 第一章 薄膜的形成 ? 形成原子對 zzPzZzZP z zPPzPSEEEE E EP???????001e x p ( ) ,11e x p ( ) e x p ( )??????? ? ?? ? ?S ， 表 明 每 個 吸 附 原 子 在 內 除 了 它 本 身 以 外 ， 還 有其 它 吸 附 原 子 形 成 原 子 對 （ 碰 撞 ） 。+為 兩 個 吸 附 原 子 的 結 合 能kT其 解 吸 幾 率 較 小 。+駐 留 時 間 ：k T k T 由 于 駐 留 時 間 大 ， 該 雙 原 子 與 其 它 吸 附 原 子 結 合的 幾 率 顯 著 增 大 ， 從 而 由 雙 原 子 三 原 子 形 成原 子 團 。第一講 第一章 薄膜的形成 初始凝結 S∑＜ 1 重新蒸發(fā)掉，不凝結 1＜ S∑＜ 2 部分凝結，部分再蒸發(fā) S∑＞ 2 完全凝結 167。 小原子團的吸附 ? 小原子團的形成 初始凝結 小原子團的變化速率 臨界核 ? 成膜初始階段，各種大小不一的小原子團 邊形 成、邊分解、又生長、又蒸發(fā) 動態(tài)平衡。 第一講 第一章 薄膜的形成 因為每個吸附原子的捕獲面積內，至少都有兩 個吸附原子。因此，所有的吸附原子都能結合成對 成為更大的原子團，從而達到完全凝結。 ∴ 制膜工藝條件： PRE? ? ? ??， ， T （ 由 S 看 出 ）小原子團的
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