em進展及發(fā)展趨勢ppt課件(編輯修改稿)
2025-02-02 14:07 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 EDS， 可以在獲得高分辨像的同時還可以得到大視場高反差的低倍顯微像，點分辨本領(lǐng)達 多功能高分辨分析 TEM：配有鋰漂移硅 Si(Li)X射線能譜儀 (EDS)， 配有電子能量選擇成像譜儀 — 進行納米尺度的微區(qū)化學成分和結(jié)構(gòu)分析； TEM面臨的重大技術(shù)突破 — 提高分辨率 減小物鏡球差： 80年代末期物鏡的球差降低到 。 1990年， Rose提出由兩個六極校正器和四個電磁透鏡組鏡球差減小到 ， 因此電鏡分辨率 ； FEGSTEM的新型的球差校正器，球差系數(shù) Cs由 ；STEM暗場像的分辨率提高到 。 TEM的發(fā)展趨勢 1 提高分辨本領(lǐng) 改進儀器性能降低物鏡的球差 提高物鏡電流和高壓的穩(wěn)定度以減少色差。
教學課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1