特種加工技術(shù)---第六章：電子束和離子束加工(編輯修改稿)
2024-11-12 14:25 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 要包括：束流聚焦控制、束流位置 控制和束流強度控制。 束流的位置控制是為了改變電子束的方向，常用電磁偏轉(zhuǎn)來控制 電子束焦點的位置。 電子束加工設(shè)備對電源電壓的穩(wěn)壓性要求較高，因為電壓波動 會影響電子束聚焦的穩(wěn)定性。 四 電子束加工的應(yīng)用 1 電子束打孔 1）高速打孔。目前電子束可以加工出最小直徑 3微米的微孔。 例如在 ，加工速度 為 3000個 /秒。 2）在人造皮革、塑料上打大量微孔。 3）加工玻璃、寶石、陶瓷等脆硬材料。但加工前脆硬材料需 要用電阻爐或電子束進(jìn)行預(yù)加熱。 2 加工型孔及特殊表面 電子束加工的噴絲頭異型孔截面 補充圖形 3 電子束光刻 此外，電子束還可以進(jìn)行焊接、切割和熱處理等。 第二節(jié) 離子束加工 一 離子束加工的基本原理 離子束加工和電子束加工基本類似，也是在真空條件下，將離子 源產(chǎn)生的離子束經(jīng)過加速聚焦，使之撞擊到工件表面。不同的是 離子帶正電，其質(zhì)量比電子大數(shù)千、數(shù)萬倍，所以一旦離子加速 到較高速度時，離子束比電子束具有更大的撞擊動能，它是靠微 觀的機械撞擊能量
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