led的生產(chǎn)工藝流程及設(shè)備(編輯修改稿)
2025-06-16 22:29 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 蝕刻的目的在于除去先前各步機(jī)械加工所造成的損傷，同時(shí)獲得干凈且光亮的表面，刻蝕化學(xué)作用可區(qū)分為酸性及堿性反應(yīng)。 晶片研磨機(jī) LED襯底材料制作 退火與拋光 ? 退火 將晶片置于爐管中施以惰性氣體加熱 30分鐘至一小時(shí)，再在空氣中快速冷卻，可以將所有氧雜質(zhì)限制作，這樣晶片的電性（阻值）僅由載流子雜質(zhì)來(lái)控制，從而穩(wěn)定電阻。 ? 晶片拋光 可分為邊緣拋光與晶片表面拋光。 高溫快速熱處理系統(tǒng) 晶片研磨 /拋光機(jī) LED襯底材料制作 清洗、檢驗(yàn)和包裝 ? 晶片清洗 用 RCA溶液（雙氧水＋氨水或又氧水＋鹽酸），將前面工序所形成的污染去除。 ? 檢驗(yàn)（ INSPECTION）： 芯片在無(wú)塵環(huán)境中進(jìn)行嚴(yán)格的檢查，包含表面的潔凈度、平坦度以及各項(xiàng)規(guī)格以確保品質(zhì)符合顧客的要求。 ? 包裝（ PACKING） 通過(guò)檢驗(yàn)的芯片以特殊設(shè)計(jì)的容器包裝，使芯片維持無(wú)塵及潔凈的狀態(tài)，該容器并確保芯片固定于其中，以預(yù)防搬運(yùn)過(guò)程中發(fā)生的振動(dòng)使芯片受損 清洗機(jī) LED外延制作 ? 在單晶襯底上生長(zhǎng)一薄層單晶工藝，稱為外延； ? 長(zhǎng)有外延層的晶體片稱為外延片； ? 正向外延、反向外延； ? 同質(zhì)外延、異質(zhì)外延 ； ? 外延材料是 LED的核心部分。事實(shí)上；LED的波長(zhǎng)、亮度、正向電壓等主要光電參數(shù)基本上取決于外延材料。 LED外延制作 ? 禁帶寬度適合 ? 可獲得電導(dǎo)率高的 P型和 N型材料 ? 可獲得完整性好的優(yōu)質(zhì)晶體 ? 發(fā)光復(fù)合幾率大 發(fā)光二極管的外延技術(shù)要點(diǎn) LED外延制作 外延技術(shù)與設(shè)備是外延片制造技術(shù)的關(guān)鍵所在。 ? 氣相外延（ VPE） ? 液相外延（ LPE） ? 分子束外延（ MBE） ? 金屬有機(jī)化合物氣相外延（ MOCVD） 外延技術(shù)的分類 LED外延制作 ? 從飽和溶液中在單晶襯底上生長(zhǎng)外延層的方法稱液相外延。液相外延方法是在 1963年由納爾遜（ Nelson）提出的。 ? 優(yōu)點(diǎn)： 1．生長(zhǎng)設(shè)備比較簡(jiǎn)單； 2．
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