壓電懸臂梁探針中壓電電荷信號的檢測論文開題報告(編輯修改稿)
2025-06-07 00:16 本頁面
【文章內(nèi)容簡介】 振動在壓電層上將產(chǎn)生電荷的積聚。利用壓電元件的壓電效應來檢測梁的變形量的集成微驅(qū)動器和微傳感器。 文中討論了壓電微懸臂梁中的壓電元件的兩種等效電路模型 ,并且提出了檢測微壓電信號的檢測系統(tǒng)（檢測系統(tǒng)主要包括前置放大器、函數(shù)發(fā)生器、鎖相放大器以及計算機）以及兩種前放電路。在測試系統(tǒng)中分別使用了以上兩種放大電路進行壓電信號檢測實驗 ,檢測樣品為自制的壓電微懸臂梁，并且在檢測微懸臂梁頻率響應特性的實驗中得到了較好的結(jié)果。 ? 綜合分析 : 文中討論了壓電微懸臂梁中的壓電元件的兩種等效電路模，并且提出了檢測微壓電信號的檢測系統(tǒng)以及兩種放大電路。在檢測微懸臂梁頻率響應特性的實驗中用了他們自行設計的差動電荷放大電路和差動電流放大電路以及整個信號檢測系統(tǒng)，可以檢測出壓電微懸臂梁的壓電信號。兩種電路都能較好的檢測出微懸臂梁在諧振狀態(tài)卜的幅度和相位。兩種前放電路中，差動電荷放大電路靈敏度較高，但是其原件較多，差動調(diào)平衡較難，噪聲引入環(huán)節(jié)較多 。差動電流放大電路元件少，電路簡單，適于集成。 通過比較可知，使用兩路差動檢測的方法能夠較好的去除激勵信號以及漂移和干擾信號的影響，可以用于微懸臂梁的進一步應用。 二、壓電薄膜微力傳感器特性研究 盧曉光 （大連理工大學物理電子學系） ? 要點 : 基于壓電 PZ
教學課件相關推薦
鄂ICP備17016276號-1