壓電懸臂梁探針中壓電電荷信號(hào)的檢測(cè)論文開(kāi)題報(bào)告-文庫(kù)吧在線文庫(kù)
【正文】 檢測(cè)、生物化學(xué)檢測(cè)及數(shù)據(jù)存儲(chǔ)等方面。 ? 2： 對(duì)設(shè)計(jì)好的檢測(cè)電路進(jìn)行組建，進(jìn)行實(shí)驗(yàn) 。目前檢測(cè)微懸臂梁變形量的方法主要有隧道電流法、電容法、光學(xué)檢測(cè)法及壓電、壓阻效應(yīng)法。具體的應(yīng)用環(huán)境下結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)時(shí)要有些特殊性。 二、壓電薄膜微力傳感器特性研究 盧曉光 （大連理工大學(xué)物理電子學(xué)系） ? 要點(diǎn) : 基于壓電 PZT薄膜的微力傳感器的性能主要依賴于 PZT薄膜的性能、微力傳感器結(jié)構(gòu)和基于微系統(tǒng)的測(cè)試系統(tǒng)三個(gè)因素，本文對(duì)基于雙壓電 PZT薄膜單元的微懸臂梁結(jié)構(gòu)，搭建了微力系統(tǒng)測(cè)試的通用平臺(tái)，在此基礎(chǔ)上對(duì)微懸臂梁結(jié)構(gòu)進(jìn)行傳感和執(zhí)行性能的測(cè)試和 PZT薄膜的橫向壓電系數(shù) d31測(cè)量進(jìn)行了深入研究 . 基于電子天平，電荷放大器和鎖相放大器為核心的通用微系統(tǒng)測(cè)試平臺(tái)。 文中討論了壓電微懸臂梁中的壓電元件的兩種等效電路模型 ,并且提出了檢測(cè)微壓電信號(hào)的檢測(cè)系統(tǒng)（檢測(cè)系統(tǒng)主要包括前置放大器、函數(shù)發(fā)生器、鎖相放大器以及計(jì)算機(jī)）以及兩種前放電路。 ? 第七周 —— 第八周（ 4月 16日 —— 29日）：對(duì)壓電懸臂梁探針中壓電電荷信號(hào)的檢測(cè)進(jìn)行研究，掌握其原理和基本的設(shè)計(jì)方法，并設(shè)計(jì)信號(hào)檢測(cè)電路。 微懸臂梁是一種在微電子機(jī)械系統(tǒng) (MEMS)中常用到的結(jié)構(gòu) ,其多用于微小力檢測(cè)、加速度檢測(cè)、生物化學(xué)檢測(cè)及數(shù)據(jù)存儲(chǔ)等方面。在這
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