壓電懸臂梁探針中壓電電荷信號的檢測論文開題報告-文庫吧在線文庫
【正文】 檢測、生物化學(xué)檢測及數(shù)據(jù)存儲等方面。 ? 2： 對設(shè)計好的檢測電路進(jìn)行組建，進(jìn)行實驗 。目前檢測微懸臂梁變形量的方法主要有隧道電流法、電容法、光學(xué)檢測法及壓電、壓阻效應(yīng)法。具體的應(yīng)用環(huán)境下結(jié)構(gòu)設(shè)計時要有些特殊性。 二、壓電薄膜微力傳感器特性研究 盧曉光 （大連理工大學(xué)物理電子學(xué)系） ? 要點 : 基于壓電 PZT薄膜的微力傳感器的性能主要依賴于 PZT薄膜的性能、微力傳感器結(jié)構(gòu)和基于微系統(tǒng)的測試系統(tǒng)三個因素，本文對基于雙壓電 PZT薄膜單元的微懸臂梁結(jié)構(gòu)，搭建了微力系統(tǒng)測試的通用平臺，在此基礎(chǔ)上對微懸臂梁結(jié)構(gòu)進(jìn)行傳感和執(zhí)行性能的測試和 PZT薄膜的橫向壓電系數(shù) d31測量進(jìn)行了深入研究 . 基于電子天平，電荷放大器和鎖相放大器為核心的通用微系統(tǒng)測試平臺。 文中討論了壓電微懸臂梁中的壓電元件的兩種等效電路模型 ,并且提出了檢測微壓電信號的檢測系統(tǒng)（檢測系統(tǒng)主要包括前置放大器、函數(shù)發(fā)生器、鎖相放大器以及計算機）以及兩種前放電路。 ? 第七周 —— 第八周（ 4月 16日 —— 29日）：對壓電懸臂梁探針中壓電電荷信號的檢測進(jìn)行研究，掌握其原理和基本的設(shè)計方法，并設(shè)計信號檢測電路。 微懸臂梁是一種在微電子機械系統(tǒng) (MEMS)中常用到的結(jié)構(gòu) ,其多用于微小力檢測、加速度檢測、生物化學(xué)檢測及數(shù)據(jù)存儲等方面。在這
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1