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壓電懸臂梁探針中壓電電荷信號(hào)的檢測論文開題報(bào)告-資料下載頁

2025-05-02 00:16本頁面
  

【正文】 結(jié)果, 需從鐵電 PZT薄膜材料和微懸臂梁結(jié)構(gòu)角度深入探討其理論機(jī)理。將雙層和雙片 PZT壓電薄膜微懸臂梁結(jié)構(gòu)應(yīng)用于具體的微操作及生物力學(xué)等測量環(huán)境中,開展更為廣闊的應(yīng)用研究。 合理化設(shè)想 微懸臂梁是一種在微電子機(jī)械系統(tǒng) (M EM S) 中常用到的結(jié)構(gòu) , 其多用于微小力檢測、加速度檢測、生物化學(xué)檢測及數(shù)據(jù)存儲(chǔ)等方面。通過檢測微懸臂的振動(dòng)變化情況就能得到所需要的被測量。微懸臂梁具有很寬的動(dòng)態(tài)范圍 , 其諧振頻率可從數(shù)十赫茲做到數(shù)兆赫茲 , 適于多種場合。同時(shí)微懸臂梁有很高的分辨率 , 因此其變形檢測方法要有很高的分辨率。目前檢測微懸臂梁變形量的方法主要有隧道電流法、電容法、光學(xué)檢測法及壓電、壓阻效應(yīng)法。在這幾種檢測方法中 , 壓電效應(yīng)檢測法以其體積小 , 裝置簡單 , 分辨率高 ,對(duì)信號(hào)檢測的要求更是嚴(yán)格。所以以下就對(duì)壓電懸臂梁探針中壓電電荷信號(hào)進(jìn)行檢測提出幾點(diǎn)拙劣的建議。 ? 1:進(jìn)一步深入地研究壓電效應(yīng),根據(jù)壓電薄膜的材料選擇壓電信號(hào)檢測的手段、方法,設(shè)計(jì)最優(yōu)的檢測電路,更好更精確的檢測信號(hào),提高檢測效果,從而提高產(chǎn)品的質(zhì)量。 ? 2: 對(duì)設(shè)計(jì)好的檢測電路進(jìn)行組建,進(jìn)行實(shí)驗(yàn) 。 ? 3:同已有的檢測方法和計(jì)算方式進(jìn)行比較分析研究,選擇壓電電荷信號(hào)檢測的方法和計(jì)算方式進(jìn)行設(shè)計(jì),對(duì)壓電懸臂梁探針中的電荷信號(hào)進(jìn)行最有效的計(jì)算,將信號(hào)進(jìn)行放大、處理,降低信號(hào)的信噪比,檢出。 結(jié)束,謝謝觀看!
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