壓電懸臂梁探針中壓電電荷信號的檢測論文開題報告(存儲版)
【正文】 裝置簡單 , 分辨率高 ,對信號檢測的要求更是嚴(yán)格。 針對本文設(shè)計的具有雙壓電單元的壓電薄膜微懸臂梁，需進(jìn)一步探索其應(yīng)用模式。微力傳感器系統(tǒng)本身尺寸在 181。在測試系統(tǒng)中分別使用了以上兩種放大電路進(jìn)行壓電信號檢測實(shí)驗(yàn) ,檢測樣品為自制的壓電微懸臂梁，并且在檢測微懸臂梁頻率響應(yīng)特性的實(shí)驗(yàn)中得到了較好的結(jié)果。 ? 第十周 —— 第十一周（ 5月 7日 —— 5月 20日）：研究壓電懸臂梁探針中壓電電荷信號的檢測處理，并對信號進(jìn)行放大、處理，降低信號的信噪比，檢出。微懸臂梁具有很寬的動態(tài)范圍 ,其諧振頻率可從數(shù)十赫茲做到數(shù)兆赫茲 ,適于多種場合。 目前檢測微懸臂梁變形量的方法主要有隧道電流法、電容法、光學(xué)檢測法及壓電、壓阻效應(yīng)法。 一、壓電微懸臂梁微弱壓電信號檢測 李 磊、褚家如、平志明 (中國科學(xué)技術(shù)大學(xué)精密機(jī)械與精密儀器系 ,合肥 230026) ? 要點(diǎn) : 壓電微懸臂梁是一種利用壓電元件的逆壓電效應(yīng)驅(qū)動微懸臂梁使其振動 , 壓電微懸臂的機(jī)械諧振頻率是由其形狀、尺寸、材料等決定的。兩種電路都能較好的檢測出微懸臂梁在諧振狀態(tài)卜的幅度和相位。N級微小力作用下壓電材料產(chǎn)生的電荷信號非常微弱，微力傳感器系統(tǒng)的測試和校準(zhǔn)較宏觀傳感器難度更大。 合理化設(shè)想 微懸臂梁是一種在微電子機(jī)械系統(tǒng) (M EM S) 中常用到的結(jié)構(gòu) , 其多用于微小力檢測、加速度
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