壓電懸臂梁探針中壓電電荷信號的檢測論文開題報告-wenkub
2023-05-13 00:16:42 本頁面
【正文】 微懸臂梁微弱壓電信號檢測 李 磊、褚家如、平志明 (中國科學技術大學精密機械與精密儀器系 ,合肥 230026) ? 要點 : 壓電微懸臂梁是一種利用壓電元件的逆壓電效應驅動微懸臂梁使其振動 , 壓電微懸臂的機械諧振頻率是由其形狀、尺寸、材料等決定的。 ? 第七周 —— 第八周（ 4月 16日 —— 29日）：對壓電懸臂梁探針中壓電電荷信號的檢測進行研究，掌握其原理和基本的設計方法，并設計信號檢測電路。 目前檢測微懸臂梁變形量的方法主要有隧道電流法、電容法、光學檢測法及壓電、壓阻效應法。 微懸臂梁是一種在微電子機械系統(tǒng) (MEMS)中常用到的結構 ,其多用于微小力檢測、加速度檢測、生物化學檢測及數(shù)據(jù)存儲等方面。微懸臂梁具有很寬的動態(tài)范圍 ,其諧振頻率可從數(shù)十赫茲做到數(shù)兆赫茲 ,適于多種場合。在這幾種檢測方法中 ,壓電效應檢測法以其體積小 ,裝置簡單 ,分辨率高 , 靈敏度高，并且由于壓電效應的可逆性，易于與壓電微執(zhí)行器集成，且壓電元件可兼做驅動元件等優(yōu)點得到越來越廣泛的應用。 ? 第十周 —— 第十一周（ 5月 7日 —— 5月 20日）：研究壓電懸臂梁探針中壓電電荷信號的檢測處理，并對信號進行放大、處理，降低信號的信噪比，檢出。壓電微懸臂梁的工作原理是 :在壓電層的上下電極之間施加交變電壓 ,由于逆壓電效應 ,在壓電層上將產生相應的變形從而帶動微懸臂梁振動。在測試系統(tǒng)中分別使用了
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