壓電懸臂梁探針中壓電電荷信號(hào)的檢測(cè)論文開(kāi)題報(bào)告(完整版)
【正文】 幾種檢測(cè)方法中 ,壓電效應(yīng)檢測(cè)法以其體積小 ,裝置簡(jiǎn)單 ,分辨率高 , 靈敏度高，并且由于壓電效應(yīng)的可逆性，易于與壓電微執(zhí)行器集成，且壓電元件可兼做驅(qū)動(dòng)元件等優(yōu)點(diǎn)得到越來(lái)越廣泛的應(yīng)用。壓電微懸臂梁的工作原理是 :在壓電層的上下電極之間施加交變電壓 ,由于逆壓電效應(yīng) ,在壓電層上將產(chǎn)生相應(yīng)的變形從而帶動(dòng)微懸臂梁振動(dòng)。兩種前放電路中，差動(dòng)電荷放大電路靈敏度較高，但是其原件較多，差動(dòng)調(diào)平衡較難，噪聲引入環(huán)節(jié)較多 。所以開(kāi)展適用于微力傳感器系統(tǒng)測(cè)試的方法研究，搭建實(shí)用、可靠的微結(jié)構(gòu)性能參數(shù)測(cè)試平臺(tái)十分關(guān)鍵。通過(guò)檢測(cè)微懸臂的振動(dòng)變化情況就能得到所需要的被測(cè)量。 ? 3：同已有的檢測(cè)方法和計(jì)算方式進(jìn)行比較分析研究，選擇壓電電荷信號(hào)檢測(cè)的方法和計(jì)算方式進(jìn)行設(shè)計(jì)，對(duì)壓電懸臂梁探針中的電荷信號(hào)進(jìn)行最有效的計(jì)算，將信號(hào)進(jìn)行放大、處理，降低信號(hào)的信噪比，檢出。同時(shí)微懸臂梁有很高的分辨率 , 因此其變形檢測(cè)方法要有很高的分辨率。 從壓電微力傳感器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)、制作工藝以及信號(hào)檢測(cè)等方面進(jìn)一步探討提高微力傳感器靈敏度的方法 。 通過(guò)比較可知，使用兩路差動(dòng)檢測(cè)的方法能夠較好的去除激勵(lì)信號(hào)以及漂移和干擾信號(hào)的影響，可以用于微懸臂梁的進(jìn)一步應(yīng)用。利用壓電元件的壓電效應(yīng)來(lái)檢測(cè)梁的變形量的集成微驅(qū)動(dòng)器和微傳感器。 論文的工作計(jì)劃 ? 第五周 —— 第六周（ 4月 2日 —— 15日）：調(diào)研國(guó)內(nèi)外已有研究成果，并整理相關(guān)資料 進(jìn)行初步的研究 。
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