鉭靶材、鉭環(huán)件成品加工技術(shù)改造項(xiàng)目建議書(編輯修改稿)
2025-04-05 05:00 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 成品靶材 市場(chǎng)情況 成品鉭靶材工藝技術(shù)突破后，經(jīng)多次工藝試驗(yàn)及改進(jìn)，對(duì)靶材進(jìn)行破壞檢測(cè)，各種檢測(cè)指標(biāo)都合格。成品靶材有一塊已經(jīng)得到上海先進(jìn)材料公司上機(jī)測(cè)試，測(cè)試結(jié) 果同國(guó)外提供的鉭靶材結(jié)果一致。現(xiàn)在正在積極推進(jìn)在其他的半導(dǎo)體公司進(jìn)行上機(jī)測(cè)試。 型鉭靶材生產(chǎn)工藝研究 取得的技術(shù)突破 U 型鉭靶材坯料制備工藝（保證拉深后內(nèi)部組織）； U 型鉭靶材拉深工藝； U 型鉭靶材機(jī)加工藝； U 型鉭靶材焊接工藝。 U 靶材坯料 同規(guī)格銅 U 型靶材 10 . 2 市場(chǎng)情況 U 型鉭靶材目前在國(guó)內(nèi)沒有應(yīng)用，我們的圖紙來(lái)源于 HEM 公司，他們希望我們加工成品提供，由于我們沒有關(guān)鍵設(shè)備，前期試驗(yàn)都在外協(xié)加工，工藝不穩(wěn)定成熟，所以沒有給用戶提供樣品。 濺射鉭環(huán)件 生產(chǎn)工藝研究 “濺射鉭環(huán)件生產(chǎn)工藝研究”在 2021 年取得階段性成果后，由于市場(chǎng)的原因，課題在終止 1 年后，于 2021 年完成總體工藝的研究。 取得的技術(shù)突破 鉭環(huán)件內(nèi)外表面滾花工藝，獲得 80TPI 菱形花紋，并均勻； 鉭環(huán)件端頭滾花工藝，獲得 80TPI 菱形花紋，和表面花紋一致； 鉭環(huán)件和鉭凸結(jié)體焊接工藝， 焊接滿足 AMS 2681A 標(biāo)準(zhǔn) ； 清洗、噴砂工藝，滿足美國(guó)應(yīng)用材料公司標(biāo)準(zhǔn)。 鉭棒和鉭條 成品鉭環(huán)件 市場(chǎng)情況 鉭環(huán)件的加工工藝已基本成熟，一件樣品送 美國(guó) MRC 公司進(jìn)行檢測(cè)認(rèn)證。國(guó)內(nèi)送到中芯國(guó)際的樣品等待上機(jī)測(cè)試。 取得的專利情況 已申請(qǐng)國(guó)家發(fā)明專利 已申請(qǐng)國(guó)家發(fā)明專利有 3 項(xiàng)： 11 “磁控濺射環(huán)件用環(huán)體表面柔性滾花方法及刀具 ”，專利申請(qǐng)?zhí)枺海? “磁控濺射環(huán)件用鉭凸臺(tái)結(jié)體生產(chǎn)方法及沖壓模具 ”，專利申請(qǐng)?zhí)枺?； “磁控濺射環(huán) ”，專利申請(qǐng)?zhí)枺?。 正在申請(qǐng)的發(fā)明專利 正在申請(qǐng)的發(fā)明專利有 3 項(xiàng)： “鉭靶材的織構(gòu)控制 ”； “鉭和銅、鋁、鈦異種金屬的擴(kuò)散焊接 ”； “濺射鉭環(huán)件用 鉭條制備工藝 ”。 三、建設(shè)方案 項(xiàng)目規(guī)模及主要內(nèi)容 建設(shè)規(guī)模為鉭靶材 100 套 /年，鉭環(huán)件 200 套 /年。主要內(nèi)容是廠房改造和部分關(guān)鍵設(shè)備購(gòu)買，改造廠房面積約 630m2，購(gòu)買關(guān)鍵設(shè)備如表 31： 表 31 購(gòu)買關(guān)鍵設(shè)備明細(xì) 序號(hào) 設(shè)備名稱 數(shù)量 工藝要求 用途 1 電子束焊機(jī) 1 臺(tái) 最大加速電壓： 60kv；電子束功率： 6kw；焊接室容積： 1m。 U靶焊接及環(huán)件焊接 2 數(shù)控車床（大） 2 臺(tái) 回轉(zhuǎn)直徑≥ 800mm 通用臥式數(shù)控車床。 焊接后靶材成品車削 3 數(shù)控車床（小） 1 臺(tái) 回轉(zhuǎn)直徑 160mm通用臥式數(shù)控車床。 鉭環(huán)用鉭凸結(jié)體成品車削 4 鏜銑加工中心 1 臺(tái) 工作臺(tái)尺寸為： 600mm 1000mm 通用鏜銑加工中心。 成品靶材銑削及環(huán)件焊接槽和端頭滾花 5 熱噴涂設(shè)備 1 套 電弧噴涂機(jī)。 靶材成品噴涂 6 噴砂設(shè)備 1 套 吸入式干噴砂。 鉭環(huán)件的成品噴砂和鉭靶材噴涂前噴砂工藝。 12 7 精密卷圓機(jī) 1 臺(tái) 最大厚度 10mm，寬度 300mm。 環(huán)件卷園 8 超聲波掃描設(shè)備 1 臺(tái) 專用設(shè)備 靶材焊接質(zhì)量檢驗(yàn) 9 清洗設(shè)備 1 臺(tái) 專用設(shè)備。 環(huán)件及靶材成品清洗包裝 10 專用軋輥 1 對(duì) Φ 1000 1250mm 用于靶材及環(huán)件軋制 購(gòu)買設(shè)備多為通用設(shè)備，也可用于分廠其它產(chǎn)品生產(chǎn)。熱等靜壓機(jī)和三座標(biāo)檢測(cè)設(shè)備現(xiàn)在公司都有，可共用。 產(chǎn)品工藝穩(wěn)定，并有穩(wěn)定的用戶后，再進(jìn)行 擴(kuò)能建設(shè) ，擴(kuò)能建設(shè)主要補(bǔ)充機(jī)加設(shè)備和檢測(cè)設(shè)備（三坐標(biāo)儀） 。 實(shí)施的工藝路線 成品鉭靶材工藝路線 工藝可行性分析，此工藝是經(jīng)過多次試驗(yàn)最終確定的生產(chǎn)工藝，加工產(chǎn)品既通過實(shí)驗(yàn)室的分析檢測(cè)（織構(gòu)檢測(cè)，金相檢測(cè)，焊接強(qiáng)度檢測(cè)，焊接結(jié)合率檢測(cè)，尺寸檢測(cè)， 外觀檢測(cè)），也通過最終用戶的上機(jī)測(cè)試，工藝先進(jìn)，在國(guó)內(nèi)屬領(lǐng)先水平。 焊接 粗加 噴砂 噴涂 檢驗(yàn) 精加 檢驗(yàn) 清洗 封裝 包裝 熱等靜壓 CSCAN 數(shù)控車（大） 三 坐標(biāo) 噴砂機(jī) 車、銑 熱噴涂 封裝機(jī) 清洗線 潔凈室 13 成品鉭環(huán)件工藝路線 成品鉭環(huán)件工藝路線及所用設(shè)備： 工藝可行性分析，此工藝是經(jīng)過多次試驗(yàn)最終確定的生產(chǎn)工藝，加工產(chǎn)品通過實(shí)驗(yàn)室的分析檢測(cè)（焊接檢測(cè)，金相檢測(cè)，尺寸檢測(cè)，外觀檢測(cè)），已送到最終用戶等待上機(jī)測(cè)試。 建設(shè)工期和進(jìn)度安排 根據(jù)國(guó)內(nèi)同類型工程建設(shè)的實(shí)踐經(jīng)驗(yàn)，結(jié)合本項(xiàng)目設(shè)備制造周期、工程設(shè)計(jì)以 及設(shè)備、施工招投標(biāo)、本地區(qū)及企業(yè)的建設(shè)力量和條件，確定本項(xiàng)目 建設(shè)周期 1 年 （熱等 靜壓機(jī)需要一年半的加工周期，前期可以外協(xié)） 。 表 33 一期建設(shè)進(jìn)度表 序號(hào) 計(jì)劃進(jìn)度 項(xiàng)目階段 2021 年 2021 年 1 2 3 4 5 6
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