【文章內(nèi)容簡介】 大學(xué)、合肥工業(yè)大學(xué)等國內(nèi)研究院、校建立了長期合作關(guān)系，而且還與韓國三星電子、美國普樂公司、日本新興化成株式會社等國際公司建立了長期共同開發(fā)的合作關(guān)系。 經(jīng)過多年的發(fā)展， XX公司的產(chǎn)品制造能力和質(zhì)量檢驗(yàn)?zāi)芰Φ玫搅碎L足的提高，但對于研發(fā)的資 金投入仍顯不足，制約了公司新產(chǎn)品 的技術(shù)開發(fā)能力和對新技術(shù)的應(yīng)用能力。 建設(shè)工程技術(shù)中心，將有助于強(qiáng)化公司新產(chǎn)品、新技術(shù)的研發(fā)力量，提高產(chǎn)品科技含量，使公司立足于 電子薄膜顯示材料 行業(yè)的技術(shù)前沿，為增強(qiáng)公司的市場競爭力提供支持。 蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 20 第三章 工程技術(shù)研發(fā)中心的組成方案 工程技術(shù)研發(fā)中心的組建方案 工程技術(shù)研發(fā)中心為蕪湖 XX 科技股份有限公司的技術(shù)研發(fā)部門，隸屬總經(jīng)理直接領(lǐng)導(dǎo)。在公司層面成立技術(shù)委員會負(fù)責(zé)工程技術(shù)研發(fā)中心研發(fā)項(xiàng)目的選擇和中心的發(fā)展方向，工程技術(shù)研發(fā)中心輔助具體實(shí)施。工程技術(shù)研發(fā)中心下設(shè)：工藝技術(shù)部、設(shè)備工程部、檢測 和標(biāo)準(zhǔn)化部。 （ 1） 電阻式 觸摸屏 用 高透過率透明導(dǎo)電玻璃 （ 2）平板顯示器件用減反射玻璃 （ 3） 電容式觸摸屏用面板玻璃 （ 4）手機(jī)減反射增透鍍膜面板、多觸點(diǎn)式電容觸摸屏面板新材料 工程技術(shù)研究開發(fā)中心的主要任務(wù)、發(fā)展方向、發(fā)展重點(diǎn) 1．主要任務(wù) （ 1）進(jìn)行市場調(diào)研，研發(fā)新產(chǎn)品，提高企業(yè)的核心競爭力，參與市場競爭，為企業(yè)提供新的利潤增長點(diǎn)； （ 2）為生產(chǎn)經(jīng)營提供技術(shù)服務(wù)；解決生產(chǎn)過程中的工藝技術(shù)問題； （ 3）根據(jù)企業(yè)需要，研發(fā)自身需求的設(shè)備研發(fā)，為生產(chǎn)提供保 障； （ 4）制定產(chǎn)品性能、質(zhì)量標(biāo)準(zhǔn)； 蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 21 （ 5）承擔(dān)國家、省部級科研項(xiàng)目開發(fā)任務(wù)； （ 6）開展對外技術(shù)交流，提高企業(yè)的技術(shù)水平。 致力于真空薄膜材料及技術(shù)領(lǐng)域，開展大面積平面磁控濺射技術(shù)、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積技術(shù)、電子束真空蒸發(fā)技術(shù)及在光電顯示薄膜材料應(yīng)用的研發(fā)。通過產(chǎn)品技術(shù)調(diào)研、中試試驗(yàn)，開發(fā)光電顯示薄膜材料并使之產(chǎn)業(yè)化，為提高企業(yè)的核心競爭力和生產(chǎn)工藝裝備水平作出貢獻(xiàn)。 新型平板顯示器件的薄膜材料和技術(shù)、新能源中的功能薄膜材料和技術(shù)、手機(jī)功能性新材料。開發(fā)新產(chǎn)品、新工藝，研制 新設(shè)備。 工程技術(shù)研發(fā)中心的近中期目標(biāo) （ 1） 柔性基體觸摸屏透明導(dǎo)電材料； （ 2） 非晶硅薄膜太陽能電池 ； （ 3） 平板顯示器件中的光電薄膜材料； （ 4） CIGS 薄膜太陽能電池前期研究。 （ 5）手機(jī)減反射增透鍍膜面板新材料及多觸點(diǎn)電容觸摸屏面板新材料 蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 22 第四章 技術(shù)與市場分析 、項(xiàng)目的優(yōu)勢與問題 技術(shù)的主要發(fā)展?fàn)顩r與趨勢預(yù)測 薄膜材料是相對于本體材料而言，是人們采用特殊的方法，在體材料的表面沉積或制備的一層性質(zhì)與體材料性質(zhì)完全不同的物資層?！罢婵毡∧げ牧吓c技術(shù)”是指在真空環(huán)境下、運(yùn)用低溫等離子體技術(shù)、通過物理氣相沉積（ PVD）或化學(xué)氣相沉積（ CVD）的方法來制備薄膜材料及相應(yīng)的技術(shù)。薄膜材料廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體集成電路、平板顯示器件、太陽能電池以及各種傳感器等等許多領(lǐng)域，可以說，薄膜技術(shù)和薄膜材料已成為高新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的基本要素。 真空薄膜材料的制備方法有兩大類：物理氣相沉積 （ PVD） 技術(shù) 和化學(xué)氣相沉積 技術(shù) 。 1. 物理氣相沉積（ PVD） 技術(shù) 物理氣相沉積（ PVD） 技術(shù) 是利用物理過程，實(shí)現(xiàn)物質(zhì)從源物質(zhì)到薄膜的可控的原子轉(zhuǎn)移過程。物理氣相沉積過程可 大致概括為三個階段： （ 1）從源材料中發(fā)射出粒子； （ 2）粒子輸運(yùn)到基片； （ 3）粒子在基片上凝結(jié)、成核、長大、成膜。 常用的物理氣相沉積（ PVD） 技術(shù) 有： （ 1） 真空蒸發(fā) 技術(shù) ：包括熱蒸發(fā)和電子束蒸發(fā)； 蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 23 （ 2） 濺射 技術(shù) ：有二極濺射、射頻濺射、反應(yīng)濺射和磁控濺射等。 （ 3） 離子束 技術(shù) ：有離子鍍、離子輔助沉積等。 （ CVD）技術(shù) 化學(xué)氣相沉積（ CVD）技術(shù)是利用氣體電離后的先期反應(yīng)物，通過原子、分子間化學(xué)反應(yīng)的途徑生產(chǎn)固態(tài)薄膜的技術(shù)?；瘜W(xué)氣相沉積技術(shù)可以用于各種高純晶態(tài)、非晶態(tài)的金屬、半導(dǎo)體、化合物薄膜 的指備，還可以有效地控制薄膜的化學(xué)成分，低的設(shè)備和運(yùn)轉(zhuǎn)成本，與其他相關(guān)工藝具有較好的相容性等特點(diǎn)。 化學(xué)氣相沉積（ CVD）技術(shù)有：低壓化學(xué)氣相沉積（ LPCVD）技術(shù)、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積（ PECVD）技術(shù)、激光輔助化學(xué)氣相沉積（ LACVD）技術(shù)和金屬有機(jī)化合物化學(xué)氣相沉積（ MOCVD）技術(shù)等。 在上述的真空薄膜沉積方法中，真空蒸發(fā)技術(shù)法、平面磁控濺射技術(shù)和等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)由于穩(wěn)定性、可控制性和成本等方面的原因，被廣泛應(yīng)用于產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)中。真空蒸發(fā)技術(shù)法廣泛應(yīng)用于光學(xué)薄膜的制備；平面磁控濺射技術(shù) 應(yīng)用于大面積薄膜沉積，例如新型平板顯示器件、建筑用低輻射玻璃產(chǎn)業(yè)；而等離子體化學(xué)氣相沉積技術(shù)則多應(yīng)用于半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和薄膜太陽能電池產(chǎn)業(yè)等。 項(xiàng)目的優(yōu)勢與問題 XX 公司是國家火炬計劃重點(diǎn)高新技術(shù)企業(yè)、安徽省高新技術(shù)企業(yè)、安徽省外商投資先進(jìn)技術(shù)企業(yè)和 2021 年國家級火炬計劃項(xiàng)目承擔(dān)單位。先后研發(fā)了 LCD 用 TN/STN ITO 透明導(dǎo)電玻璃、觸摸屏用 ITO 透明導(dǎo)電玻璃和 TFT 液晶電視平面背光源玻璃等產(chǎn)品。 ITO 導(dǎo)電膜玻璃是安徽省蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 24 高新技術(shù)產(chǎn)品，先后獲得安徽省科技成果三等獎和蕪湖市科技成果二等獎； TFT 液晶電 視平面背光源玻璃獲 2021 年蕪湖市科學(xué)技術(shù)一等獎和安徽省科技成果三等獎；觸摸屏透明導(dǎo)電玻璃榮獲 2021 年蕪湖市科學(xué)技術(shù)二等獎。 經(jīng)過近八年的努力， XX 公司主要產(chǎn)品的技術(shù)質(zhì)量也在不斷提高，產(chǎn)品還銷往日本、美國等地區(qū)，成為全球最大的 ITO 導(dǎo)電玻璃生產(chǎn)企業(yè)之一，在行業(yè)內(nèi)有著一定的知名度。 XX 公司還有著強(qiáng)大的設(shè)備研發(fā)能力。由于真空鍍膜領(lǐng)域的特殊性，鍍膜工藝是通過設(shè)備來實(shí)現(xiàn)的，因此 XX 公司在真空鍍膜設(shè)備的研制有著極強(qiáng)的能力，目前的五條大型真空鍍膜生產(chǎn)線都是自行研制的，相關(guān)的配套設(shè)備 —— 超薄玻璃切割磨邊機(jī)、超薄玻璃清 洗線和拋光機(jī)則是在引進(jìn)一臺樣機(jī)基礎(chǔ)上再研制。 近兩年來， XX 公司承擔(dān)了信息產(chǎn)業(yè)部電子信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展基金項(xiàng)目、安徽省高技術(shù)產(chǎn)業(yè)化項(xiàng)目、安徽省信息產(chǎn)業(yè)發(fā)展專項(xiàng)資金項(xiàng)目和安徽省國際科技合作計劃項(xiàng)目等，各個項(xiàng)目進(jìn)展良好。 XX 公司擁有以博士、碩士為首的技術(shù)研發(fā)團(tuán)隊(duì) 20 多人，專業(yè)覆蓋真空技術(shù)、薄膜技術(shù)、低溫等離子體技術(shù)、機(jī)械、電氣控制等學(xué)科。 XX 公司還有長期合作的教授、研究員等高級客座研究人員 10 名。另外， XX 公司與國內(nèi)科研院所和國外相關(guān)同行建立了長期合作關(guān)系。 長期的生產(chǎn)經(jīng)營， XX 公司對本行業(yè)產(chǎn)品和技術(shù)的發(fā)展有著 深刻的認(rèn)識和了解。 以上因素都是本項(xiàng)目的優(yōu)勢所在。 蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 25 與國外先進(jìn)國家相比，本項(xiàng)目還存在較大的差距，歸納起來也有以下幾點(diǎn)： （ 1） 產(chǎn)業(yè)規(guī)模過小 在國外先進(jìn)國家，對薄膜材料和薄膜制備技術(shù)無論是理論研究還是產(chǎn)業(yè)化技術(shù)都有著相當(dāng)?shù)纳钊牒蛷V泛性，特別在產(chǎn)業(yè)化方面，做得非常成功并形成具有一定的產(chǎn)業(yè)規(guī)模。例如美國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和日本、韓國等的平面顯示器產(chǎn)業(yè)，都是在世界上絕對的壟斷地位；而德國、美國、日本在薄膜技術(shù)以及設(shè)備方面也有著絕對的優(yōu)勢，像半導(dǎo)體生產(chǎn)線、 TFT－ LCD 生產(chǎn)線都是上百億以上設(shè)備，只有這些國家才能夠提供。 在長期的經(jīng)營基礎(chǔ)上，發(fā)展了一批實(shí)力雄厚、有著良好信譽(yù)和知名度的國際化大跨國公司，這些跨國公司在資金、人才、設(shè)備、市場等方面有著得天獨(dú)厚的優(yōu)勢，在產(chǎn)業(yè)化發(fā)展中，左右發(fā)展方向、制定戰(zhàn)略、控制市場、掌握標(biāo)準(zhǔn)，具有極強(qiáng)的市場競爭力。 而國內(nèi)企業(yè)大都規(guī)模很小，像在液晶顯示器行業(yè)，國內(nèi)絕大多數(shù)都是小尺寸液晶顯示器及相關(guān)的配套材料生產(chǎn)企業(yè)，產(chǎn)品附加值低。 （ 2） 技術(shù)創(chuàng)新能力不足 受發(fā)展歷史的影響，國內(nèi)真空薄膜產(chǎn)品大部分是從日本、臺灣等地轉(zhuǎn)移過來的相對老的產(chǎn)品。國內(nèi)企業(yè)發(fā)展歷史短，經(jīng)濟(jì)和技術(shù)實(shí)力都不夠，只能按國外已有的 產(chǎn)品進(jìn)行模仿開發(fā)，真正有創(chuàng)新的開發(fā)很少。 （ 3） 產(chǎn)品質(zhì)量不穩(wěn)定。 真空薄膜產(chǎn)品的生產(chǎn)很大程度上依賴于設(shè)備。由于國內(nèi)整體設(shè)備制造業(yè)水平較低，設(shè)備穩(wěn)定性不夠，影響到產(chǎn)品的穩(wěn)定性。要生產(chǎn)高檔的蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 26 產(chǎn)品，就必須引進(jìn)國外先進(jìn)設(shè)備，這些設(shè)備往往造價很高，對于大部分國內(nèi)企業(yè)都是很大的壓力。 （ 4）人才不足。 由于真空薄膜技術(shù)是近二十多年才發(fā)展起來的專業(yè)，又是一個多學(xué)科綜合性的專業(yè)，目前國內(nèi)尚無高校有開設(shè)這方面的專業(yè)。人才大都要靠企業(yè)再培養(yǎng)。 國內(nèi)外技術(shù)發(fā)展?fàn)顩r 近二十年來，薄膜技術(shù)與薄膜材料獲得迅猛發(fā)展，主要 表現(xiàn)在下面幾個方面。 首先，各類新型薄膜材料大量涌現(xiàn)。包括納米薄膜材料，磁致電阻薄膜材料，大禁帶寬度的“硬電子學(xué)”半導(dǎo)體薄膜材料，光電半導(dǎo)體薄膜材料，高透明低電阻率的透明導(dǎo)電薄膜材料，以金剛石薄膜為代表的各類超硬薄膜材料，太陽能薄膜電池等。這些新型薄膜材料的出現(xiàn)，開發(fā)材料的新性能、新功能，為半導(dǎo)體集成電路、平板顯示器件、可再生能源等等產(chǎn)業(yè)提供了材料基礎(chǔ)。 其次，薄膜制備的手段和工藝不斷創(chuàng)新。包括用于產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)的磁控濺射、電子束蒸發(fā)、離子束加工、等離子體增強(qiáng)化學(xué)氣相沉積、 MOCVD、分子束外延等等。這些技術(shù)和 工藝的發(fā)展，為薄膜材料的制備提供了可靠保證。 特別的是，各種薄膜材料在高新技術(shù)中的應(yīng)用更加普及。信息通信產(chǎn)業(yè)中需要數(shù)量巨大的元器件、集成電路等，制造這些都要采用 薄膜技術(shù)；平板顯示器產(chǎn)業(yè)中，各類顯示器件都要用到的透明導(dǎo)電薄膜、 TFT蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 27 － LCD中的薄膜三極管、 PDP等離子電視中的電極 MgO保護(hù)膜、新型 OLED顯示器中的各個電子空穴及傳輸層等等，都是采用薄膜材料； aSi和CIGS薄膜太陽能電池也都離不開薄膜技術(shù)。因此，薄膜材料和薄膜技術(shù)已成為高 新技術(shù)產(chǎn)業(yè)的基礎(chǔ)。 薄膜技術(shù)是三大重要高新技術(shù)產(chǎn)業(yè) —— 半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)、平板 顯示器產(chǎn)業(yè)和光電產(chǎn)業(yè)最重要的核心技術(shù)之一。 在國外，對薄膜材料和薄膜制備技術(shù)無論是理論研究還是產(chǎn)業(yè)化技術(shù)都有著相當(dāng)?shù)纳钊牒蛷V泛性。特別在產(chǎn)業(yè)化方面，做得非常成功并形成具有一定的產(chǎn)業(yè)規(guī)模。例如美國的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)和日本、韓國等的平面顯示器產(chǎn)業(yè)，都是在世界上絕對的壟斷地位；而德國、美國、日本在薄膜技術(shù)以及設(shè)備方面也有著絕對的優(yōu)勢，像半導(dǎo)體生產(chǎn)線、 TFT－ LCD 生產(chǎn)線都是上百億以上設(shè)備，只有這些國家才能夠提供。在長期的經(jīng)營基礎(chǔ)上，發(fā)展了一批實(shí)力雄厚、有著良好信譽(yù)和知名度的國際化大跨國公司，這些跨國公司在資金、人才、設(shè) 備、市場等方面有著得天獨(dú)厚的優(yōu)勢，在產(chǎn)業(yè)化發(fā)展中，左右發(fā)展方向、制定戰(zhàn)略、控制市場、掌握標(biāo)準(zhǔn)，具有極強(qiáng)的市場競爭力。在新型產(chǎn)品上，例如全薄膜化的有機(jī)電致發(fā)光（ OLED）顯示器件、薄膜太陽能電池等等，都有著相當(dāng)長時間的技術(shù)積累和小批量產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，一旦市場和各方面條件成熟，又能夠很快地進(jìn)行大批量生產(chǎn)，獲取產(chǎn)品初期的高額利潤，從而有更好的經(jīng)濟(jì)條件研發(fā)新一代產(chǎn)品和技術(shù)，形成良性循環(huán)。 在國內(nèi)，研究開發(fā)薄膜材料和薄膜技術(shù)的單位是很多，高校中專門設(shè)置薄膜材料的院系和專業(yè)不多，但開展與薄膜材料相關(guān)的研究還是很蕪湖 XZX 科技股份有限公司工程技術(shù)研發(fā)中心項(xiàng)目 28 多；但是由于 經(jīng)費(fèi)不足和研究條件的落后，往往對一些熱門課題一哄而上，很多項(xiàng)目是低水平重復(fù)，研究成果絕大部分無法或不能很快轉(zhuǎn)換為生產(chǎn)力。 產(chǎn)業(yè)發(fā)展?fàn)顩r及市場分析 國內(nèi)，在真空薄膜材料產(chǎn)業(yè)化方面，真空薄膜產(chǎn)品也有很多，例如LCD 液晶顯示器上的 ITO 透明導(dǎo)電玻璃 90％以上都是在國內(nèi)生產(chǎn)，另外還有幕墻玻璃也是真空薄膜產(chǎn)品，還有光學(xué)鍍膜產(chǎn)品、裝飾鍍膜產(chǎn)品以及硬質(zhì)薄膜產(chǎn)品。但這些產(chǎn)品都還是真空薄膜的低端產(chǎn)品，所形成的市場規(guī)模和盈利水平都相對來說比較低。對于像應(yīng)用于半導(dǎo)體中、 TFT 液晶顯示器件中以及薄膜太陽能電池中的薄膜產(chǎn)品和 技術(shù)，目前還缺乏相應(yīng)的研發(fā)能力，更談不上進(jìn)行產(chǎn)業(yè)化生產(chǎn)，所有技術(shù)目前還只能依賴于國外，高額的利潤都被國外廠商贏得。 由于真空薄膜材料應(yīng)用的領(lǐng)域非常廣泛，本文僅就“真空薄膜材料工程研究中心”所要開展的新型平面顯示器件和薄膜太陽能電池行業(yè)的產(chǎn)業(yè)發(fā)展?fàn)顩r及市場分析作進(jìn)一步闡述。 （ 1） 新型平面顯示器件 2021 年在全球經(jīng)濟(jì)景氣復(fù)蘇 、 LCD 液晶電視和 PDP 等離子電視銷售增加帶動下，新型平面顯示器（ Flat Panel Display， FPD）市場快速成長，帶動了平面顯示器件材料需求增長。全球平面顯示器件材料 ，從2021 年的 億美元，成長至 2021 年的 億美元，預(yù)計到 2021年將再增加一倍，達(dá) 190 億美元（見表 41）。在這些平面顯示器件材料中，有許多都是與真空薄膜