tftlcd行業(yè)廢氣處置研究(編輯修改稿)
2025-04-03 21:06 本頁(yè)面
【文章內(nèi)容簡(jiǎn)介】 性廢氣、有毒廢氣、有機(jī)廢氣以及一般工業(yè)排氣，詳細(xì)記錄見表2。 3 處置結(jié)果及討論 根據(jù)表2，將TFTLCD排放的廢氣分為酸、堿、有毒、有機(jī)共四個(gè)系統(tǒng)。 酸、堿性廢氣處置結(jié)果 酸、堿性廢氣處理系統(tǒng)（見圖1）是通過(guò)添加化學(xué)品到各洗滌塔中，通過(guò)噴淋水泵進(jìn)行循環(huán)，利用填料增加廢氣與循環(huán)液的接觸面積，達(dá)到酸堿中和，實(shí)現(xiàn)廢氣達(dá)標(biāo)排放。堿排洗滌塔，通過(guò)添加50%H2SO4去除氨等主要堿性廢氣，氨的去除效率可達(dá)90%以上。酸排洗滌塔，通過(guò)添加30%NaOH、12%Na2S及10%的NaClO2去除酸性廢氣。該系統(tǒng)氮氧化物的總?cè)コ士蛇_(dá)65%、氯化氫的總?cè)コ士蛇_(dá)90%、硫酸的總?cè)コ士蛇_(dá)94%、硝酸的總?cè)コ士蛇_(dá)94%、磷酸總?cè)コ士蛇_(dá)99%酸、堿性廢氣噴淋洗滌塔的溶液循環(huán)使用并定期排放，全部納入廢水處理站含氟廢水處理系統(tǒng)進(jìn)行處理。對(duì)酸排中的氮氧化物、氯化氫、硫酸霧以及堿排口中的氨進(jìn)行檢測(cè)（表3是檢測(cè)值），堿排放口中氨的12個(gè)檢測(cè)數(shù)據(jù)中，9次未檢測(cè)出氨，檢測(cè)值中。酸、堿性廢氣處置后排放值可以滿足《大氣污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB 16297—1996）中表2的二級(jí)標(biāo)準(zhǔn)和《惡臭污染物排放標(biāo)準(zhǔn)》（GB14554—1993）中表2的標(biāo)準(zhǔn)要求。 有毒廢氣處置結(jié)果 有毒廢氣主要來(lái)自化學(xué)氣相沉積（CVD）和干法刻蝕（DE）等工序中使用SiHNHPHNFSFN2O、Cl2等特殊氣體，除部分在工藝中反應(yīng)消耗外，少量以尾氣的形式排放，主要污染物為氯氣、氨氣、氯化氫、氟化物、氮氧化物等。毒排廢氣采用電除塵+酸堿中和的形式（見圖2），各項(xiàng)指標(biāo)都
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