【正文】 圍具有 80 % 以上的透光率，其比電阻低於 1104 Ω?cm，即是良好透明導(dǎo)電膜。 ?載子密度增加會影響透明性 ?電漿頻率 ω = (4πne2/m*)1/2 載子濃度 n增加， ω變大，光吸收範(fàn)圍向可見光擴(kuò)展 其中， n：載子濃度 e：載子的電量 m*：傳導(dǎo)有效質(zhì)量 TCO的光學(xué)性質(zhì) 以 ZnO為例， ω = (4πne2/m*)1/2 = ()2 = ω=2π/λ = λ=789nm 1/2 AZO (antimony doped tindioxide) Sb2O5析出， 造成光的散射 摻雜物 (載子 )密度對透光度的影響 Sb摻雜在 SnO2中 電阻率最小 103Ωcm Sb 電阻比 = 面阻值 x 膜厚 (ρ = γ x D) ?低面阻值 ITO玻璃鍍膜，電阻比越低越好 ?考慮高穿透率，膜厚的設(shè)計(jì)必須避免建設(shè)性的干涉， 所以 nd=(2m+1)λ/4， m=1,2,3,4…. 。 ?通常，面電阻 (surface resistance, γ) or (sheet resistance, Rs) 被定義為薄膜表面之電阻 面電阻 Rs = ρ (L/D ?純金屬薄膜 ?? ?Au、 Ag、 Pt、 Cu、 Al、 Cr、 Pd、 Rh，在 10nm厚度的薄膜， 均有某種程度的可見光透光度 ?早期使用之透明電極 ?缺點(diǎn)：光的吸收度大、硬度低、穩(wěn)定性差 透明導(dǎo)電薄膜 透明導(dǎo)電薄膜 ?金屬化合物薄膜 (TCO) 泛指具有透明導(dǎo)電性之氧化物、氮化物、氟化物 a. 氧 (氮 )化物： In2O SnO ZnO、 CdO、 TiN b. 摻雜氧化物： In2O3:Sn (ITO)、 ZnO:In (IZO)、 ZnO:Ga (GZO) ZnO:Al (AZO)、 SnO2:F、 TiO2:Ta c. 混合氧化物： In2O3ZnO、 CdIn2O Cd2SnO Zn2SnO4 History of TCO ??? 1907年 最早使用 CdO材料為透明導(dǎo)電鍍膜，應(yīng)用在 photovoltaic cells. ? 1940年代 ，以 Spray Pyrolysis及 CVD 方式沉積 SnOx於玻璃基板上 . ?? ?