透明導(dǎo)電薄膜tco之原理及其應(yīng)用發(fā)展-展示頁
2024-08-04 06:02本頁面
【正文】 ??? 1980年代 ，磁控濺鍍 ﹙ magron sputtering﹚ 開發(fā)，使低溫沉膜製程，不 論在玻璃及塑膠基板均能達到低面阻值、高透性 ITO薄膜 . ??? 1990年代 ，具有導(dǎo)電性之 TCO陶瓷靶材開發(fā)，使用 DC 磁控濺鍍 ITO，使 沉積製程之控制更趨容易，各式 TCO材料開始廣泛被應(yīng)用 . ??? 2022年代 ，主要的透明導(dǎo)電性應(yīng)用以 ITO 材料為主，磁控濺鍍 ITO成為市 場上製程的主流 . 透明導(dǎo)電薄膜主角 ITO ? 中文名稱： 銦錫氧化物 ? 英文全名： Indium Tin Oxide（ ITO） ? 成分： 摻雜錫之銦氧化物 (Tindoped Indium Oxide) ? 年代： 1934年被美國銦礦公司最早合成出來 ? 世界最大 ITO薄膜製造國： 日本 ? 選用率： 在 TCO材料中， 75%應(yīng)用在平面顯示器 ? 主要應(yīng)用： 平面顯示器、透明加熱元件、抗靜電膜、電 磁、防護膜、太陽能電池之透明電極、防反 光塗佈及熱反射鏡 (heat reflecting mirror)等 電子、光學(xué)及光電裝置上。透明導(dǎo)電薄膜 (TCO) 之原理及其應(yīng)用發(fā)展 HW 2022/04/17 1. ITO及各種透明導(dǎo)電氧化物材料的介紹 透明導(dǎo)電氧化物 (Transparent Conductive Oxide, TCO) 2. TCO的導(dǎo)電原理 3. TCO的光學(xué)性質(zhì) 4. TCO 薄膜之市場應(yīng)用及發(fā)展 Outline 1. ITO及各種透明導(dǎo)電氧化物材料的介紹 透明導(dǎo)電氧化物 (Transparent Conductive Oxide, TCO) 2. TCO的導(dǎo)電原理 3. TCO的光學(xué)性質(zhì) 4. TCO 薄膜之市場應(yīng)用及未來發(fā)展 什麼是透明導(dǎo)電薄膜 ? ?在可見光波長範圍內(nèi)具有可接受之透光度 ?? 以 flat panel display 而言 ?透光度愈高愈好 ?? 以 solar cell 而言 ?太陽光全波長範圍之透光度及熱穩(wěn)定性 ?具有導(dǎo)電特性 ?? 電阻比 (resistivity) 愈小愈好，通常 ρ 104 Ω? cm ?? ?一般而言，導(dǎo)電性提高，透光度便下降，反之亦然?？梢姽夤爣哂?80 % 以上的透光率，其比電阻低於 1104 Ω?cm，即
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