【摘要】常用術(shù)語翻譯activeregion有源區(qū)2.activeponent有源器件3.Anneal退火4.atmosphericpressureCVD(APCVD)常壓化學(xué)氣相淀積5.BEOL(生產(chǎn)線)后端工序6.BiCMOS雙極CMOSwire焊線,引線硼磷硅玻璃length溝道長度vapordepositi
2025-06-24 19:35
【摘要】nn半導(dǎo)體的生產(chǎn)工藝流程,做工藝 一、潔凈室一般的機(jī)械加工是不需要潔凈室(cleanroom)的,因?yàn)榧庸し直媛试跀?shù)十微米以上,遠(yuǎn)比日常環(huán)境的微塵顆粒為大。但進(jìn)入半導(dǎo)體組件或微細(xì)加工的世界,空間單位都是以微米計(jì)算,因此微塵顆粒沾附在制作半導(dǎo)體組件的晶圓上,便有可能影響到其上精密導(dǎo)線布局的樣式,造成電性短路或斷路的
2025-06-23 16:32
【摘要】1Chapter5加熱制程王紅江,Ph.D.2目標(biāo)?列出三種加熱制程?描述集成電路制造的熱制程?描述熱氧化制程?說明快速加熱制程(RTP)的優(yōu)點(diǎn)3主題?簡(jiǎn)介?硬設(shè)備?氧化?擴(kuò)散?退火–離子注入后退火–合金熱處理–再
2025-02-28 15:03