【正文】 介 由于集成電路縮小，更小的臨界尺寸（ CD）要求，生產(chǎn) 過(guò)程 的控制越來(lái)越嚴(yán)格。 第二部分 是一個(gè) 多 閉環(huán)回路 溫度控制結(jié)構(gòu) 的分析。干擾 多 ，包括冷卻水 溫度波動(dòng) ， PL內(nèi)部熱量散失 ， PL和外部 介質(zhì)之間的熱交換 。 TCU 水箱中的冷卻水溫度控制 (Tw)形成了第二條回路 . 分析這個(gè)系統(tǒng)的運(yùn)作質(zhì)量是很容易。因此，主回路的輸入輸出函數(shù)可表示如下： 在此 早期的研究表明， PL的時(shí)間常數(shù)約為 4h?？刂骗h(huán) 是一個(gè)快速控制環(huán)，它過(guò)去一直快速的預(yù)測(cè)結(jié)合處的冷卻水最佳溫度值。 PL 里的溫度偏差 和結(jié)合處冷卻水的溫度偏差 都是控制器的輸入端。隔熱室模仿光刻表面隔離熱的作用。很明顯新的方法大大的增 加了收斂率，精確性和抗干擾能力。它的主要研究是先進(jìn)工藝控制。圖 9（ c）顯示了溫度收斂比圖 9（ b）快 ，但 PL 內(nèi)溫度的精確度并沒(méi)有得到很大的提高。根據(jù)輸入數(shù)據(jù)控制器可以靈活的選擇任何一種算法。這種結(jié)構(gòu)也控制器設(shè)計(jì)的困難。 副控制對(duì)象的輸出不是主控制對(duì)象的輸入。 Gm(s) Gm(s)表示主控制回路傳遞函數(shù)， Gs(s)表示二次控制回路傳遞函數(shù)。 3 多閉環(huán)控制 結(jié)構(gòu) 多閉環(huán)溫度控制結(jié)構(gòu)由一個(gè)內(nèi)部 CCS 和一個(gè)外部 PCCS 組成。 循環(huán)系統(tǒng) 回收冷卻水 ， 節(jié)省最大能量 ， 是 很必要的。但 是 上述使用方法，很難實(shí)現(xiàn) PL內(nèi)部溫度 控制的 高精確度和 快 收斂 率 。 一種非線性比例積分（ PI）的算法應(yīng)用，進(jìn)一步提高收斂速度和控制過(guò)程 的 精度。不同的控制回路和算法的對(duì)比實(shí)驗(yàn) 被用來(lái)驗(yàn)證對(duì)控制性能的影響。 在此， 本文 提出了一種新的方法，即多 閉 環(huán)溫度控制 系統(tǒng)，含有一個(gè)內(nèi)部 CCS和一個(gè)外部 PCCS。圖 1 展示了 包括 TCU、分離器、冷卻 套 和管道 的循環(huán)系統(tǒng)。 串 連 控制結(jié)構(gòu) PL溫度控制的內(nèi)部 CCS 如圖 2所示。 Hm(s) 表示測(cè)量設(shè)備主回路傳遞函數(shù)， Hs(s)表示測(cè)量設(shè)備二次回路傳遞函數(shù)。在這個(gè)系統(tǒng)中， 控制運(yùn)算法則是主要的控制器根據(jù) 和 之間的偏差決定一個(gè) 新的冷卻水的最佳溫度值。即使冷卻水有溫度的變動(dòng)，他也能通過(guò)副控制器補(bǔ)償。這不僅能提高算法的適應(yīng)性和收縮率，還能增強(qiáng)系統(tǒng)的穩(wěn)定性和反干擾能力。圖 9（ d）顯示了具有非線性 PI 算法的 PCCS 系統(tǒng)的溫度曲線。 附件 2：外文原文 。即使外部溫度 在內(nèi)擺動(dòng)， PL內(nèi)的溫度仍可以達(dá)到 的穩(wěn)定性。仿制的 PL與實(shí)際的 PL具有相同的溫度特性。 4 非線性比例積分算法 為了進(jìn)一步提高系統(tǒng)的收斂率和精確度，一種具有非線性 PI 算法的二重輸入 和二重輸出智能控制器被設(shè)計(jì)出來(lái)，如圖六所示?？刂骗h(huán) 是一個(gè)慢的控制環(huán)。 二次回路中的輸入輸出函數(shù)如下所示： 根據(jù)二次回路的穩(wěn)態(tài)，輸出 Ct(s)近似等于輸入 Rt(s)。主要回路用來(lái)控制 PL內(nèi)部的溫度 (T1)。 對(duì)冷卻水循環(huán)系統(tǒng)的分析 表明了影響 PL內(nèi)部 溫度的 三個(gè) 主要因素 ： 干擾多，遲 滯多， 還有 慣性 大 。 第一部分解釋了一個(gè) 遠(yuǎn)程 間接溫度控制方法的應(yīng)用。 該方法已成功地應(yīng)用于光學(xué)光刻工具，制作了 臨近尺寸 （ CD） 100納米的 模型 ，其 性能 令人滿意。嵌入溫度 控制 單元（ TCU）