【正文】 不同，隨相移掩模種類而定。 40 加工工藝參數(shù)對(duì)加工質(zhì)量的影響 1. 磁場(chǎng)強(qiáng)度的影響 加工間隙中的磁感應(yīng)強(qiáng)度大小可以通過改變勵(lì)磁電壓的大小來控制。 44 2．磁力研磨階梯形零件 (下圖所示 ) 利用磁力研磨方法拋光圓柱階梯形零件，可以將棱邊上20~30高度的毛刺在幾分鐘內(nèi)去除，研磨成的棱邊圓角半徑為 ，這是其他方法無法或者很難實(shí)現(xiàn)的，在精密耦合件中用來拋光和去毛刺十分有效。同時(shí)，磁極形狀的設(shè)計(jì)應(yīng)使磁性磨料在加工間隙中受到更大的磁場(chǎng)力，從而提高磁力研磨的加工效率。把工件放入 NS磁極中間，并使工件相對(duì) N極和 S極保持一定的距離，當(dāng)工件相對(duì)磁極作相對(duì)運(yùn)動(dòng)時(shí)，磁性磨料將對(duì)工件表面進(jìn)行研磨加工。通常、采用刻蝕系數(shù) Kf來反映刻蝕向縱向深入和向側(cè)向刻蝕的情況，刻蝕系數(shù)表示為 Et=2D/(W2W1)=D/R。它主要用于傳遞壓力，攜帶磨粒流動(dòng)以及起潤(rùn)滑作用。切割不銹鋼、鋁及其合金的厚度一般為 3~100mm。 ~7176。水射流的應(yīng)用起源于采礦業(yè)，后來較多用于工業(yè)清洗、工業(yè)除銹和工業(yè)切割。其缺點(diǎn)是化學(xué)拋光效果比電解拋光效果差，且拋光液用后處理較麻煩。 (2) 適于大面積加工，可同時(shí)加工多件。 3 功率超聲研磨 功率超聲研磨是在研磨工具或工件上施加功率超聲振動(dòng)以改善研磨效果的一種新工藝。 (3) 腐蝕液對(duì)設(shè)備和人體有危害，故需有適當(dāng)?shù)姆雷o(hù)性措施。 2) 半導(dǎo)體材料的化學(xué)拋光 如鍺和硅等半導(dǎo)體基片在機(jī)械研磨平整后，還要最終用化學(xué)拋光去除表面雜質(zhì)和變質(zhì)層。 18 2. 其他水射流加工技術(shù) 高壓水射流及磨料射流不僅可應(yīng)用于金屬與非金屬的切割，還可用于車削、磨削、銑削、鉆孔、拋光等。 等離子體加工孔的直徑在 10mm以內(nèi)，鋼板厚度為 4mm時(shí)，加工精度為177。 25 基本原理 擠壓珩磨是利用一種含磨料的半流動(dòng)狀態(tài)的黏彈性磨料介質(zhì)、在一定壓力下強(qiáng)迫在被加工表面上流過，由磨料顆粒的刮削作用去除工件表面微觀不平材料的工藝方法。 30 擠壓珩磨的實(shí)際應(yīng)用 擠壓珩磨可用于邊緣光整、倒圓角、去毛刺、拋光和少量的表面材料去除，特別適用于難以加工的內(nèi)部通道拋光和去毛刺。相移掩模上，在指定的一些透光區(qū)域中局部地增加一層適當(dāng)厚度的透明介質(zhì)層，即所謂的相移器或相移層，來改變?cè)撎幫高^光的相位，使與無相移器區(qū)域透過光波之間有 180176。當(dāng)勵(lì)磁電壓一定時(shí)，磁性磨料受到的作用力與磁感應(yīng)強(qiáng)度的平方成正比。 磁性磨料研磨加工技術(shù)主要用于精密機(jī)械零件的表面精整和去毛刺。若在磁極圓弧的中央開槽，則磁性磨料的受力狀態(tài)改變，使中央部分集中了磁性磨粒，使磁極利用率提高。把磁性磨料放入磁場(chǎng)中，磁性磨料在磁場(chǎng)中將沿著磁力線的方向有序地排列成磁力刷。其最大缺點(diǎn)就是在刻蝕圖形時(shí)容易產(chǎn)生塌邊現(xiàn)象，即在縱向刻蝕的同時(shí)，也出現(xiàn)側(cè)向刻蝕，以至使刻蝕圖形的最小線寬受到限制。這種高分子聚合物是磨料的載體，能與磨粒均勻黏結(jié)，而與金屬工件則不發(fā)生黏附。它可以快速而較整齊地切割軟鋼、合金鋼、鈦、鑄鐵、鎢、鉬等。 切邊的斜度一般為 2176。 15 水射流及磨料流加工技術(shù) 水射流加工原理 1. 射流液滴與材料的相互作用過程 射流液滴與材料的相互作用過程 ( 此處 c 指 水中聲速 ) 16 2. 材料的失效機(jī)理 受射流沖擊的硬質(zhì)材料表面的失效原理 17 水射流加工工藝及應(yīng)用 水射流的壓力和流量取值范圍很廣，形式也多種多樣，因此它的應(yīng)用就非常廣泛。 化學(xué)拋光的特點(diǎn)是：可以大表面或多件拋光薄壁、低剛度零件，可以拋光內(nèi)表面和形狀復(fù)雜的零件，不需外加電源、設(shè)備，操作簡(jiǎn)單、成本低。 7 化學(xué)銑切加工 1. 化學(xué)銑切加工的原理、特點(diǎn)和應(yīng)用范圍 1) 化學(xué)銑切的特點(diǎn) (1) 可加工任何難切削的金屬材料，