【正文】 不同，隨相移掩模種類而定。 40 加工工藝參數對加工質量的影響 1. 磁場強度的影響 加工間隙中的磁感應強度大小可以通過改變勵磁電壓的大小來控制。 44 2．磁力研磨階梯形零件 (下圖所示 ) 利用磁力研磨方法拋光圓柱階梯形零件，可以將棱邊上20~30高度的毛刺在幾分鐘內去除，研磨成的棱邊圓角半徑為 ，這是其他方法無法或者很難實現的，在精密耦合件中用來拋光和去毛刺十分有效。同時，磁極形狀的設計應使磁性磨料在加工間隙中受到更大的磁場力，從而提高磁力研磨的加工效率。把工件放入 NS磁極中間，并使工件相對 N極和 S極保持一定的距離，當工件相對磁極作相對運動時，磁性磨料將對工件表面進行研磨加工。通常、采用刻蝕系數 Kf來反映刻蝕向縱向深入和向側向刻蝕的情況，刻蝕系數表示為 Et=2D/(W2W1)=D/R。它主要用于傳遞壓力，攜帶磨粒流動以及起潤滑作用。切割不銹鋼、鋁及其合金的厚度一般為 3~100mm。 ~7176。水射流的應用起源于采礦業(yè)，后來較多用于工業(yè)清洗、工業(yè)除銹和工業(yè)切割。其缺點是化學拋光效果比電解拋光效果差，且拋光液用后處理較麻煩。 (2) 適于大面積加工，可同時加工多件。 3 功率超聲研磨 功率超聲研磨是在研磨工具或工件上施加功率超聲振動以改善研磨效果的一種新工藝。 (3) 腐蝕液對設備和人體有危害，故需有適當的防護性措施。 2) 半導體材料的化學拋光 如鍺和硅等半導體基片在機械研磨平整后，還要最終用化學拋光去除表面雜質和變質層。 18 2. 其他水射流加工技術 高壓水射流及磨料射流不僅可應用于金屬與非金屬的切割，還可用于車削、磨削、銑削、鉆孔、拋光等。 等離子體加工孔的直徑在 10mm以內，鋼板厚度為 4mm時，加工精度為177。 25 基本原理 擠壓珩磨是利用一種含磨料的半流動狀態(tài)的黏彈性磨料介質、在一定壓力下強迫在被加工表面上流過，由磨料顆粒的刮削作用去除工件表面微觀不平材料的工藝方法。 30 擠壓珩磨的實際應用 擠壓珩磨可用于邊緣光整、倒圓角、去毛刺、拋光和少量的表面材料去除，特別適用于難以加工的內部通道拋光和去毛刺。相移掩模上，在指定的一些透光區(qū)域中局部地增加一層適當厚度的透明介質層，即所謂的相移器或相移層，來改變該處透過光的相位，使與無相移器區(qū)域透過光波之間有 180176。當勵磁電壓一定時，磁性磨料受到的作用力與磁感應強度的平方成正比。 磁性磨料研磨加工技術主要用于精密機械零件的表面精整和去毛刺。若在磁極圓弧的中央開槽，則磁性磨料的受力狀態(tài)改變，使中央部分集中了磁性磨粒，使磁極利用率提高。把磁性磨料放入磁場中，磁性磨料在磁場中將沿著磁力線的方向有序地排列成磁力刷。其最大缺點就是在刻蝕圖形時容易產生塌邊現象，即在縱向刻蝕的同時，也出現側向刻蝕，以至使刻蝕圖形的最小線寬受到限制。這種高分子聚合物是磨料的載體，能與磨粒均勻黏結，而與金屬工件則不發(fā)生黏附。它可以快速而較整齊地切割軟鋼、合金鋼、鈦、鑄鐵、鎢、鉬等。 切邊的斜度一般為 2176。 15 水射流及磨料流加工技術 水射流加工原理 1. 射流液滴與材料的相互作用過程 射流液滴與材料的相互作用過程 ( 此處 c 指 水中聲速 ) 16 2. 材料的失效機理 受射流沖擊的硬質材料表面的失效原理 17 水射流加工工藝及應用 水射流的壓力和流量取值范圍很廣，形式也多種多樣，因此它的應用就非常廣泛。 化學拋光的特點是：可以大表面或多件拋光薄壁、低剛度零件，可以拋光內表面和形狀復雜的零件，不需外加電源、設備，操作簡單、成本低。 7 化學銑切加工 1. 化學銑切加工的原理、特點和應用范圍 1) 化學銑切的特點 (1) 可加工任何難切削的金屬材料，