【摘要】有機磷阻垢劑的合成及性能評價畢業(yè)論文目錄任務(wù)書………………………………………………………………………………Ⅰ開題報告……………………………………………………………………………Ⅱ指導(dǎo)教師審查意見…………………………………………………………………Ⅲ評閱教師評語………………………………………………………………………Ⅳ答辯會議記錄及成績評定………………………………
2025-06-19 16:32
【摘要】摘 要隨著集成電路工藝技術(shù)的發(fā)展,Cu逐漸取代傳統(tǒng)的互連材料Al。在綜述了Cu互連的優(yōu)勢及面臨的挑戰(zhàn)、擴散阻擋層的制備工藝和發(fā)展趨勢之后,本實驗在優(yōu)化工藝條件下利用射頻反應(yīng)磁控濺射技術(shù)在Si襯底上制備了一系列阻擋層為25nm厚的Cu/Zr/Si、Cu/Zr-N/Si、Cu/Zr-N/Zr/Zr-N/Si試樣,在高純的氮氣保護條件下對這些試樣進行了400℃-800℃下的退火
2025-06-28 09:11
【摘要】湖南大學(xué)畢業(yè)設(shè)計(論文)第36頁石墨烯物性及SEM表征對樣品表面損傷的研究畢業(yè)論文目錄1緒論 1納米科技 1 1本文的研究意義、目的及方法 22石墨烯的物理性質(zhì)及應(yīng)用前景 4 4石墨烯的分類 5 6概述 6零質(zhì)量狄拉克費米子 6石墨烯中的反常量子霍爾效應(yīng) 7
2025-06-28 16:32