半導體產(chǎn)品制造合格率模型(完整版)
【正文】 的概率分布函數(shù)來表征這種分布，但通常它們都難于進行分析處理 。對于給定 的 μ ， 一個芯片 包含 K個 缺陷的概率為 ： !keP kk????合格品就是缺陷為 0的產(chǎn)品，因此合格率即為： 00 DA ceePY ?? ??? ?泊松模型被廣泛使用，但它有時預測的合格率比實際情況低 。 2023年 8月 合格率模型 3其他模型 如果假設缺陷密度服從正態(tài)分布，并用三角分布（即 Simpson分布）近似，則可以得到 Murphy模型， 此模型在一定容限內(nèi)與實際合格率能較好吻合 。 ? ?xc xDAY /1 1 0??其中 為光刻版的層數(shù)。假設缺陷密度 服從 γ 分布 ： ?????/1)(1)( DeDDf ????則一個芯片 包含 K個 缺陷的概率服從負二項式分布： kckcDkcDAkAkAkdDeDkDAeP c???? ???????? ???????????)1)((!))(()(!)( /10由此，合格率為： ?????? )1( 00 DAPY c2023年 8月 合格
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