現(xiàn)代真空獲得設備-文庫吧在線文庫
【正文】 射流真空泵的一種，但與水蒸氣噴射泵不同的是，油擴散泵工作在高真空區(qū)域，以低壓高速油蒸汽流作為工作介質。新型的三腔滑閥泵的出現(xiàn)，較好地解決了滑閥泵地質量平衡，使泵的振動得到了有效的控制，泵轉速也可相應得到提高。 滑閥泵由于其結構特點，容量比旋片泵大得多，因此常常用在大型真空設備上。）時，露出氣鎮(zhèn)孔，開始摻氣。在壓縮和排氣的過程中，當可凝性氣體的分壓超過泵溫時該氣體飽和蒸汽壓時，可凝性氣體會凝結并混于泵油中，隨泵油循環(huán)，并在返回高真空側時重新蒸發(fā)成蒸汽。排氣閥有兩種形式：一種使用相交墊片做閥片；另一種是用布質酚醛層壓板或彈簧鋼片做閥片。若轉子按圖中箭頭方向旋轉時， A空間容積增加，壓力降低，氣體經(jīng)泵入口被吸入，此時處于吸氣過程； B空間的容積減小，壓力增加，處于壓縮過程； C空間的容積進一步縮小，壓力進一步增加，當壓力超過排氣壓力時，壓縮氣體推開泵油密封的排氣閥，處于向大氣的排氣過程。 3）雙級液環(huán)泵：由單級單作用泵串聯(lián)而成。 水從葉輪獲得能量 （ 動能 ） ， 被加速 。 真空泵性能的表示方法： 1）極限壓力 2）抽氣速率 3）流量 真空泵的分類： 1）氣體輸送泵 （ 1）變容積真空泵：液、油封式機械泵，干式真空泵，羅茨真空泵； （ 2）動量傳輸式真空泵（分子真空泵，噴射真空泵，擴散泵）。 ：小腔容積由大 → 小 ， 壓縮氣體 ，直到小腔與排氣口相通 ， 排氣； 水的速度下降 ， 將動能轉變成壓力能 （ 勢能 ） ， 來抵抗由于小腔容積變小而導致的氣體壓力增加 。其工作壓力范圍為 101325～ 10－ 2 Pa， 屬于低真空泵。油封式結構是指油箱設置在泵體上，泵油起到密封排氣閥的作用，泵體靠水冷或風冷。泵油起到密封作用。油封式機械真空泵普遍裝有氣鎮(zhèn)裝置，因此也叫氣鎮(zhèn)泵。高速直聯(lián)泵溫度（ 90176。抽速大于 150L/s的滑閥泵多采用單級型式。主要特點有： ?在較寬的壓力范圍內有較大的抽速 ； ?轉子之間、轉子與泵腔壁之間有間隙，泵腔內運動件無摩擦，不必潤滑，泵腔內無油； ?轉子形狀對稱，動平衡性能良好，運轉平穩(wěn)，選擇高精度的齒輪傳動，運轉時噪音低； ?對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感； ?由于壓縮比比較小，在抽氣過程中消耗的功率比較大。 泵的抽氣速率可從每秒幾升到每秒十幾萬升。射流上面的被抽氣體因密度差很容易擴散到射流的內部，并與工作蒸汽分子碰撞，在射流方向上得到動量，從而被蒸汽射流攜帶到水冷的泵壁處（ b－ b′ ）。按其工作壓力范圍來說，油擴散噴射泵正好填補了油封式機械泵和高真空油擴散泵抽氣能力下降的中間地帶。它有很多優(yōu)點： 1）起始壓力高（原則上可從大氣壓開始抽氣），極限壓力低，可達 10－ 13Pa，因此，其工作壓力寬。此外，研究空間條件下材料表面現(xiàn)象，低壓空氣動力學試驗，火箭發(fā)動機高空點火試驗，空間生物技術等，都用低溫泵。后者比較流行?？蛇_ 10－ 10Pa。其有效工作范圍寬，大約在 10－ 2～ 10－ 9Pa，在超高真空區(qū)域內保持恒定的抽速。 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 這種泵可用在受控裝置中儲存和釋放 H2及其同位素氘、氚；在高能加速器的真空系統(tǒng)中與分子泵或濺射離子泵同時工作，能提高系統(tǒng)的極限真空；還可用來運轉 H2及其同位素；用在超高真空裝置時，連同裝置一起放進烘烤裝置中，不用外加電源便可作烘烤時的維持泵使用；也可用于濺射離子泵的啟動。但不能抽除惰性氣體。其主要缺點是對惰性氣體的抽速小，因此常與其他類型泵搭配使用。 這種泵被廣泛的應用于現(xiàn)代尖端技術的一些領域中，如原子能工程、核工業(yè)、高能加速器、宇宙模擬、表面物理、電子工業(yè)和高純金屬的冶煉等領域。 5）應用在近代科學儀器中，如掃描電鏡，電子衍射儀等各種表面分析儀器。 5）有極大的靈活性，可以做成插入式，用于無法布置其他類型泵的場合。油擴散泵與油擴散泵相比，不同點僅在于性能曲線的有效工作范圍不同而已。經(jīng)過這樣的等級壓縮，最后被前級泵抽走。 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 1－電阻絲； 2－人字形擋板； 3－彈簧； 4－中心拉桿； 5－泵芯； 6－泵殼 圖 12－ 1 油擴散泵 結構示意圖 真空獲得設備 東北大學首期《真空技術》培訓班系列教程 1－鍋爐； 2－導流管； 3－噴嘴； 4－加熱器 5－冷凝器；6－工作介質；ab－ 射流的抽氣表面 圖 12－ 2油擴散泵的抽氣過程示意圖 BACK 在 圖 12－ 2中的鍋爐 1內裝有工作介質（泵油）6，并用電熱器 4加熱使之沸騰蒸發(fā)而產(chǎn)生油蒸汽。轉子彼此無接觸，其間存在間隙。滑閥泵的振動限制了泵的轉速的提高，泵轉速一般在 350～ 3600r/min， 個別的也有達1000r/min以上的。其應用范圍和使用條件與旋片泵基本相同。～ 15176。 圖 4－
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