現(xiàn)代真空獲得設(shè)備-文庫吧在線文庫
【正文】 射流真空泵的一種，但與水蒸氣噴射泵不同的是，油擴(kuò)散泵工作在高真空區(qū)域，以低壓高速油蒸汽流作為工作介質(zhì)。新型的三腔滑閥泵的出現(xiàn)，較好地解決了滑閥泵地質(zhì)量平衡，使泵的振動得到了有效的控制，泵轉(zhuǎn)速也可相應(yīng)得到提高。 滑閥泵由于其結(jié)構(gòu)特點(diǎn)，容量比旋片泵大得多，因此常常用在大型真空設(shè)備上。）時(shí)，露出氣鎮(zhèn)孔，開始摻氣。在壓縮和排氣的過程中，當(dāng)可凝性氣體的分壓超過泵溫時(shí)該氣體飽和蒸汽壓時(shí)，可凝性氣體會凝結(jié)并混于泵油中，隨泵油循環(huán)，并在返回高真空側(cè)時(shí)重新蒸發(fā)成蒸汽。排氣閥有兩種形式：一種使用相交墊片做閥片；另一種是用布質(zhì)酚醛層壓板或彈簧鋼片做閥片。若轉(zhuǎn)子按圖中箭頭方向旋轉(zhuǎn)時(shí)， A空間容積增加，壓力降低，氣體經(jīng)泵入口被吸入，此時(shí)處于吸氣過程； B空間的容積減小，壓力增加，處于壓縮過程； C空間的容積進(jìn)一步縮小，壓力進(jìn)一步增加，當(dāng)壓力超過排氣壓力時(shí)，壓縮氣體推開泵油密封的排氣閥，處于向大氣的排氣過程。 3）雙級液環(huán)泵：由單級單作用泵串聯(lián)而成。 水從葉輪獲得能量 （ 動能 ） ， 被加速 。 真空泵性能的表示方法： 1）極限壓力 2）抽氣速率 3）流量 真空泵的分類： 1）氣體輸送泵 （ 1）變?nèi)莘e真空泵：液、油封式機(jī)械泵，干式真空泵，羅茨真空泵； （ 2）動量傳輸式真空泵（分子真空泵，噴射真空泵，擴(kuò)散泵）。 ：小腔容積由大 → 小 ， 壓縮氣體 ，直到小腔與排氣口相通 ， 排氣； 水的速度下降 ， 將動能轉(zhuǎn)變成壓力能 （ 勢能 ） ， 來抵抗由于小腔容積變小而導(dǎo)致的氣體壓力增加 。其工作壓力范圍為 101325～ 10－ 2 Pa， 屬于低真空泵。油封式結(jié)構(gòu)是指油箱設(shè)置在泵體上，泵油起到密封排氣閥的作用，泵體靠水冷或風(fēng)冷。泵油起到密封作用。油封式機(jī)械真空泵普遍裝有氣鎮(zhèn)裝置，因此也叫氣鎮(zhèn)泵。高速直聯(lián)泵溫度（ 90176。抽速大于 150L/s的滑閥泵多采用單級型式。主要特點(diǎn)有： ?在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速 ； ?轉(zhuǎn)子之間、轉(zhuǎn)子與泵腔壁之間有間隙，泵腔內(nèi)運(yùn)動件無摩擦，不必潤滑，泵腔內(nèi)無油； ?轉(zhuǎn)子形狀對稱，動平衡性能良好，運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn)，選擇高精度的齒輪傳動，運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)噪音低； ?對被抽氣體中含有的灰塵和水蒸氣不敏感； ?由于壓縮比比較小，在抽氣過程中消耗的功率比較大。 泵的抽氣速率可從每秒幾升到每秒十幾萬升。射流上面的被抽氣體因密度差很容易擴(kuò)散到射流的內(nèi)部，并與工作蒸汽分子碰撞，在射流方向上得到動量，從而被蒸汽射流攜帶到水冷的泵壁處（ b－ b′ ）。按其工作壓力范圍來說，油擴(kuò)散噴射泵正好填補(bǔ)了油封式機(jī)械泵和高真空油擴(kuò)散泵抽氣能力下降的中間地帶。它有很多優(yōu)點(diǎn)： 1）起始壓力高（原則上可從大氣壓開始抽氣），極限壓力低，可達(dá) 10－ 13Pa，因此，其工作壓力寬。此外，研究空間條件下材料表面現(xiàn)象，低壓空氣動力學(xué)試驗(yàn)，火箭發(fā)動機(jī)高空點(diǎn)火試驗(yàn)，空間生物技術(shù)等，都用低溫泵。后者比較流行。可達(dá) 10－ 10Pa。其有效工作范圍寬，大約在 10－ 2～ 10－ 9Pa，在超高真空區(qū)域內(nèi)保持恒定的抽速。 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 這種泵可用在受控裝置中儲存和釋放 H2及其同位素氘、氚；在高能加速器的真空系統(tǒng)中與分子泵或?yàn)R射離子泵同時(shí)工作，能提高系統(tǒng)的極限真空；還可用來運(yùn)轉(zhuǎn) H2及其同位素；用在超高真空裝置時(shí)，連同裝置一起放進(jìn)烘烤裝置中，不用外加電源便可作烘烤時(shí)的維持泵使用；也可用于濺射離子泵的啟動。但不能抽除惰性氣體。其主要缺點(diǎn)是對惰性氣體的抽速小，因此常與其他類型泵搭配使用。 這種泵被廣泛的應(yīng)用于現(xiàn)代尖端技術(shù)的一些領(lǐng)域中，如原子能工程、核工業(yè)、高能加速器、宇宙模擬、表面物理、電子工業(yè)和高純金屬的冶煉等領(lǐng)域。 5）應(yīng)用在近代科學(xué)儀器中，如掃描電鏡，電子衍射儀等各種表面分析儀器。 5）有極大的靈活性，可以做成插入式，用于無法布置其他類型泵的場合。油擴(kuò)散泵與油擴(kuò)散泵相比，不同點(diǎn)僅在于性能曲線的有效工作范圍不同而已。經(jīng)過這樣的等級壓縮，最后被前級泵抽走。 真空獲得設(shè)備 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 真空獲得設(shè)備 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 1－電阻絲； 2－人字形擋板； 3－彈簧； 4－中心拉桿； 5－泵芯； 6－泵殼 圖 12－ 1 油擴(kuò)散泵 結(jié)構(gòu)示意圖 真空獲得設(shè)備 東北大學(xué)首期《真空技術(shù)》培訓(xùn)班系列教程 1－鍋爐； 2－導(dǎo)流管； 3－噴嘴； 4－加熱器 5－冷凝器；6－工作介質(zhì)；ab－ 射流的抽氣表面 圖 12－ 2油擴(kuò)散泵的抽氣過程示意圖 BACK 在 圖 12－ 2中的鍋爐 1內(nèi)裝有工作介質(zhì)（泵油）6，并用電熱器 4加熱使之沸騰蒸發(fā)而產(chǎn)生油蒸汽。轉(zhuǎn)子彼此無接觸，其間存在間隙?；y泵的振動限制了泵的轉(zhuǎn)速的提高，泵轉(zhuǎn)速一般在 350～ 3600r/min， 個(gè)別的也有達(dá)1000r/min以上的。其應(yīng)用范圍和使用條件與旋片泵基本相同?！? 15176。 圖 4－
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