【正文】 stings的數(shù)率， 并且對(duì)溫度及壓力的 2個(gè)輸入變量，有關(guān)心。 Stat DOE Factorial Response Optimizer…利用 Response Optimizer 完全要因?qū)嶒?yàn)分析方法? 階段 10: 數(shù)學(xué) MODEL的意思轉(zhuǎn)換為 Process用語(yǔ)Step 1ClickProprietary to Samsung Electronics Company Improve 完全要因?qū)嶒?yàn) 43 Rev 反應(yīng)變量數(shù)率的規(guī)格為 79 ~ 81時(shí)，在 Goal里選擇 Target，Lower 里 79, Upper里 81, Target里輸入 80.完全要因?qū)嶒?yàn)分析方法SetupStep 2Click ClickProprietary to Samsung Electronics Company Improve 完全要因?qū)嶒?yàn) 44 Rev Search為定義，子鉤的始發(fā)點(diǎn) 輸入因子水準(zhǔn)的值。在分析項(xiàng) (Selected Terms)中 沒(méi)有 ABC項(xiàng)和 BC項(xiàng)，是因?yàn)? 把此兩項(xiàng)，按誤差項(xiàng) Pulling的緣故。 ?利用 Graph，認(rèn)定 哪些項(xiàng)按誤差項(xiàng) Pulling為好的參考資料。 Proprietary to Samsung Electronics Company Improve 完全要因?qū)嶒?yàn) 14 Rev 因子數(shù)顯示可能的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)Menu利用 Minitab的完全要因?qū)嶒?yàn)Click? 用 Minitab作成實(shí)驗(yàn) DATA SHEET StatDOEFactorialCreate Factorial DesignStep 1Proprietary to Samsung Electronics Company Improve 完全要因?qū)嶒?yàn) 15 Rev 確認(rèn)可能的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)及根據(jù)被選取設(shè)計(jì)的實(shí)驗(yàn)數(shù) 上表只能看出可能的實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)。?有交互作用時(shí)，對(duì)應(yīng)相對(duì)因子各水準(zhǔn)的輸出變量變化是交叉或不平行。即， 顯示因子對(duì)反應(yīng)值有多大影響。完全要因?qū)嶒?yàn)完全要因?qū)嶒?yàn)(Full Factorial Designs)Proprietary to Samsung Electronics Company Improve 完全要因?qū)嶒?yàn) 2 Rev MeasureDefine Analyze Improve Control方法論? Improve 概要? DOE 介紹? 完全要因?qū)嶒?yàn)? 對(duì)策方案選定Proprietary to Samsung Electronics Company Improve 完全要因?qū)嶒?yàn) 3 Rev ? 學(xué)習(xí)目的學(xué)習(xí)目的1. 完全要因?qū)嶒?yàn)的理解 完全要因?qū)嶒?yàn)的定義和特征 主效果與交互作用的計(jì)算方法及分析 最佳條件導(dǎo)出方法2. 利用 Minitab的完全要因?qū)嶒?yàn)的設(shè)計(jì)及分析理解 什么是完全要因?qū)嶒?yàn)Proprietary to Samsung Electronics Company Improve 完全要因?qū)嶒?yàn) 4 Rev 什么是完全要因?qū)嶒?yàn)? 定義 ?對(duì)因子的全部水準(zhǔn)組合，任意抽樣實(shí)驗(yàn) ?Kn 要因?qū)嶒?yàn)是對(duì) K水準(zhǔn)、 n個(gè)因子的所有水準(zhǔn)組合 , (Kn)進(jìn)行實(shí)驗(yàn) 22要因?qū)嶒?yàn)是 2水準(zhǔn)、 2個(gè)因子組成 23 要因?qū)嶒?yàn)是 2水準(zhǔn)、 3個(gè)因子組成 ?適合于特性化 /最佳化階段 ?對(duì)主效果和交互作用的效果都能進(jìn)行評(píng)價(jià)。Proprietary to Samsung Electronics Company Improve 完全要因?qū)嶒?yàn) 8 Rev ? 主效果 Plot反應(yīng)溫度對(duì)數(shù)率影響大，但濃度對(duì)此幾乎沒(méi)有影響。交互作用 (Interaction Effect)Proprietary to Samsung Electronics Company Improve 完全要因?qū)嶒?yàn) 13 Rev 完全要因?qū)嶒?yàn)的例通過(guò)測(cè)定和分析階段，得知影響半導(dǎo)體制造 A 工程數(shù)率 (輸出變量 )的因子(輸入變量 )是溫度 ,濃度及壓力。在這個(gè)例中要做 3因子完全要因?qū)嶒?yàn) (Full Factorial Design)， 所以對(duì)應(yīng)因子 3的實(shí)驗(yàn)數(shù)為 8 Click因子數(shù)實(shí)驗(yàn)數(shù)Step 2Proprietary to Samsung Electronics Company Improve 完全要因?qū)嶒?yàn) 16 Rev 有 8個(gè) runs的 3變量完全要因?qū)嶒?yàn)。Analyze Factorial Design 實(shí)行結(jié)果 ? 4 –1 階段 : 通過(guò)圖表確認(rèn)無(wú)影響的因子。 ClickStep 1 Stat DOE Analyze Factorial DesignClick? 在 41 階段的 Graph中消除效果小的項(xiàng)，重新實(shí)行 AnalyzeProprietary to Samsung Electronics Company Improve 完全要因?qū)嶒?yàn) 29 Rev ( 關(guān)于縮小模型的 ANOVA表 )Fractional Factorial Fit: 數(shù)率 versus 反應(yīng)溫度 ,濃度 ,壓力Estimated Effects and Coefficients for 數(shù)率 (coded units)Term Effect Coef SE Coef T PConstant 反應(yīng)溫度 濃度 壓力 反應(yīng)溫度 *濃度 反應(yīng)溫度 *壓力 Analysis of Variance for 數(shù)率 (coded units)Source DF Seq SS Adj SS Adj MS F PMain Effects 3 1E+03 2Way Interactions 2 Residual Error 2 Total