機械與航太工程研究所(存儲版)
【正文】 Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (１ 3)： 150 ℃ 時 與矽基材接合的 鋁金屬層 主壓縮應(yīng)力為 (GPa)而主伸張應(yīng)力為 (GPa) 29 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory ? 本發(fā)明之探針 克服懸臂式探針多項缺點 ， 優(yōu)點 有 : (1)測試時探針 無側(cè)向位移 ， 接觸穩(wěn)定 適合傳統(tǒng)焊墊 及 凸塊的測試 。 (4)臺積電的主流技術(shù)行銷經(jīng)理 Claire Chen表示 :「 一旦 IC代工廠商進入這個領(lǐng)域 ， 將使 MEMS設(shè)計廠商更有利可圖 ， 並能提供更有吸引力的產(chǎn)品功能 。 臺積電認為 MEMS領(lǐng)域的機會增加了 。 ? 現(xiàn)將 楊氏係數(shù) 列為最主要因素 ， 比較 變形量 與 主應(yīng)力 的表現(xiàn) 。 ?3. 矽基材導(dǎo)通層 ， 由鋁、鎳及金披覆 ， 再用錫 鉛合金 以 表面接著技術(shù) 接合組成 。 (3) 針尖容易黏附雜物 ， 不易清潔 ， 容易造成功能喪失 。 ? 將不良品 (Bad die)在封裝前即予以剔除 ，避免不良品進入封裝 ， 造成不必要的成本增加 。 6 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (1)： 側(cè)視圖 7 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (2)： 立體圖 ? 8 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (3)： 分解圖 9 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (4)： 探針 與壓力感測器 整合圖 10 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (5):壓力感測器 示意圖 11 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (6):探針 分布在 晶粒外圍 12 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (7):探針為 陣列式 13 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang
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