機械與航太工程研究所-全文預覽
【正文】 boratory 謝謝觀看 /歡迎下載 BY FAITH I MEAN A VISION OF GOOD ONE CHERISHES AND THE ENTHUSIASM THAT PUSHES ONE TO SEEK ITS FULFILLMENT REGARDLESS OF OBSTACLES. BY FAITH I BY FAITH 。 (4)臺積電的主流技術(shù)行銷經(jīng)理 Claire Chen表示 :「 一旦 IC代工廠商進入這個領域 ， 將使 MEMS設計廠商更有利可圖 ， 並能提供更有吸引力的產(chǎn)品功能 。 30 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory 臺積電明年將推出 MEMS帄臺 ? 上網(wǎng)時間： 2023年 09月 23日 (電子工程專輯網(wǎng)站資訊速遞 ) (1)經(jīng)過三年的研發(fā) ，晶圓代工廠商 臺積電 (TSMC) 表示，把 IC製程技術(shù)與微電機系統(tǒng)相結(jié)合 ， 將可在 2023年開始有所成效 。 25 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (10)： 彈性層材料 性質(zhì)改變 對 變形量 與 主應力 的影響 26 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (11)： 探針之熱耦合 應力溫度梯度分佈 ? 晶圓 及 針尖 溫度為 150℃ ， 散熱面為 矽基材背面 與錫鉛共晶球 ? 採自然對流散熱 (對流係數(shù)為 20W/m2K)， 外界溫度設定為 80℃ 27 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (12)： 穩(wěn)態(tài)時 矽基材溫度 （ ℃ ~℃ ） 28 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (１ 3)： 150 ℃ 時 與矽基材接合的 鋁金屬層 主壓縮應力為 (GPa)而主伸張應力為 (GPa) 29 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory ? 本發(fā)明之探針 克服懸臂式探針多項缺點 ， 優(yōu)點 有 : (1)測試時探針 無側(cè)向位移 ， 接觸穩(wěn)定 適合傳統(tǒng)焊墊 及 凸塊的測試 。 ? 則 模擬變形量 與 主應力 的變化， 最大針軸變形量 可達 (um)。 18 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory (3):探針各部材料之物性 表 31 材料特性 19 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory
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