機械與航太工程研究所(文件)
【正文】 裸晶測試 ，在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè) 扮演著重要角色 。 (3) 針尖容易黏附雜物 ， 不易清潔 ， 容易造成功能喪失 。 ? 不同的探針結(jié)構(gòu) ， 承受不同負荷 ， 作用在 不同厚度 之 彈性緩衝層 (聚亞醯氨， Polyimide)，有 不同的應(yīng)力 與 變形量 。 ?3. 矽基材導(dǎo)通層 ， 由鋁、鎳及金披覆 ， 再用錫 鉛合金 以 表面接著技術(shù) 接合組成 。 ? 而 上層彈性層厚度 與 下層彈性層厚度 維持為 28(um)及 16(um) 。 ? 現(xiàn)將 楊氏係數(shù) 列為最主要因素 ， 比較 變形量 與 主應(yīng)力 的表現(xiàn) 。 (3)探針底部 之 矽基材挖導(dǎo)通孔 ， 測試訊號 可直接傳 至 針測介面模組及測試機 ， 傳遞路徑縮短 ， 適合 高頻測試 。 臺積電認為 MEMS領(lǐng)域的機會增加了 。 33 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory Probe FB manufacturing process (1) 34 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory Probe FB manufacturing process (2) 35 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory Probe FB manufacturing process (3) 36 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory Probe FB manufacturing process (4) 37 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory Probe FB manufacturing process (5) 38 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory Probe FB manufacturing process (6) 39 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory Probe FB manufacturing process (7) 40 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System Laboratory Probe FB manufacturing process (8) 41 機械與航太工程研究所 精密構(gòu)裝與量測實 驗室 Chung Hua Graduate School of Mechanical and Aerospace Engineering Kaiyi Chuang Micro System La
教學(xué)課件相關(guān)推薦
鄂ICP備17016276號-1