【正文】 品製造過程中隨時將樣本資訊點(diǎn)入管制圖內(nèi)，以提醒操作人員。 World Class Quality CONFIDENTIAL 39 Unimicron 計量值管制圖 (Variable Control Chart) World Class Quality CONFIDENTIAL 40 Unimicron 管制圖種類 ? 管制圖依蒐集數(shù)據(jù)的型態(tài)可分為： 1) 解析用管制圖 – 目的在於 研究製程能力 同時 解析製程以 進(jìn)行製程管制之準(zhǔn)備 。在蒐集的過程中有異常的數(shù)據(jù)應(yīng)捨棄。 重新計算管制界限後，仍有點(diǎn)超出管制界限時，無頇除去。 如無規(guī)格界限時，可直接延長使用，而由最後成品之品質(zhì)特性 (水準(zhǔn) )，是否能滿足成品規(guī)格來檢討。 World Class Quality CONFIDENTIAL 55 Unimicron 管制圖的判讀 1) 最近一點(diǎn)落在管制界限外。 當(dāng)平均值管制圖失控時 平均值管制圖管制的是樣本組間的變異程度，當(dāng)平均值管制圖失控時，代表組間的變異變大。 World Class Quality CONFIDENTIAL 70 Unimicron 計數(shù)值管制圖作業(yè)步驟 不良率管制圖作業(yè)細(xì)則 ? 目的： 監(jiān)測製程的不良率是否在正常的管控範(fàn)圍內(nèi)。建立管制用管制圖之程序如下： a. 選定層別資訊 – 將料號、批號、機(jī)臺別、班別、操作者等資料填入管制圖。 缺點(diǎn)數(shù)管制圖的 中心線及上下管制界限 : UCL = LCL = CL = + 3 cc c 3 c c= mDmii??1World Class Quality CONFIDENTIAL 75 Unimicron 單位缺點(diǎn)數(shù)管制圖 單位缺點(diǎn)數(shù) (u)管制圖 當(dāng)檢測的單位大小不一致時，缺點(diǎn)數(shù)管制圖便不適用。 World Class Quality CONFIDENTIAL 79 Unimicron 使用限制 ? ShortRun管制圖在使用上必頇滿足下列的前提假設(shè)： 1) 所管制的產(chǎn)品源於相同作業(yè)員、機(jī)器設(shè)備、材料、方法，與量測系統(tǒng)。 World Class Quality CONFIDENTIAL 78 Unimicron Short Run源起 ? 為符合實(shí)際效益， ShortRun管制圖可以將屬於不同料號（製程規(guī)格）的數(shù)據(jù)蒐集在同一張管制圖裡，以同一管制圖加以管制。 不良數(shù)管制圖的 中心線及上下管制界限 : UCL = n LCL = n CL = n pp + 3 )1( ppn ? p 3 )1( ppn ?World Class Quality CONFIDENTIAL 74 Unimicron 缺點(diǎn)數(shù)管制圖 缺點(diǎn)數(shù) (c)管制圖 有些產(chǎn)品雖有缺點(diǎn)，但不致因?yàn)橛猩贁?shù)之缺點(diǎn)，而使產(chǎn)品成為廢品，只是缺點(diǎn)之多少會影響其品質(zhì)之高低而已。 d. 計算中心線及上下管制界限。 ? 再次確認(rèn)設(shè)備 /製程點(diǎn)檢項(xiàng)目是一種典型的 OCAP World Class Quality CONFIDENTIAL 63 Unimicron 平均值與標(biāo)準(zhǔn)差管制圖的使用 平均值與標(biāo)準(zhǔn)差管制圖 ? 適用情況： 平均值與標(biāo)準(zhǔn)差管制圖適用於大樣本 ( n ? 10)的抽樣方式。 World Class Quality CONFIDENTIAL 59 Unimicron 管制圖的測詴法則 3 倍標(biāo)準(zhǔn)差 中心線 A A B C C B 2 倍標(biāo)準(zhǔn)差 1 倍標(biāo)準(zhǔn)差 3 倍標(biāo)準(zhǔn)差 2 倍標(biāo)準(zhǔn)差 1 倍標(biāo)準(zhǔn)差 1. 1 點(diǎn)落在 A區(qū)之外 2. 連續(xù) 9 點(diǎn)在中心線的同一側(cè) 3. 連續(xù) 6 點(diǎn)上升或下降 4. 連續(xù) 14 點(diǎn)交互著上下跳動 5. 連續(xù) 3 點(diǎn)中有 2 點(diǎn)落在 A區(qū)或 A區(qū)之外 (同一側(cè) ) 6. 連續(xù) 5 點(diǎn)中有 4 點(diǎn)落在 B區(qū)或 B區(qū)之外 (同一側(cè) ) 7. 連續(xù) 15 點(diǎn)出現(xiàn)在 C區(qū) (任一側(cè) ) 8. 連續(xù) 8 點(diǎn)出現(xiàn)在 A區(qū)或 B區(qū) (任一側(cè) ) 注意：每一條測詴法則皆有其統(tǒng)計上的意義，已決定運(yùn)用於判定製程是否在管制之中的法則不可臨時取消！ World Class Quality CONFIDENTIAL 60 Unimicron 管制圖失控的含意 當(dāng)全距管制圖失控時 全距管制圖管制的是樣本組內(nèi)的變異程度，當(dāng)全距管制圖失控時，代表組內(nèi)的變異變大。 3) 僅有少數(shù)點(diǎn) (約 5%)靠近管制界限。對原數(shù)據(jù)應(yīng)按原料別、機(jī)械別、時間別、操作人員別等加以層別，分別檢討其分配之情況，找出變異較大之處，應(yīng)用工程與技術(shù)知識加以改善。然後去除這些點(diǎn)之?dāng)?shù)據(jù) ,再用剩下來之?dāng)?shù)據(jù)，重新計算管制界限。 c. 決定樣本分組方式 – 在確認(rèn)製程表現(xiàn)合乎規(guī)格要求後，便開始設(shè)計如何抽取樣本數(shù)據(jù) (paneltopanel, lottolot, fixed time period…. ) 及樣本大小 (Sample Size)。 World Class Quality CONFIDENTIAL 38 Unimicron 管制圖基本原理 UCL LCL CL 時間軸 數(shù)據(jù)軸 管制圖與一般的統(tǒng)計圖不同，因其不僅能將數(shù)值以曲線表示出來，以觀其變異趨勢，且能顯示變異是屬於機(jī)遇性或是非機(jī)遇性，以指示某種現(xiàn)象是否正常，而採取適當(dāng)之措施。而製程管制即是品管的一種技巧，凡與製程有關(guān)之人員均需具備製程管制的相關(guān)知識或技巧，盡到自己的品質(zhì)責(zé)任。 World Class Quality CONFIDENTIAL 30 Unimicron 製程能力 /績效指標(biāo)範(fàn)例 範(fàn)例：面銅厚度的製程能力分析 以前述的銅厚的數(shù)據(jù)為例，計算其製程能力指標(biāo) Cp, Ca, Cpk以及製程績效指標(biāo) Ppk。 World Class Quality CONFIDENTIAL 28 Unimicron 製程績效指標(biāo) ? 另外一組評估製程表現(xiàn)的指標(biāo)為 Pp, Pa, 以及 Ppk，稱為製程績效 (Process Performance)指標(biāo)。 Cp指標(biāo) 的計算 Cp = (USLLSL) / 6? ^ (雙邊規(guī)格 ) Cp = (?LSL)/3? ^ ^ (下單邊規(guī)格 ) Cp = (USL?)/3? ^ ^ (上單邊規(guī)格 ) World Class Quality CONFIDENTIAL 21 Unimicron 製程精密度 Cp ? Cp又稱為 Potential Capability，即指 製程潛在的最大能力。而估計的方式共有兩種： (1) 以平均全距做估計 (2) 以平均組標(biāo)準(zhǔn)差做估計 2? dR??4? cS??註：樣本標(biāo)準(zhǔn)差與母體標(biāo)準(zhǔn)差的計算稍有不同 S = 1)( 2???nxxniiWorld Class Quality CONFIDENTIAL 16 Unimicron 利用樣本數(shù)據(jù)估算母體標(biāo)準(zhǔn)差 母體標(biāo)準(zhǔn)差的估計 (續(xù) ) 係數(shù)的值與樣本大小 (n)有關(guān)，可由以下的係數(shù)表查得相對應(yīng)的值 n A1A2B3B4d2D3D4c4K1E2m3A22 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13 14 15 16 17 18 19 20 註： 在使用係數(shù)表時基本上必頇最少要有 15組樣本。 ? 在實(shí)務(wù)上我們無法量測所有的母體，故我們希望透過合理的抽樣，然後以取得的樣本數(shù)據(jù) (樣本統(tǒng)計量 )來推估母體參數(shù) (平均值與標(biāo)準(zhǔn)差 )。而最常見的即是常態(tài)分佈 (Normal Distribution) 註 :常態(tài)分佈又稱高斯分佈 World Class Quality CONFIDENTIAL 10 Unimicron 常態(tài)分佈的特性 ? 數(shù)據(jù)若呈現(xiàn)常態(tài)分佈，則會有以下的特性： % 的數(shù)據(jù)在 ?177。 平均數(shù)對離群值 (outliers)非常敏感，而中位數(shù)或眾數(shù)對離群值較不敏感，因此，當(dāng)資料中有離群值時，則用中位數(shù)或眾數(shù)，否則， 則用平均數(shù)。 World Class Quality CONFIDENTIAL 5 Unimicron 製程數(shù)據(jù)的統(tǒng)計 ? 對於蒐集到的眾多製程數(shù)據(jù)，可以用以下兩種指標(biāo)來代表數(shù)據(jù)的整體特性： 1. 集中趨勢指標(biāo) – 大部份的數(shù)據(jù)集中在哪裏 ? 2. 離散趨勢指標(biāo) – 數(shù)據(jù)的分散程度如何 ? 集中趨勢指標(biāo) (Central Tendency) 在統(tǒng)計學(xué)裏，最常用的集中趨勢指標(biāo)是 平均值 。 以之前的線寬數(shù)據(jù)為例。3? 範(fàn)圍內(nèi) ? % % % 如果全部有 1000個數(shù)據(jù)，大約只有 3個數(shù)據(jù)會落在平均值正負(fù)三個標(biāo)準(zhǔn)差以外的