精密與特種加工技術_第九章_超聲波加工和超高壓水射流加工(存儲版)
【正文】 水壓。當配有多個噴嘴時，還可以采用多路切削，提高切削速度。 17 3. 控制系統(tǒng) 可根據(jù)具體情況選擇機械、氣壓和液壓控制。 超高壓水射流本身具有較高的剛性，流束的能量密度可達1010W/mm2，流量為 ，在與工件發(fā)生碰撞時，會產(chǎn)生極高的沖擊動壓和渦流，具有固體的加工作用。在污物溶解于清洗液的情況下，空化效應加速溶解過程， 即使是被清洗物上的窄縫、細小深孔、彎孔中的污物，也很易被清洗干凈。 12 3. 超聲波焊接加工 超聲波焊接是利用超聲頻振動作用，使被焊接工件的兩個表面在高速振動撞擊下，去除工件表面的氧化膜，使該表面摩擦發(fā)熱黏結在一起。 9 3. 磨料工作液及循環(huán)系統(tǒng) 對于簡單的超聲波加工裝置，其磨料是靠人工輸送和更換的，即在加工前將懸浮磨料的工作液澆注堆積在加工區(qū)，加工過程中定時抬起工具并補充磨料。 (3) 由于工具和工件不做復雜相對運動，工具與工件不用旋轉，因此易于加工出各種與工具形狀相一致的復雜形狀內表面和成形表面。 (4) 超聲波在一定條件下，會產(chǎn)生波的干涉和共振現(xiàn)象。由于液體基本上不可壓縮，由此產(chǎn)生壓力正、負交變的液壓沖擊和空化現(xiàn)象。1 第 9章 超聲波加工和超高壓水射流加工 2 超聲波加工 近十幾年來，超聲波加工與傳統(tǒng)的切削加工技術相結合而形成的超聲波振動切削技術得到迅速的發(fā)展，并且在實際生產(chǎn)中得到廣泛的應用。 (2) 當超聲波經(jīng)液體介質傳播時，將以極高的頻率壓迫液體質點振動，在液體介質中連續(xù)地形成壓縮和稀疏區(qū)域。為了改善超聲波在相鄰介質中的傳遞條件，往往在聲學部件的各連接面間加入機油、凡士林作為傳遞介質以消除空氣及因它引起的衰減。由于去除加工材料是靠磨料對工件表面撞擊作用，故工件表面的宏觀切削力很小，切削應力、切削熱很小，不會引起變形及燒傷，表面粗糙度也較好，公差可達 ，表面粗糙度 Ra值一般在 ~。由換能器、變幅桿 (振幅擴大棒 )及工具組成。 2. 切割加工 一般加工方法用于普通機械加工切割脆硬的半導體材料是很困難的，采用超聲波切割則較為有效，而且超聲波精密切割半導體、氧化鐵、石英等，精度高、生產(chǎn)率高、經(jīng)濟性好，并且可以利用多刃刀具，切割單晶硅片，一次可以切割加工 10~20片。空化效應使液體中急劇生長微小空化氣泡并瞬時強烈閉合，產(chǎn)生的微沖擊波使被清洗物表面的污物遭到破壞，并從被清洗表面脫落下來。切割過程中產(chǎn)生的切屑和水混合在一起，排入水
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