精密與特種加工技術(shù)第八章電子束加工和離子束加工(存儲版)
【正文】 需要的元素進(jìn)行電離，并進(jìn)行加速，把離子直接注入工件表面，它不受熱力學(xué)限制，可以注入任何離子，且注入量可以精確控制，注入的離子是固溶在工件材料中，含量可達(dá)10%~40%，注入深度可達(dá) l甚至更深?？稍诮饘倩蚍墙饘?、各種合金、化合物、某些合成材料、半導(dǎo)體材料、高熔點(diǎn)材料均可鍍覆，使用廣泛，如工具上覆蓋高硬度的碳化鈦、可以大大提高其使用壽命。 (4) 離子束加工是靠離子轟擊材料表面的原子來實(shí)現(xiàn)的，它是一種微觀作用，宏觀應(yīng)力很小，所以加工應(yīng)力、變形等極小，加工質(zhì)量高，適合于各種材料和低剛度零件的加工。該方法所用的是氬 (Ar)離子或其他帶有10keV數(shù)量級動能的惰性氣體離子。電子束焊接是利用電子束作為熱源的一種焊接工藝，焊接過程不需要填充物 (焊條 )，焊接過程又是在真空中完成。由于電子束加工是在真空中進(jìn)行，因而污染少，加工表面不氧化，特別適用于加工易氧化的金屬及合金材料，以及純度要求極高的半導(dǎo)體材料。去除材料主要靠瞬時蒸發(fā)，是一種非接觸式加工。所以電子束加工是通過熱效應(yīng)進(jìn)行的。 3 電子束加工原理示意圖 1 — 高速加壓； 2 — 電子槍； 3 — 電子束； 4 — 電磁透鏡； 5 — 偏轉(zhuǎn)器； 6 — 反射鏡； 7 — 加工室； 8 — 工件； 9 — 工作臺及驅(qū)動系統(tǒng)； 10 — 窗口； 11 — 觀察系統(tǒng) 4 電子束加工的特點(diǎn) 電子束加工有如下特點(diǎn)： (1) 束斑極小。可以通過磁場或電
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