集成電路制造工藝課件(ppt34頁)-免費(fèi)閱讀
【正文】 2023年 1月 24日星期二 上午 2時(shí) 40分 42秒 02:40: ? 1最具挑戰(zhàn)性的挑戰(zhàn)莫過于提升自我。 2023年 1月 24日星期二 2時(shí) 40分 42秒 02:40:4224 January 2023 ? 1空山新雨后，天氣晚來秋。 , January 24, 2023 ? 很多事情努力了未必有結(jié)果，但是不努力卻什么改變也沒有。 :40:4202:40Jan2324Jan23 ? 1故人江海別，幾度隔山川。 集成電路制造工藝 東華理工 大學(xué) 彭新村 13687095856 第 10章 工藝集成 集成電路中的隔離 1 CMOS集成電路的工藝集成 2 3 4 雙極集成電路的工藝集成 BiCMOS集成電路的工藝集成 天津工業(yè)大學(xué) ?工藝集成： —— 運(yùn)用各類工藝形成電路結(jié)構(gòu)的制造過程 ?CMOS集成電路的工藝集成 ?雙極型 集成電路的工藝集成 ?BiCMOS集成電路的工藝集成 天津工業(yè)大學(xué) 167。 02:40:4202:40:4202:40Tuesday, January 24, 2023 ? 1乍見翻疑夢(mèng)，相悲各問年。 02:40:4202:40:4202:401/24/2023 2:40:42 AM ? 1成功就是日復(fù)一日那一點(diǎn)點(diǎn)小小努力的積累。 上午 2時(shí) 40分 42秒 上午 2時(shí) 40分 02:40: ? 楊柳散和風(fēng)，青山澹吾慮。 2023年 1月 上午 2時(shí) 40分 :40January 24, 2023 ? 1業(yè)余生活要有意義，不要越軌。 :40:4202:40:42January 24, 2023 ? 1意志堅(jiān)強(qiáng)的人能把世界放在手中像泥塊一樣任意揉捏。 2023年 1月 上午 2時(shí) 40分 :40January 24, 2023 ? 1少年十五二十時(shí)，步行奪得胡馬騎。 上午 2時(shí) 40分 42秒 上午 2時(shí) 40分 02:40: ? 沒有失敗，只有暫時(shí)停止成功！。 02:40:4202:40:4202:401/24/2023 2:40:42 AM ? 1以我獨(dú)沈久，愧君相見頻。 集成電路中的隔離 ? 一 . MOS集成電路中的隔離 ?局部場(chǎng)氧化工藝（ Local oxidation of silicon，LOCOS） ?改進(jìn)的 LOCOS工藝 ?淺槽隔離（ Shallow trench isolation ， STI） M OSFET 1 M OSFET 2
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